في طليعة من تكنولوجيا الأغشية الرقيقة ، كل قفزة لا يمكن فصلها عن السيطرة الدقيقة في العالم . متعددة الوظائف المغنطرون الاخرق الصك ، الذي يجمع بين فيزياء البلازما و هندسة المواد من الحكمة ، هو مزيج فريد من المعلمات العملية ، مثل العالم النانومترية نحت سكين ، يحدد مصير قوة الترابط بين الفيلم و الركيزة . دراسة تأثير هذه المعلمات على التصاق ليس فقط مفتاح حل الألغاز في تكنولوجيا الأغشية الرقيقة ، ولكن أيضا القوة الدافعة الرئيسية في تطوير صناعة الالكترونيات الدقيقة ، والفضاء ، والبصريات الدقيقة .
الاخرق السلطة ، مثل " قلب " من المعلمات العملية ، مباشرة يتحكم في الطاقة الأولية و كثافة الفيلم النمو . وتظهر النتائج أن الطاقة الحركية و معدل التأين من الجسيمات الاخرق يمكن أن تزيد على نحو فعال من خلال رفع الطاقة المناسبة ، والتي يمكن أن تكون جزءا لا يتجزأ من سطح الركيزة أكثر عمقا ، وتشكيل آلية التعشيق أو حتى microdiffusion طبقة . ومع ذلك ، فإن الإفراط في الطاقة ، مثل تأثير القوة الغاشمة ، يمكن أن يؤدي إلى تراكم الإجهاد المتبقية أو يؤدي إلى واجهة العيوب ، مما يؤدي إلى انهيار المستعبدين النمل .
الضغط والغلاف الجوي تشكل " التنفس " البيئة من أجل نمو الفيلم ، الذي ينظم بدقة متوسط المسار الحر و التفاعلات الكيميائية مسار الجسيمات . في ظل انخفاض ضغط العمل ، اصطدام الجسيمات الاخرق هو انخفاض ، وارتفاع الطاقة التي يمكن أن تصل إلى الركيزة ، والتي هي مواتية لتحسين كثافة الفيلم وقوة الترابط . وعلى العكس من ذلك ، فإن ارتفاع الضغط الجوي يسبب الجسيمات تبديد الطاقة ، فيلم فضفاضة ، التصاق الطبيعية ضعيفة . أكثر دقة هو إدخال رد فعل الغازات ( مثل النيتروجين والأكسجين ) في الاخرق المعادن المستهدفة ، عن طريق التحكم بدقة في معدل تدفق الغاز رد الفعل ، يمكن أن تنتج في الموقع على سطح الركيزة نيتريد أكسيد أو الأفلام التي هي أكثر قوة السندات الكيميائية ، وأكثر مقاومة للتآكل . على سبيل المثال ، عندما كمية مناسبة من النيتروجين هو عرض إيداع نتريد الألمنيوم رقيقة ، الرابطة الكيميائية التي تشكلت في واجهة يزيد من قوة لاصقة من حجم واحد من الألومنيوم النقي الفيلم .
درجة حرارة الركيزة ، مثل " مهد درجة الحرارة " فيلم النمو ، يؤثر تأثيرا عميقا على الهجرة الذرية ، مكثفات ونشرها بلورة السلوك . الركيزة ساخنة بشكل صحيح ، مثل توفير الحارة " الميدان " إلى الجسيمات الاخرق ، وتعزيز نشر على السطح ، وملء العيوب ، ويمكن أن تحفز انتشار الذرات في واجهة على شكل قوي الترابط المعدنية أو الصلبة الرابطة الكيميائية . دراسة عن ترسب أكسيد الهافنيوم الأفلام على رقائق السيليكون إلى أن التصاق الأفلام بنسبة ما يقرب من ثلاث مرات من ارتفاع درجة حرارة الركيزة من درجة حرارة الغرفة إلى 300 درجة مئوية ، ويرجع ذلك إلى أفضل crystallinity وأكثر إحكاما واجهة الاتصال . وبطبيعة الحال ، فإن درجة الحرارة يجب أن تكون مطابقة مع خصائص المواد لتجنب تقشير بسبب اختلاف معامل التمدد الحراري .
وعلاوة على ذلك ، فإن تطبيق التحيز مثل " اليد الخفية " التي تمارس على جانب الركيزة ، يمكن أن تلعب دورا في تنظيف الموقع ، التكثيف الفيلم طبقة ، وحتى حمل النمو الفوقي من خلال جذب جزء من القصف الأيوني الفيلم في النمو .
من بئر عميق النظرية إلى تطبيق واسع النطاق ، دراسة عن التعاون الأمثل الاخرق السلطة ، الضغط الجوي ، درجة حرارة الركيزة وغيرها من المعالم الأساسية لم تعد في صناعة أشباه الموصلات ، من خلال التحكم في هذه المعايير بدقة ، التصاق قوية و مقاومة منخفضة جدا من نانو النطاق ربط الأفلام في رقاقة يمكن أن تتحقق . في مجال aeroengine ، الحصول على طلاء الجدار العازل الحراري القوي الذي يحمي سلامة شفرة في البيئة . في كل مرة عملية نافذة المعايرة ، هو أكثر موثوقية وكفاءة تكنولوجيا الأغشية الرقيقة .
في المستقبل ، جنبا إلى جنب مع الذكاء الاصطناعي آلة التعلم الخوارزمية ، محاكاة والتنبؤ التفاعل المعقد مع معلمات متعددة سوف تكون أكثر دقة . وفي الوقت نفسه ، البحث عن آلية الربط البيني في ظل ظروف مثل درجة حرارة عالية جدا وقوية الإشعاع سوف يمهد الطريق أمام مجالات مثل الطاقة النووية و استكشاف الفضاء السحيق .