إزالة مقاومة للضوء هو خطوة رئيسية في تصنيع أشباه الموصلات . مقاومة للضوء يستخدم لتحديد أنماط مختلفة وهياكل أثناء تصنيع الرقائق ، ولكن بعد الانتهاء من نمط هذه الطبقة من مقاومة للضوء يجب إزالتها تماما من أجل متابعة الخطوات العملية . البلازما آلة إزالة الصمغ هو نوع من كفاءة عالية وصديقة للبيئة التكنولوجيا الجافة إزالة الصمغ ، أصبحت تدريجيا الخيار الرئيسي في تصنيع أشباه الموصلات .
المبادئ التقنية
البلازما آلة إزالة مقاومة للضوء يدرك كفاءة إزالة مقاومة للضوء من خلال التفاعل الكيميائي بين البلازما عالية الطاقة ومقاومة للضوء . عملية محددة على النحو التالي :
1 ، مرحلة الإعداد : وضع رقاقة السيليكون المغلفة مع مقاومة للضوء في البلازما رد فعل الغرفة ، فراغ الغرفة لإزالة الشوائب في الهواء .
2 ، إدخال الغاز : وفقا لخصائص إزالة مقاومة للضوء ، واختيار المناسب من الغاز ( مثل الأكسجين ، الأرجون ، الفلور ، الخ . ) هذه الغازات تنتج مختلف التفاعلات الكيميائية في البلازما .
3 ، إنتاج البلازما : من خلال الترددات الراديوية ( اللاسلكية ) الطاقة أو طاقة الميكروويف الغاز التأين ، تشكيل البلازما . درجة الحرارة وكثافة البلازما يمكن تعديلها حسب الحاجة .
4 ، عملية إزالة : في إطار العمل من البلازما ، مقاومة للضوء الجزيئات تتحلل ، جزيء صغير من الغاز التي تم إنشاؤها يتم ضخها بعيدا ، وأخيرا تحقيق مقاومة للضوء إزالة .
5 ، بعد العلاج : بعد إزالة مقاومة للضوء ، رقاقة السيليكون قد تحتاج إلى مزيد من التنظيف لضمان نظافة السطح ، ومناسبة لمتابعة العملية .
كفاءة آلية إزالة
كفاءة آلية إزالة البلازما آلة إزالة الصمغ تستند أساسا على القصف البدني والتفاعل الكيميائي .
1 ، القصف الجسدي : البلازما عالية الطاقة الأيونات والإلكترونات في إطار العمل من الحقل الكهربائي لتسريع الطاقة العالية القصف على سطح رقاقة مقاومة للضوء . جزيئات مقاومة للضوء كسر الروابط الكيميائية تحت تأثير الجزيئات ذات الطاقة العالية ، مما تسبب في مقاومة للضوء تسقط من سطح رقاقة .
2 ، التفاعلات الكيميائية : البلازما يحتوي أيضا على مجموعة متنوعة من الجذور الحرة النشطة و المجموعات الكيميائية . هذه المواد الفعالة تتفاعل كيميائيا مع جزيئات مقاومة للضوء ، تحويل جزيئات مقاومة للضوء في المركبات المتطايرة . على سبيل المثال ، الأكسجين الحرة الراديكالية في الأكسجين البلازما يتفاعل مع المواد الهيدروكربونية في مقاومة للضوء لإنتاج المواد المتطايرة مثل ثاني أكسيد الكربون والماء ، والتي يمكن استخراجها من غرفة رد الفعل من خلال مضخة فراغ ، وبالتالي تحقيق الغرض من إزالة مقاومة للضوء .
مزايا المعدات
بالمقارنة مع التقليدية الرطب عملية إزالة الصمغ ، آلة إزالة الصمغ البلازما لديها مزايا واضحة على النحو التالي :
1 ، عالية الكفاءة : كامل عملية التنظيف يمكن أن تكتمل في غضون دقائق ، مع خصائص عالية الغلة .
2 ، وحماية البيئة : البلازما آلة إزالة الصمغ تعتمد طريقة إزالة الصمغ المادية ، لا تحتاج إلى إضافة أي الكواشف الكيميائية ، وتجنب التنظيف الرطب من السهل أن تغسل الأشياء التالفة .
3 ، وتجنب استخدام المواد المستنفدة للأوزون المذيبات الضارة : لا تنتج الملوثات الضارة بعد التنظيف ، تنتمي إلى حماية البيئة الخضراء طريقة التنظيف .
4 ، وانخفاض الضرر : البلازما آلة إزالة الصمغ على سطح رقاقة صغيرة جدا من الضرر ، لا ضرر على رقاقة نفسها .
5 ، إزالة دقيقة : يمكن تحقيق كفاءة عالية ودقة إزالة رقاقة سطح مقاومة للضوء ، لتلبية متطلبات تصنيع أشباه الموصلات عالية الدقة العملية .
تطبيق المشهد
البلازما آلة إزالة الصمغ تستخدم على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات ، متقدمة التعبئة والتغليف ، ممس الأجهزة ، والمكونات البصرية الالكترونية وغيرها من المجالات :
1 ، تصنيع أشباه الموصلات : بعد زرع الأيونات لإزالة مقاومة للضوء ، وإزالة الخبث ، من الصعب إزالة قناع ، رقاقة سطح المعالجة .
2 ، متقدمة التعبئة والتغليف : في 2.5D / 3D التكامل ، الوجه رقاقة ( الوجه رقاقة ) وغيرها من العمليات ، آلة إزالة البلازما يمكن إزالة بقايا من خلال ثقب مقاومة للضوء ، وتحسين كفاءة وموثوقية التعبئة والتغليف .
3 ، ممس الأجهزة : في ممس تصنيع الأجهزة ، البلازما آلة إزالة الصمغ يمكن استخدامها لإزالة مقاومة للضوء ، كربيد السيليكون النقش ، من الصعب إزالة قناع الجافة ، وهلم جرا .
4 ، المكونات البصرية الالكترونية : في تصنيع المكونات البصرية الالكترونية ، البلازما آلة إزالة الصمغ يمكن استخدامها لإزالة مقاومة للضوء ، تنظيف السطح ، وتحسين التصاق السطح ، وهلم جرا .
البلازما آلة إزالة الصمغ أصبحت المعدات الرئيسية في تصنيع أشباه الموصلات بسبب كفاءتها العالية ، وحماية البيئة ، وانخفاض الضرر . مع التطوير المستمر للتكنولوجيا ، البلازما آلة إزالة الصمغ سوف تلعب دورا أكثر أهمية في المزيد من المجالات ، من أجل تصنيع أشباه الموصلات عالية الدقة ، وكفاءة عالية لتوفير دعم قوي للتنمية .