واحدالتلقائي آلة الغراء التوحيدمبدأ العمل : دقة التنسيق بين العمليات الفيزيائية والكيميائية
من خلال ثلاث خطوات أساسية ، وهي طلاء مقاومة للضوء ، المعالجة الحرارية ، وتطوير ، مقاومة للضوء التلقائي آلة التنمية يمكن الانتهاء من طلاء موحد ، علاج ، ونمط التنمية في عملية الطباعة الحجرية .
عملية طلاء
نازف و تدور طلاء : عالية الدقة مضخة قطرات كمية مقاومة للضوء إلى مركز رقاقة ، رقاقة فراغ تشاك ثابتة بعد سرعة دوران عالية ( سرعة دوران 0-10 ، 000 دورة في الدقيقة ، دقة ± 1 دورة في الدقيقة ) ، واستخدام قوة الطرد المركزي لجعل مقاومة للضوء تنتشر بالتساوي على شكل نانو فيلم . على سبيل المثال ، dyx-640s 45 شركة كهرباء الصين حققت 4 / 6 بوصة فيلم سمك تذبذب أقل من 3 في المائة من خلال ديناميكية تدور طلاء .
إزالة الحافة : حافة مقاومة للضوء إزالة وظيفة إزالة رقاقة حافة طبقة مقاومة زائدة لمنع التلوث بعد العملية . بعض المعدات ( مثل سانهي جيانهوا مرحبا التكنولوجيا dyx-840s ) دعم مقاومة للضوء اللزوجة ≤ 1000cp ، ومناسبة لمعالجة المواد منخفضة اللزوجة .
عملية المعالجة الحرارية
قبل الخبز : الخبز في 80-120 ℃ يتبخر بعض المذيبات في مقاومة للضوء ، والحد من التوتر الداخلي ، ومنع الفيلم من تكسير . درجة الحرارة التوحيد هو ± 0.5 ℃ ( 50-100 ℃ ) .
بعد الخبز : الخبز بعد التعرض ( 110-140 ℃ ) ، والحد من تأثير موجة دائمة ، وتعزيز التفاعل الكيميائي ، وتحسين نمط القرار .
من الصعب الخبز : الخبز بعد التنمية ( 150-180 ℃ ) ، كذلك علاج مقاومة للضوء ، وتعزيز مقاومة التآكل .
تطوير التكنولوجيا
المطور : رش السائل ( على سبيل المثال tmah ) بالتساوي على سطح رقاقة من خلال فوهة ( عمودي أو ح نوع ) ، بالتناوب وضع ( 100-500rpm ) بحيث المطور يمكن أن تتفاعل كيميائيا مع مقاومة للضوء ، حل يتعرض أو غير مكشوف في المنطقة .
الشطف والتجفيف : تنظيف رقاقة مع ديونيزيد المياه ، وإزالة بقايا المطور ، ثم التجفيف في سرعة عالية . دقة العرض من المطور ± 0.1ml ، وتطوير الوقت ودرجة الحرارة يجب أن تسيطر عليها بدقة لتجنب الإفراط أو underdeveloping . . . . . . .
ثانياالتلقائي آلة الغراء التوحيدالخصائص الهيكلية : تصميم وحدات القيادة والمرونة والكفاءة
وحدة الهندسة المعمارية لصناعة السيارات في توحيد الغراء المطور هو الابتكار الأساسية ، من خلال مزيج من وحدات وظيفية مستقلة والتوسع في تحقيق متعددة المشهد المناسب :
وحدة وظيفية تعمل بشكل مستقل
وحدة الغراء : مجهزة عالية الدقة الغراء نازف الجهاز ودينامية منصة دوارة ، ودعم 100-6000rpm ستبليس سرعة التنظيم . على سبيل المثال ، شنغهاي ماكسويل p9006 نوع المعدات مجهزة 2 مجموعات من وحدات مقاومة موحدة ، في وقت واحد يمكن التعامل مع مختلف اللزوجة للضوء .
تطوير وحدة : دمج نظام الرش متعددة الاتجاهات مع فيلم السائل رصد الاستشعار ، المطور توزيع الانحراف تسيطر على أقل من 5 ٪ ( 6 بوصة رقاقة ) .
المعالجة الحرارية وحدة تتألف من 4 وحدات الخبز و 3 وحدات التبريد ، التحكم في درجة الحرارة مجموعة تغطي درجة حرارة الغرفة إلى 250 درجة مئوية ، ميكا لوحة التدفئة المستخدمة في التدفئة ، درجة الحرارة التوحيد ± 1 درجة مئوية ( 50-120 درجة مئوية ) .
تمدد والتوافق
رقاقة الحجم المناسب : دعم 2-12 بوصة رقاقة تجهيز ، من خلال إضافة وحدات لتحقيق زيادة الإنتاجية . على سبيل المثال ، dyx-640s نموذج قياسي مع مجموعة واحدة من المتلاعبين ، مجموعتين من وحدة الغراء ، واثنين من مجموعات من وحدات التنمية ، متوسط القدرة على تجهيز 4 بوصة و 6 بوصة رقاقة خط الانتاج .
عملية التوافق : دعم ز خط ، خط أنا وجزء من krf الغراء لتلبية الاحتياجات التقنية 130nm العملية . بعض الأجهزة ( مثل ac200-pp-ctm ) توفير 100 مجموعة من الخطوات العملية القابلة للبرمجة التي تدعم التخصيص ( مثل backwashing و deedging ) .
مراقبة البيئة و الذكاء
كامل تصميم مغلقة : الرطب والجاف فصل هيكل الكهربائية والهيدروليكية فصل التصميم لمنع التلوث الصليب . اختياري مع تدفق الصفحي هود ( FFU ) لتحسين النظافة المحلية إلى فئة 100 القياسية .
التحكم الآلي : على متن الصناعية نظام مراقبة المجلس التشريعي الفلسطيني ، وتخزينها أكثر من 200 مجموعات من المعلمات العملية ، ودعم آلية إنذار غير طبيعي ( 32 نوع من معدات رصد حالة نقطة ) مع وظيفة تتبع البيانات ( السجلات الدفعية الإلكترونية ) .
مناور انتقال : استيراد متعددة مشتركة مزدوجة ذراع مناور لتحقيق رقاقة في كل وحدة عالية الدقة انتقال ( دقة تحديد المواقع ± 0.1mm ) ، والحد من الأخطاء البشرية .