فراغ فرن أنبوبي هو نوع من المعدات التي يمكن أن حرارة المواد في فراغ أو حماية الغلاف الجوي ، وتستخدم على نطاق واسع في مجال أشباه الموصلات ، والطاقة الجديدة ، وتطوير مواد جديدة ، تلبد المعادن ، الخ . اختيار وشراء يجب أن تأخذ في الاعتبار المعايير التقنية ، والأداء والاستقرار ، والأمن ، نسبة السعر إلى الأداء وغيرها من العوامل . وفيما يلي وصف مفصل من المكونات الأساسية ، والاحتياجات الوظيفية ، أداء السلامة ، مثل فراغ أنبوب فرن متطلبات الشراء .

فرن هيكل الجسم والمواد

1 . قطر وطول الأنبوب

- اختيار قطر الأنبوب وفقا لحجم العينة ( المواصفات العامة هي φ 20-φ 100 ملم ) ، مع ما لا يقل عن 20 ٪ من المساحة المتبقية اللازمة لتسهيل الشحن وتدفق الغاز .

- طول منطقة التدفئة ينبغي أن تغطي متطلبات التدفئة العينة ، والنماذج التقليدية هي 200-600mm ، ويمكن تخصيص الاحتياجات الخاصة .

2 . فرن أنبوب المواد

- أنبوب الكوارتز : مقاومة درجات الحرارة العالية ( تصل إلى 1100 ℃ ) ، نفاذية جيدة ، ومناسبة للغلاف الجوي غير قابلة للتآكل ( مثل فراغ أو غاز خامل ) ، ولكن هشاشة كبيرة ، وضعف الاستقرار الصدمة الحرارية .

- أنابيب اكسيد الالمونيوم ( الألومينا ) : ارتفاع درجة الحرارة المقاومة ( تصل إلى 1600 ℃ ) ، ومقاومة الصدمة الحرارية قوية ، ومناسبة للمعدن النشط أو تآكل الغلاف الجوي ، ولكن استخدام على المدى الطويل من السهل فصل الكريستال تشوه .

- أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ : مناسبة لدرجات حرارة منخفضة ( < 1000 ℃ ) أو جو يحتوي على الهيدروجين ، منخفضة التكلفة ولكن مقاومة درجات الحرارة العالية والتآكل الفقراء .

3 . عناصر التدفئة

- تدفئة سلك المقاومة ( مثل سلك الموليبدينوم ، قضيب السيليكون الموليبدينوم ) : مناسبة لارتفاع درجة الحرارة المتوسطة ( < 1700 ℃ ) ، والتحكم في درجة الحرارة عالية الدقة ، ولكن سلك الموليبدينوم هو هش بسهولة في الهيدروجين .

- التدفئة التعريفي : ارتفاع درجة الحرارة بسرعة ، ومناسبة لارتفاع درجة الحرارة في عملية قصيرة الأجل ، ولكن تكلفة المعدات عالية .

- الأشعة تحت الحمراء التدفئة : لا تلوث الاتصال ، ولكن درجة الحرارة التوحيد الفقراء ، يجب أن تكون مطابقة مع تصميم العاكس .

فراغ نظام مراقبة الغلاف الجوي

1 - متطلبات الفراغ

- قاعدة نوع : مضخة ميكانيكية + مضخة الجزيئية الجمع ، فراغ يمكن أن تصل إلى 10 ⁻ 3 ~ 10 ⁻ با ، لتلبية معظم المواد تلبد الاحتياجات .

فراغ عالية نوع : التوربينات مضخة الجزيئية أو ايون مضخة فراغ درجة تصل إلى 10 ⁶ ⁶ ~ 10 ⁻ با مناسبة لأنّ النمو الفوقي أشباه الموصلات عالية الدقة العملية .

2 - توافق الغلاف الجوي

- تحديد نوع الغلاف الجوي اللازم للعملية ( مثل ع ، ن ، ح ، خليط الغاز ) ، واختيار هيكل الختم المقابل ونظام المدخول .

- إذا كانت الغازات المسببة للتآكل ( مثل الكلور والنيتروجين ) ، يجب استخدام مواد مقاومة للتآكل ( مثل بطانة كوارتز + تجويف خارجي من الفولاذ المقاوم للصدأ ) وأجهزة معالجة غاز العادم .

3 - مراقبة مسار الغاز

- وحدة تحكم تدفق الشامل ( MFC ) يمكن تحقيق دقة تنظيم تدفق الهواء ، ومناسبة لخلط الغاز متعددة أو دينامية تبديل المشهد .

- سلامة صمامات تخفيف الضغط وأجهزة استشعار الضغط لمنع خطر انفجار الضغط الزائد .

التحكم في درجة الحرارة و التوحيد

طريقة التحكم في درجة الحرارة

- PID التحكم في درجة الحرارة ذكي : درجة الحرارة في الوقت الحقيقي من خلال ردود الفعل الحرارية ( ك ، ق ) دقة التحكم في درجة الحرارة ± 1 ~ 2 ℃ ، ومناسبة لمعظم التجارب .

- برنامج متعدد المراحل التحكم في درجة الحرارة : دعم أكثر من 30 قطعة من ارتفاع درجة الحرارة / الحفاظ على الحرارة / التبريد منحنى البرمجة لتلبية الاحتياجات العملية المعقدة ( مثل التدرج تلبد ) .

- قياس درجة الحرارة بالأشعة تحت الحمراء أو البيرومتر البصرية : عدم الاتصال قياس درجة الحرارة ، ومناسبة لدرجات حرارة عالية أو البيئات المسببة للتآكل ، ولكن بتكلفة أعلى .

2 . درجة الحرارة التوحيد

- الفرق في درجة الحرارة في منطقة التدفئة يجب أن تسيطر عليها في ± 5 درجة مئوية ، والتي يمكن أن تتحقق من خلال تصميم طبقة مزدوجة تدفئة الجسم ، حتى الهواء الساخن قناة أو فرن الروتاري أنبوب .

- معايرة موقف الحرارية بانتظام لتجنب الأخطاء الناجمة عن قياس درجة الحرارة الحرارية زوجين الانحراف .

أداء السلامة و وظيفة مساعدة

1 - الحماية الأمنية

- حماية أوفيرتيمبيراتوري : رصد درجة حرارة الفرن مع وحدة تحكم في درجة الحرارة مستقلة ، وقطع الكهرباء تلقائيا بعد الزناد .

- فراغ حماية الفشل : عندما الفضاء الحقيقي هو أقل من القيمة المحددة ، تلقائيا ملء الغاز واقية ووقف .

- تصميم مقاوم للانفجار : فرن الجسم يجب أن تكون مجهزة مع انفجار تنفيس أو فيلم مقاوم للانفجار لمنع التوسع الفوري للغاز مما تسبب في انفجار .

2 - المراقبة والراحة التشغيلية

- الكوارتز نافذة المراقبة : من السهل مراقبة حالة العينة في الوقت الحقيقي ، تحتاج إلى حماية ضد ارتفاع درجة حرارة الإشعاع طلاء العلاج .

- شاشة تعمل باللمس + واجهة الإنسان والآلة ( HMI ) : تبسيط إعداد المعلمة مع برنامج التخزين ، ودعم التحكم عن بعد .

تسجيل البيانات وتصدير

- المدمج في مسجل أو واجهة الناقل التسلسلي العام ، في الوقت الحقيقي تسجيل درجة الحرارة ، الضغط ، وتدفق البيانات ، من السهل متابعة التحليل .

المورد المؤهل وخدمة ما بعد البيع

1 - العلامات التجارية والحالات

- إعطاء الأولوية إلى العلامات التجارية مع خبرة في هذه الصناعة ( على سبيل المثال ، كربوليت ، والتكنولوجيا الحرارية ، خفى Kejing ، الخ . )

- طلب تقارير عن حالات النجاح ، ولا سيما حالات التطبيق في سيناريوهات عملية مماثلة .

2. 定制能力

- الاحتياجات الخاصة ( مثل درجة حرارة عالية جدا ، كبيرة الحجم أنابيب الفرن ، التبريد السريع ) يجب أن يكون تقييم الموردين غير القياسية تصميم القدرات .

- تأكيد فترة التسليم مع الضمان ( عادة 1 سنة ضمان المكونات الأساسية ) .

3 - دعم ما بعد البيع

- ما إذا كان يتم توفير التدريب في مجال التركيب ، والتوجيه في مجال التكليف ، وخدمات الصيانة مدى الحياة .

- يجب أن تكون دورة توريد قطع الغيار والأسعار واضحة لتجنب ارتفاع تكاليف الاستخدام في وقت لاحق .