ووزارة شؤون المرأة nanoindentator يكسر من خلال الحد من حجم الميكانيكية التقليدية اختبار من خلال دمج طريقة التصوير والاختبار والتحليل ، ويوفر وسيلة دقيقة لتقييم موثوقية الأجهزة الإلكترونية الدقيقة من المواد إلى الهياكل . في المستقبل ، جنبا إلى جنب مع مجهر القوة الذرية ( فؤاد ) و ركزت شعاع ايون ( فيبوناتشي ) التكنولوجيا ، مثل جهاز التصغير ( مثل 3D التراص ، نواة التكامل ) سوف تكون أكثر دقة تحليل فشل آلية ، وتعزيز موثوقية الالكترونيات الدقيقة .
مبدأ التقنية والمزايا
ووزارة شؤون المرأة nanoindentator يجمع بين وظيفة عالية الدقة التصوير SEM والميكانيكية اختبار nanoindentation : في الوقت الحقيقي رصد تضاريس السطح من العينات من خلال SEM ، وتحديد المناطق المستهدفة ( مثل لحام المفاصل ، أسلاك الربط ، والأفلام ، الخ . ) في وقت لاحق ، نانو المسافة البادئة يدقق في تطبيقها على مستوى البقرة تحميل ، تسجيل العلاقة بين عمق الضغط وتحميل المواد صلابة ، معامل مرونة ، زحف وغيرها من المعالم . الميزة الأساسية تكمن في التصور في الموقع - تشوه ، الكراك بدء نشر في تسنن المنطقة يمكن ملاحظتها بشكل متزامن في عملية الاختبار ، والعلاقة بين المجهرية و macroscopical خصائص يمكن الكشف عنها . وفي الوقت نفسه ، نانومتر التشرد القرار ( عادة ما تصل إلى 0.1nm ) وتحميل دقة التحكم ( ن الصف ) يمكن أن تلبي متطلبات اختبار رقيقة جدا فيلم ( مثل بوابة طبقة أكسيد ، طبقة التخميل ) في الأجهزة الالكترونية الدقيقة .
التطبيقات الرئيسية في الدقيقة اختبار الموثوقية
1 - تقييم موثوقية هيكل الترابط : النحاس / الألومنيوم الربط الكهربائي و الإجهاد الهجرة الفشل غالبا ما تنشأ من واجهة أو عيوب ميكانيكية بين الحبوب . ووزارة شؤون المرأة nanoindentation يمكن استخدامها لقياس صلابة ومعامل الفرق في مواقع مختلفة ( مثل حدود الحبوب ، واجهة ) من خط الربط ، وتحديد تركيز الإجهاد في المنطقة . على سبيل المثال ، من خلال تحليل المسافة البادئة استجابة النحاس الوصلات بعد دورة الحرارية ، ومكافحة التعب التوهين يمكن قياسها .
2 - خصائص المفاصل جندى ومواد التعبئة والتغليف : المفاصل جندى ( مثل الرصاص والقصدير ، خالية من الرصاص جندى ) من الوجه رقاقة ( flipchip ) عرضة تشوه البلاستيك أو تكسير بسبب التمدد الحراري عدم تطابق في دورة درجة الحرارة . ووزارة شؤون المرأة nanoindentation يمكن استخدامها في الموقع اختبار واحد اللحيم المشتركة ، والحصول على بعض المعالم الرئيسية مثل الخضوع ، زحف قيم ، وما إلى ذلك ، من أجل التنبؤ خطر الفشل من اللحيم المشتركة في الخدمة الطويلة في الحياة . وبالإضافة إلى ذلك ، فإن معامل مرونة اختبار underfill يمكن تحسين التوافق مع رقاقة / الركيزة ، والحد من التوتر السطحي .
3 - تحليل موثوقية الفيلم طلاء : بوابة طبقة أكسيد ( سمك فقط بضعة نانومتر ) ، التخميل طبقة ( مثل sinx ) من الأجهزة الالكترونية الدقيقة يجب أن تمتلك قوة عازلة عالية ومقاومة الصفر القدرة . ووزارة شؤون المرأة nanoindentation يمكن قياس الخواص الميكانيكية من الأفلام مباشرة عن طريق التحكم في عمق الضغط ( أقل من سمك الفيلم ) وتجنب تدخل الركيزة . جنبا إلى جنب مع SEM ، تقشير أو الكراك على حافة المسافة البادئة يمكن استخدامها لتقييم قوة الترابط و تأثير المقاومة بين الفيلم و الركيزة .