رقاقة ليزر ثلاثية الأبعاد مباشرة ربط جهاز الكتابةمتعدد الفوتون بلمرة ( القسط ) التكنولوجيا المستخدمة في تحقيق حقيقي ثلاثي الأبعاد تجهيز سطح حرة الشكل مع submicron المستوى ، الذي يوفر منصة هامة من أجل التكامل الهجين السيليكون البصرية رقاقة ، الليثيوم نبت الدوائر الضوئية و الكم الأجهزة البصرية .
السمات الرئيسية :
فائقة السرعة تجهيز وحدة ، إلى حد كبير تحسين كفاءة الآلات
عالية الدقة 3D بالقطع ، سطح حرة الشكل التعسفي تصميم وتصنيع هياكل معقدة
و نظام الكشف عن مضان متحد البؤر لتحقيق دقة عالية لتحديد المواقع والمحاذاة
نانو دقة المحاذاة التلقائية نظام تحديد المواقع
في الوقت الحقيقي عالية الدقة التصوير المجهري وقياس وتصنيع واختبار نظام الإحداثيات العالمية
الليزر نظام تثبيت الطاقة ، وضمان الاتساق على المدى الطويل تجهيز
فراغ الامتزاز عينة الجدول ، ومناسبة لمختلف المواد الركيزة
المشبك الخاص الألياف البصرية ، الألياف البصرية مجموعة الفوتون رقاقة
التلقائي تعويض قوة الليزر ، والقضاء على تأثير نهاية الوجه بالقطع عيب
الكشف التلقائي لوحة قاعدة الميل والتسوية
البرمجة المرئية ، عرف عملية بالقطع
دورة صيانة المكونات الرئيسية :
ليزر الفيمتو ثانية : الكشف عن استقرار انتاج الطاقة ، شهريا ، معايرة السلطة متر .
تهتز مرآة النظام : مسح مجموعة الثانوية المعايرة ، كل نصف سنة ، 140 × 140 μ م المعايرة ؛
نظام التحكم في درجة الحرارة : أجهزة الاستشعار مصدر إشعاع الجسم الأسود المعايرة الفصلية ، ± 0.1 ℃ الدقة ؛
وحدة التبريد : فحص ضغط التبريد وختم الأنابيب ، أسبوعيا ( النيتروجين السائل ) ، قراءة قياس الضغط .
عمليات الصيانة اليومية
تنظيف النظام البصري
استخدام قماش خالية من الغبار غمس مع الكحول المطلق لمسح حماية مرآة ، مرآة الليزر تهتز النافذة ، وتجنب خدش طلاء طبقة .
عند استبدال مرآة واقية ، ختم فوهة لمنع الغبار من دخول نظام المسار الضوئي .
معايرة منصة الحركة
التحقق من دقة تحديد المواقع المتكررة ( ± 10nm ) من 3-dimensional كهرضغطية السيراميك الجدول كل ربع سنة ، والتحقق من ذلك من خلال معيار معايرة ورقة .
دليل السكك الحديدية تزييت يتطلب استخدام زيوت التشحيم الخاصة نانو الحجم لتجنب الجسيمات تؤثر على دقة الحركة .