فراغ تسرب هو المشكلة الرئيسية التي تؤثر على استقرار البلازما آلة التنظيف .

الكشف عن تسرب الهليوم مطياف الكتلة

فائدة نموذج مناسبة لأنّ عال فراغ نظام ( على سبيل المثال ، الجزيئية مضخة تجويف ) ، من خلال ملء تجويف مع 0.1mpa الهيليوم ، شفة واجهة ، نافذة المراقبة ، مسار الغاز صمام الكهرومغناطيسي ، وما إلى ذلك يتم مسحها من قبل تسرب الكاشف . إذا تم الكشف عن تسرب الهليوم ، إبزيم الترباس أو استبدال fluororubber يا الدائري ( على سبيل المثال ، pfeiffer مضخة فراغ الختم ) . على سبيل المثال ، فراغ لا يمكن أن تصل إلى 1 × 10 ⁻ 3 السلطة الفلسطينية بسبب الشيخوخة من قبل فراغ الختم الدائري في غرفة العزل ، والتي يمكن استردادها بعد الاستبدال .

تخفيف الضغط اختبار

مناسبة لأنّ وسط و [ لوو - لوو - كنس ] نظم ( مثل هذا بما أنّ مضخة ميكانيكية تجويف ) ، بعد إغلاق مضخة فراغ ، سجل 1 ساعة من الضغط على التقدير . إذا كان ارتفاع معدل > 0.5pa / h ، فراغ قياس المعايرة أو الجدار التلوث يجب التحقق منها . في حالة واحدة ، زيادة الضغط انخفض إلى 0.2pa / h بعد البلازما التنظيف بسبب تسرب المواد العضوية في تجويف الجدار .

طريقة تحليل الإشارات الاهتزاز

من خلال جمع إشارة الاهتزاز أثناء تشغيل مضخة فراغ ، فإنه يمكن تقسيمها إلى مكونات تردد مختلف ، وتحديد تسرب نقطة . على سبيل المثال ، معدات فراغ صمام ربط الأنابيب فضفاض تنتج 120 هرتز إشارة الاهتزاز ، بعد تثبيت تسرب القضاء .

فشل تحليل البلازما الاشتعال

البلازما الاشتعال الفشل عادة ما يكون سببها خلل في إمدادات الطاقة ، والغاز ، أو نظام مطابقة ، يجب أن يتم التحقق من المنطق التالي :

الترددات اللاسلكية السلطة خطأ

لا انتاج الطاقة : اختبار الترددات اللاسلكية مع 50 أوميغا تحميل وهمية ، إذا كانت السلطة إلى الصفر ، تحتاج إلى إصلاح وحدة الترددات اللاسلكية ( مثل استبدال يغبت أنبوب ) ؛ إذا كان الأمر كذلك ، تحقق ما إذا كان كابل الترددات اللاسلكية هو دارة قصيرة أو تجويف الملوثة .

تعكس قوة كبيرة جدا : ضبط مطابقة شبكة مكثف شفرة الكلمات ، بحيث تعكس قوة أقل من 5 ٪ من الطاقة الحادث . في حالة واحدة ، العاكس السلطة تصل إلى 30 ٪ بسبب الموقف المبدئي من مطابقة مكثف .

شذوذ نظام الغاز

عدم كفاية الضغط الجوي : التحقق من ما إذا كان مصدر الغاز الضغط في نطاق 0.4-0.6mpa ، وتعديل صمام تخفيض الضغط بحيث تدفق متر عرض قيمة مطابقة المتطلبات التقنية . على سبيل المثال ، لأن ع ضغط الغاز منخفض جدا ( 0.2 الآلام والكروب الذهنية ) ، البلازما لا يمكن الحفاظ عليها ، بعد تعديل الانتعاش .

مسار الغاز انسداد : إزالة رذاذ الغاز القرص ، تطهير المسام مع الهواء المضغوط لإزالة البوليمر المتبقية . في حالة واحدة ، وتوزيع الغاز غير موحدة بسبب انسداد فوهة الرذاذ ، الإشعال الاستقرار بعد التنظيف هو تحسين .

الكهربائي ونظام مطابقة

التلوث الكهربائي : تلميع سطح القطب العلوي طبقة أكسيد مع الصنفرة ، أو استبدال قطب جديد ( على سبيل المثال ، قاعدة الألومنيوم الكهربائي الحياة حوالي 2000 ساعة ) .

عالية التردد قوس ضرب خطأ : التحقق من المسافة بين قضبان سوداء شرارة مفرغ ( معيار القيمة 0.5mm ) ، إذا كانت المسافة كبيرة جدا ، تحتاج إلى تعديل . إذا كان شريط أسود الاجتثاث ، تحتاج إلى استبدال ( على سبيل المثال ، لأن شريط أسود تباعد تصل إلى 1 ملم ، مما أدى إلى ارتفاع وتيرة لا يمكن أن تبدأ قوس ، ضبط الانتعاش ) .

حالة التشخيص الشامل

" لا البلازما الناتج " إنذار يظهر في فراغ البلازما الأنظف .

فراغ تسرب : تخفيف الضغط اختبار أظهرت أن معدل الارتفاع هو 0.8pa / h ، الهليوم تسرب الكشف عن الموقع إلى مضخة الجزيئية شفة الختم الدائري الشيخوخة ، بعد استبدال درجة فراغ الانتعاش .

الترددات اللاسلكية مطابقة غير طبيعي : انعكاس السلطة تصل إلى 15 ٪ ، بعد ضبط شبكة مطابقة شفرة السعة إلى 3 في المائة .

التلوث الكهربائي : سطح القطب العلوي مغطى أسود البوليمر ، كثافة البلازما بنسبة 40 ٪ بعد الرملي .

من خلال منهجية التحقيق ، ومعدات تشغيل ثابت ، صحة التشخيص ثلاثي الأبعاد استراتيجية " فراغ امدادات الطاقة والغاز المسار " هو التحقق من صحتها .