في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، والطيران والفضاء ، والأدوات الدقيقة ، وما إلى ذلك ، مثل الحركة الأساسية تنفيذ أجزاء ، عالية الدقة الفضاء التشرد الجدول مباشرة يحدد موثوقية التجربة والإنتاج . خصوصية عالية فراغ البيئة ( انخفاض الضغط ، لا تزييت ، وارتفاع درجة الحرارة الاستقرار ) يجعل من الصعب تطبيق طريقة المعايرة التقليدية التشرد الجدول .
دقة الحركة معايرة عالية حقيقية شاغرة الجدول يحتاج إلى التركيز على المؤشرات الأساسية ، بما في ذلك دقة تحديد المواقع ، تكرار دقة تحديد المواقع ، عكس الفجوة و الحركة الاستقامة . دقة تحديد المواقع يشير إلى الانحراف بين موقف الحركة الفعلية والتعليمية الموقف . دقة تحديد المواقع المتكررة يعكس الاتساق من عدة حركات إلى نفس الموقف ، مما يؤثر بشكل مباشر على تكرار البيانات التجريبية . عكس الفجوة هو خطأ في اتجاه السفر فارغة التبديل ، مما يؤدي بسهولة إلى موقع متخلفة . الحركة الاستقامة يضمن تشغيل ثابت من التشرد الجدول على طول مسار محدد مسبقا ، وتجنب موقف الانحراف .
من بين أساليب المعايرة المشتركة ، تداخل الليزر المعايرة هو السائد في هذه الصناعة . هذا الأسلوب يستخدم الليزر عالية التماسك ، ويمكن تحقيق دقة نانومتر الكشف عن طريق قياس المسافة الضوئية فرق الليزر قبل وبعد الحركة من التشرد الجدول . في بيئة فراغ عالية ، فراغ تناسب تداخل الليزر يجب أن تكون مجهزة مختومة المكونات البصرية لتجنب تأثير درجة فراغ على انتقال الليزر ، وفي الوقت نفسه ، درجة الحرارة التعويض خوارزمية تصحيح الخطأ الناجم عن التقلبات في درجة الحرارة المحيطة . في عملية المعايرة ، إزاحة الجدول يجب أن تتحرك من نقطة إلى نقطة وفقا مسبقا طول الخطوة ، قياس الانحراف في كل موقف يجب أن تسجل ، ودقة منحنى خطأ يمكن أن تتولد في نهاية المطاف .
طريقة معايرة بالسعة التشرد الاستشعار ينطبق على السكتة الدماغية قصيرة عالية فراغ التشريد الجدول . من حيث المبدأ ، من خلال الكشف عن تغيير السعة بين التشرد الجدول الاستشعار لوحة القطبية ، فائدة نموذج يحتوي على مزايا سرعة استجابة سريعة وقوية لمكافحة التداخل الكهرومغناطيسي . قبل المعايرة ، وأجهزة الاستشعار يجب معايرة البيئة فراغ ، وبالتالي القضاء على تأثير وسائل الإعلام فراغ على السعة الكشف ، وفي الوقت نفسه ضمان تركيب سطح عمودي على اتجاه الحركة من التشرد الجدول ، والحد من تركيب خطأ . هذا الأسلوب هو بسيط و مناسب سريع المعايرة في الموقع ، ولكن قياس مجموعة محدودة نسبيا ، وعادة ما تستخدم في النزوح الجدول مع السكتة الدماغية أقل من 100 ملم .
وبالإضافة إلى ذلك ، مجهر القوة الذرية ( فؤاد ) بمساعدة طريقة المعايرة يمكن تحقيق دقة عالية جدا من التحقق . باستخدام مجهر القوة الذرية ( فؤاد ) على مستوى النانومتر لتحديد المواقع القدرة ، فإنه يمكن استخدامها كمرجع ، وعلى النقيض من مسار الحركة من التشرد الجدول ، والتي يمكن تطبيقها على البحوث المتقدمة مع متطلبات عالية الدقة .
في عملية المعايرة ، ينبغي إيلاء الاهتمام إلى مراقبة البيئة لضمان أن درجة الحرارة داخل تجويف فراغ تقلب أقل من ± 0.1 ℃ ، وتجنب تدفق الهواء التدخل . وفي الوقت نفسه ، معايرة المعدات تتبع بانتظام للتأكد من دقة القياس القياسية . من خلال اختيار طريقة المعايرة العلمية و رقابة صارمة على الظروف التجريبية ، دقة الحركة من فراغ عالية التشرد الجدول يمكن أن يكون فعالا في ضمان موثوقية دعم التصنيع والبحث العلمي يمكن أن تقدم .