العنصر الأساسي و تقسيم العمل الوظيفي

دقة نظام تحديد المواقع : بما في ذلك س ص محور محور Z - محور التحقيق ، مقعد ، الدور الأساسي هو اختبار الجهاز و دقق في محاذاة دقيقة . دقة تحديد المواقع يمكن أن تصل إلى مستوى النانومتر ( بعض النماذج هي أقل من أو يساوي 10 نانومتر ) عن طريق محرك خطوة / كهرضغطية السيراميك . محور Z يدعم نغتاظ التكيف ( الحد الأدنى خطوة المسافة 0.1nm ) ، والسيطرة على عمق الاتصال بين التحقيق و سطح الجهاز ، وتجنب سحق الجهاز أو سوء الاتصال .

المسبار الجمعية : المسبار هو وسيلة أساسية لنقل الإشارات ، معظم المواد التنغستن ، التنغستن كربيد التنغستن الرينيوم أو ( الموصلية الحرارية جيدة ، وصلابة عالية ) ، قطرها إبرة تلميح يمكن أن تكون صغيرة مثل 10-100nm ( مناسبة نانو مايكرو اختبار نقطة ) . وفقا لمتطلبات الاختبار ، المسبار يمكن تقسيمها إلى التحقيق الكهربائية ( انتقال الحالية / الجهد إشارة ) ، مسبار البصرية ( انتقال الإشارات الضوئية ) ، مسبار الحرارية ( الكشف عن خصائص درجة الحرارة ) ، وبعض المشاهد سوف تستخدم مجموعة متعددة التحقيق ( متزامن الكشف عن عدد من نقاط الاختبار ) .

نظام المراقبة والمحاذاة : مجهز عالية التكبير المجهر ( المجهر الضوئي / ليزر تدخل المجهر ، التكبير من 500-5000 * ) وكاميرا مراقبة في الوقت الحقيقي من يدقق في الموقف النسبي من نقطة اختبار الجهاز ، مساعدة المشغلين أو التلقائي لتحديد المواقع خوارزمية لتحقيق دقة المحاذاة . بعض النماذج التي تدعم التركيز التلقائي ، والتعرف على الصور لتحديد المواقع ، يمكن أن تتطابق بسرعة مع نقطة اختبار مسبقا إحداثيات .

إشارة واجهة نظام التدريع : مسبار الجدول متصل مع جهاز اختبار خارجي من خلال واجهة خاصة ( كابل متحد المحور ، الألياف البصرية ، عالية التردد موصل ) لضمان انتقال إشارة مع انخفاض خسارة . وفي الوقت نفسه ، الكهرومغناطيسية التدريع غطاء جهاز التأريض هي المقدمة ، والتي يمكن أن تقلل من التداخل الكهرومغناطيسي الخارجي ( وخاصة عالية التردد اختبار المشهد ) وتجنب تشويه إشارة تؤثر على دقة الكشف .

وحدة التحكم البيئي ( اختياري ) : لتلبية متطلبات الاختبار الخاصة ، بعض تحقيقات متكاملة مع التحكم في درجة الحرارة ( 40-150 ℃ ) ، الرطوبة ( 10 ٪ - 90 ٪ ره ) أو فراغ البيئة ( أقل من 10-5pa ) ، محاكاة بيئة العمل الفعلية من الجهاز ، لضمان صحة بيانات الاختبار .

سير العمل : منطق كامل من موقع الكشف

عينة التحميل و التثبيت : اختبار الأجهزة ( على سبيل المثال ، رقاقة ، ممس الاستشعار ) ثابتة على منصة التحميل ، من خلال فراغ الامتزاز أو الميكانيكية لاعبا اساسيا ثابتة ، لضمان أن عملية الاختبار عينة لا التشرد ( التشرد سوف يؤدي إلى التحقيق من نقطة الاختبار ) .

موقع اختبار نقطة : من خلال مراقبة المجهر ، الهدف من اختبار نقطة ( على سبيل المثال ، رقاقة دبوس ، أشباه الموصلات تقاطع PN ، أسلاك متناهية الصغر الكهربائي ) على الجهاز يتم نقلها إلى أسفل مباشرة من التحقيق . Z - المحور يرتفع ببطء ، مما يجعل التحقيق تلميح بالقرب من سطح نقطة الاختبار ، حتى تحت المجهر ، التحقيق و نقطة الاختبار قليلا الاتصال ( بعض أنواع من أجهزة استشعار الضغط من خلال ردود فعل الدولة الاتصال لتجنب الإفراط في الضغط الضرر ) .

إشارة الإرسال و الحصول على البيانات : الخارجية أداة اختبار ( مثل أشباه الموصلات محلل المعلمة ، عالية التردد محلل الشبكة ) ينطبق على اختبار إشارة ( الجهد ، التيار الكهربائي ، الإشارات الضوئية ، وما إلى ذلك ) إلى الجهاز من خلال التحقيق ، إشارة استجابة الجهاز ( مثل الانتاج الحالي ، المقاومة ، تغيير الطيف ) تنتقل إلى الجهاز من خلال التحقيق في الاتجاه المعاكس .

بعد الانتهاء من اختبار واحد نقطة ، محطة نقل الكائن إلى نقطة الاختبار التالي حسب إحداثيات مسبقا ، وتكرار عملية تحديد المواقع - الاتصال - جمع ، وتحقيق دفعة اختبار . جزء من المسبار التلقائي يمكن برمجتها لتحديد مسار الاختبار ، لا أحد على واجب لإكمال كامل رقاقة / عينة كاملة من الاختبار .

التكنولوجيا الأساسية من حيث المبدأ : مفتاح ضمان الدقة والاستقرار

دقة تحديد المواقع التحكم : اعتماد " انتقال الميكانيكية + سيراميك القلق " مركب محرك الأقراص ، تتعاون مع تداخل الليزر أو المشبك حاكم لتنفيذ موقف التغذية المرتدة ، في الوقت الحقيقي تصحيح الخطأ من التشرد من مرحلة التحميل ، وضمان دقة تحديد المواقع تصل إلى مستوى النانومتر ، وتلبية متطلبات المحاذاة من نقطة اختبار ( حجم يمكن أن تكون أقل من 1 ميكرون ) .

ضمان الاتصال الاستقرار : التحقيق تلميح يستخدم تقنية تلميع الخاص لضمان انحناء موحد من تلميح . المسبار مقعد مجهز مرونة هيكل العازلة التي تمتص قوة تأثير صغيرة عند الاتصال ، ويوفر استقرارا الاتصال الضغط ( عادة ما تسيطر على مستوى μ ن ) لضمان موثوقية الكهربائية / البصرية الصدد ، وتجنب الضغط على سطح الجهاز أو تدمير نقاط الاختبار .

إشارة قمع التدخل : انخفاض مستوى الضجيج هو المعتمد في التحقيق ، مطابقة المعاوقة ( على سبيل المثال ، 50 الكهرومغناطيسية التدريع غطاء يستخدم المواد الموصلة ( مثل النحاس والألومنيوم ) لمنع التداخل الكهرومغناطيسي الخارجي ، ولا سيما في عالية التردد ( غيغاهرتز ) المستوى الحالي ( السلطة الفلسطينية ) اختبار السيناريوهات ، إشارة إلى نسبة الضوضاء يمكن أن تحسن إلى حد كبير .

التكيف البيئي الأمثل : في درجة حرارة عالية / انخفاض درجة الحرارة اختبار درجة حرارة العينة يمكن التحكم بدقة من قبل وحدة التدفئة / التبريد ، وفي الوقت نفسه ، يمكن أن تعوض عن الانحراف الناجم عن التوسع والانكماش من المواد . في بيئة فراغ ، تدخل الهواء إلى إشارة الإرسال ( مثل تخفيف إشارة عالية التردد ) و أداء الجهاز ( مثل تأثير الأكسدة ) يمكن القضاء عليها .

ملخص : القيمة الأساسية يدقق في الجدول

في جوهرها ، المسبار هو الجسر الذي يربط بين الدقيقة نانو النطاق بدقة ، جوهر مبدأ العمل هو حل نقطة مؤلمة " من الصعب تحديد المواقع ، من الصعب الاتصال ، من الصعب نقل الإشارات " من خلال دمج الميكانيكا الدقيقة ، والمراقبة البصرية ، إشارة الإرسال التكنولوجيا ، وتوفير بيانات دقيقة وموضوعية اختبار الأداء في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، رقاقة البحث والتطوير ، نانو مواد البحث . مبدأ الاختلاف بين أنواع مختلفة من تحقيقات ( على سبيل المثال ، الكهربائية ، البصرية ، فراغ ، وما إلى ذلك ) هو أساسا المتجسدة في مطابقة نوع التحقيق ، إشارة الإرسال وطريقة وحدة التحكم البيئية ، ولكن جوهر " المواقع - الاتصال - انتقال " المنطق هو نفسه .