في صناعة أشباه الموصلات ، الضوئية التعبئة والتغليف ، واختبار الدقة وغيرها من المجالات الصناعية المتقدمة ، دقة التحكم في درجة الحرارة ونطاق تأثير مباشر على العائد من المنتجات والأداء .كما الأساسية معدات التحكم في درجة الحرارة ، درجة الحرارة التي تسيطر عليها chiller أشباه الموصلات جهاز التحكم في درجة الحرارة يمكن أن تقلل من درجة الحرارة من 300 ℃ - 150 ℃ مباشرة ، وتوفير مستقرة ودقيقة التحكم في درجة الحرارة حل تكنولوجيا أشباه الموصلات ، اختبار المواد ، وارتفاع وانخفاض درجة الحرارة تأثير التجربة .

　　التكنولوجيا الأساسية من أشباه الموصلات جهاز التحكم في درجة الحرارة

شيلر ( نظام دورة التبريد ) يستخدم ضاغط التبريد + تداول السائل طريقة تبادل الحرارة ، من خلال دقة عالية التحكم في درجة الحرارة الخوارزمية ، يدرك بسرعة رفع درجة الحرارة ± 0.1 ℃ دقة التحكم في درجة الحرارة . وتشمل مزاياها الأساسية ما يلي :

　　1 . تغطية واسعة درجة الحرارة ( - 150 ℃ - 300 ℃ )

ارتفاع في درجة الحرارة ( 300 ℃ ) : مناسبة لأنّ عال - درجة حرارة تكنولوجيا أشباه الموصلات الصلب ، تلبد المواد ، وما إلى ذلك ، من خلال إجراء الحرارة النفط أو جلايكول الإثيلين المياه المتداولة ، لضمان الاستقرار في درجة حرارة عالية .

انخفاض درجة حرارة القسم ( - 150 ℃ ) : اعتماد تقنية التبريد تتالي أو التبريد المباشر ( التبريد التبخير المباشر وتبادل الحرارة ) لتحقيق بيئة درجة حرارة منخفضة جدا ، وتلبية متطلبات رقاقة أشباه الموصلات اختبار درجة حرارة منخفضة ، للكشف عن الأشعة تحت الحمراء تصنيع .

　　2 - القدرة على التغير السريع في درجة الحرارة

بعض chiller المعدات يمكن أن تغير درجة الحرارة من - 55 ℃ ~ 150 ℃ في 10 ثوان ، والتي يمكن تطبيقها على رقاقة اختبار الموثوقية ، تحليل الإجهاد الحراري ، وهلم جرا .

استخدام متغير التردد ضاغط الالكترونية صمام التوسع ، ودينامية تنظيم قدرة التبريد ، وضمان التحكم في درجة الحرارة سرعة الاستجابة .

　　3 . عالية الدقة التحكم في درجة الحرارة ( 0.5 ℃ )

دقة التحكم في درجة الحرارة ± 0.1 ℃ مطلوب في تصنيع أشباه الموصلات - شيلر يضمن استقرار العملية من خلال التغذية المرتدة في الوقت الحقيقي من PID التحكم + pt100 / الحرارية الاستشعار .

بعض المعدات دعم متعدد القنوات التحكم في درجة الحرارة بشكل مستقل ، يمكن التحكم في درجة الحرارة من تجاويف مختلفة في نفس الوقت ، لا تتداخل مع بعضها البعض .

　　تطبيق نموذجي المشهد

　　1 - تصنيع أشباه الموصلات

photoetching آلة : التحكم في درجة الحرارة من مصدر الضوء و العدسة الشيئية ( ± 0.05 ℃ ) ، وتجنب تشويه الحرارية تؤثر على دقة التعرض .

النقش / ترسب : ضبط درجة حرارة الغرفة ، وضمان التوحيد من الفيلم .

رقاقة اختبار : محاكاة - 40 ℃ ~ 150 ℃ درجة حرارة واسعة النطاق ، والتحقق من موثوقية رقاقة .

　　2 - الإلكترونيات الضوئية والأجهزة الدقيقة

ليزر الألياف البصرية : ارتفاع وانخفاض درجة الحرارة اختبار دوري لضمان استقرار المواد .

3D التعبئة والتغليف : التحكم في درجة الحرارة لحام إنحسر ، وتحسين نوعية لحام .

3 - علم المواد

المواد فائقة التوصيل ، أجهزة الكم : 150 ℃ ~ 300 ℃ التحكم في درجة الحرارة ، خصائص المواد في درجات حرارة مختلفة .

　　ثالثاً - الاتجاهات المستقبلية

مع تطور تكنولوجيا أشباه الموصلات إلى عملية أصغر وأعلى درجة التكامل ، شيلر التحكم في درجة الحرارة التكنولوجيا سوف تتطور نحو أكثر دقة وأسرع درجة الحرارة واسعة النطاق ، مما دفع التصنيع المتقدم إلى آفاق جديدة .

أشباه الموصلات جهاز التحكم في درجة الحرارة أصبحت واحدة من أهم المعدات في الصناعة الحديثة بسبب قدرتها على التحكم في درجة الحرارة القصوى ، عالية الدقة ، والاستجابة السريعة .