سطح ثلاثي الأبعاد profilometerنماذج المنفعة هي أداة قياس دقيقة عالية الدقة قياس ثلاثي الأبعاد تضاريس سطح الكائن ، والتي يتم تطبيقها على نطاق واسع في مجالات الالكترونيات ، والسيارات ، وأشباه الموصلات ، علم المواد ، واختبار الصناعية ، الخ .

　　سطح ثلاثي الأبعاد profilometerالأداء يعتمد على المعايير التقنية الرئيسية ، وتطبيق مختلف السيناريوهات تختلف اختلافا كبيرا في الاحتياجات من المعلمات ، في حين أن التركيز على شراء المؤشرات التالية :

1 . قياس مدى :

بما في ذلك مجموعة عرضية ( س / ص المحور ، تحديد حجم العينة يمكن قياسها * كبيرة الحجم ) و مجموعة طولية ( ض المحور ، تحديد سطح قابل للقياس * فرق كبير في الارتفاع ) .

2 - القرار :

عمودي القرار : قياس القدرة على التمييز بين الفرق الصغيرة في الارتفاع من السطح ، هو المؤشر الأساسي .

عرضية القرار : قياس القدرة على التمييز بين خصائص السطح الجانبي الصغيرة ، مع نظام بصري عدسة التكبير ، كاشف بكسل .

3 . دقة القياس :

الانحراف بين نتيجة القياس و القيمة الحقيقية ، وعادة ما تشمل الخطأ الخطي ( خطية من محور Z التشرد ) ، تكرار الخطأ

4 . قياس السرعة :

اعتمادا على طريقة المسح الضوئي ( نقطة نقطة المسح الضوئي ، خط المسح الضوئي ، مسح سطح ) و كفاءة معالجة البيانات :

ضوء منظم الإسقاط نوع : سطح المسح الضوئي ، سرعة * بسرعة ( ميلي ثانية واحدة ، ومناسبة على الانترنت الكشف ) ؛

مجهر القوة الذرية ( فؤاد ) : نقطة نقطة المسح الضوئي ، سرعة بطيئة ( دقيقة المستوى ، غير متصل تحليل دقيق ) ؛

الضوء الأبيض التداخل : خط المسح الضوئي ، سرعة متوسطة ( ثانية إلى دقيقة ، مع مراعاة الدقة والكفاءة ) .

5 . عينة التوافق :

بما في ذلك عينة من المواد ( المعدنية ، غير المعدنية ، شفافة / مبهمة ، موصل / العزل ) ، الحجم ( ما إذا كان يناسب عينة الجدول ) ، حالة السطح ( على نحو سلس / الخام ، جاف / رطب ) .