جهاز الطباعة الحجرية بدون قناعنماذج المنفعة هي عملية اختبار أداة إسقاط نمط الدائرة مباشرة إلى مادة حساسة للضوء من خلال نظام بصري عالية الدقة ، وبالتالي القضاء على عملية تصنيع قناع لوحة الطباعة الحجرية التقليدية المطلوبة . الجهاز يمكن تقسيمها إلى فئتين : البصرية والجسيمات المشحونة ، بما في ذلك الليزر شعاع الالكترون الكتابة المباشرة ، الكتابة المباشرة وغيرها من أنواع التكنولوجيا . في تصنيع أشباه الموصلات ، من أجل تحسين كفاءة الطباعة الحجرية ، وخفض تكلفة الإنتاج ، وتقصير فترة البحث والتطوير ، وتستخدم على نطاق واسع في مجال biochip ، ممس ، متقدمة التعبئة والتغليف .
على أساس تكنولوجيا المسح الضوئي المكانية المغير ضوء أو شعاع الجسيمات المشحونة مباشرة طريقة الكتابة ، maskless photoetching آلة مباشرة يحول التصميم الرقمي إلى الشكل المادي على مقاومة للضوء ، يدرك maskless النماذج الأولية السريعة . المؤشرات الفنية الأساسية تشمل الحد الأدنى من linewidth ، القرار التلقائي التبديل ، و gray-scale الطباعة الحجرية .
مجال التطبيق
تطوير رقاقة ميكروفلويديك : مناسبة لأنّ ميكروفلويديك ، والالكترونيات الدقيقة وغيرها من المجالات البحثية .
السلطة رقاقة الطباعة الحجرية : دعم متعدد تصميم التجارب من أنابيب الكربون الدوائر المتكاملة .
العناصر البصرية ثلاثية الأبعاد : gray-scale photoetching التكنولوجيا لتحقيق هيكل ثلاثي الأبعاد تجهيز .
الوظائف الأساسية ماجيك نانو الأشعة فوق البنفسجية الذكية معدات الطباعة الحجرية maskless تشمل ما يلي :
عالية الدقة بالقطع ( DMD ) التكنولوجيا المستخدمة لتحقيق 300nm linewidth الدقة ، والحد الأدنى من الخطأ الربط ، وهيكل حافة ناعمة .
كفاءة عالية سرعة الكتابة المباشرة : 300 ملم في الدقيقة ، ومناسبة لنمذجة سريعة و الإنتاج الضخم .
كامل التحكم الآلي : تصميم متكامل ، عملية سهلة ، ودعم 12 بوصة الركيزة ، تنطبق على ميكروفلويديك ، أشباه الموصلات وغيرها من المجالات .
التطبيقات الصناعية : الجمع بين البحث الذاتي خوارزمية مع الأجهزة عالية الأداء ، مع دقة عالية المحاذاة ، النقش ، لتلبية متطلبات الإنتاج على نطاق واسع .