multiphoton بلمرة مقاومة للضوء( multiphoton photoresist ) هو نوع خاص من المواد الحساسة للضوء مصممة خصيصا ليزر الفيمتو ثانية ثلاثية الأبعاد الدقيقة نانو تلفيق . multiphoton بلمرة مقاومة للضوء مصممة خصيصا ليزر الفيمتو ثانية ثلاثية الأبعاد الدقيقة نانو بالقطع .

تطبيق السيناريو

الطب الحيوي : رقاقة ميكروفلويديك ، بيوميمتيك سقالة تصنيع لتجنب Photoinitiator biotoxicity ; ا

الأجهزة الضوئية : ثلاثي الأبعاد الكريستال الضوئية ، مجموعة microlens بالقطع .

الآلات الدقيقة : عناصر الكتابة المباشرة التي تدعم هياكل معقدة معلقة .

معايير اختيار مؤشرات الأداء الرئيسية

القرار : تحديد الحد الأدنى من حجم ميزة ( عادة ما تصل إلى 100 نانومتر ) ، وارتفاع القرار يدعم تصنيع هياكل أكثر دقة ( مثل microlens أو البلورات الضوئية ) ؛ ولكن يجب أن تزن التكلفة والأداء ، وتجنب الإفراط في الاستثمار . ا

حساسية : يعكس حساسية التعرض للطاقة ، حساسية عالية يمكن أن تقلل من جرعة التعرض بالليزر ، وتحسين كفاءة التصنيع . ومع ذلك ، ينبغي إيلاء الاهتمام إلى أن حساسية عالية قد تزيد من الحساسية البيئية . ا

على النقيض من تأثير نمط حافة الحدة ، وعلى النقيض عالية ( ما يقرب من 90 درجة من الجدار الجانبي ) للحد من خط طمس ، وتحسين دقة الهيكل . ا

تطوير الأداء : ضمان إزالة المناطق غير مكشوف ، والحد من المخلفات . وينبغي إيلاء الاهتمام لتطوير السرعة و التوحيد في الاختيار . ا

الخواص الميكانيكية : بما في ذلك صلابة ، وصلابة ، وتمتد ، لمنع تشويه أو تكسير في الطلاء أو المعالجة . ا

المقاومة الكيميائية والاستقرار الحراري : مقاومة للتآكل ، والتنظيف ، وارتفاع درجة الحرارة العلاج ( مثل الخبز ) ، وتجنب تشويه الصورة ؛ الاستقرار الحراري مهم جدا بالنسبة multiphoton بلمرة ليزر عالية الطاقة والبيئة . ا

النقاء : محتوى الشوائب يجب أن تسيطر عليها بدقة في جزء في المليون الصف ، عالية النقاء يقلل من خطر microdefects . . . . . . .