مجهر مسح بالإلكترون البلازما آلة التنظيفمجهر مسح بالإلكترون )SEM ) عينة إعداد وتصميم معدات التنظيف ذات الكفاءة العالية . الجهاز يستخدم تكنولوجيا البلازما لإزالة الملوثات العضوية والغبار على سطح العينة من خلال الإثارة من الغاز النشط ، وبالتالي ضمان نظافة عالية الجودة التصوير من العينة في المراقبة المجهرية .

مجهر مسح بالإلكترون البلازما آلة التنظيفعلى أساس التفاعلات الكيميائية والفيزيائية البلازما . الغاز هو متحمس من قبل عالية التردد المجال الكهرومغناطيسي ، جزيء الغاز المتأين و البلازما عالية الطاقة المنتجة . هذه البلازما الحصول على ما يكفي من الطاقة في إطار العمل من الحقل الكهربائي ، اصطدام مع جزيئات الغاز المحيطة بها ، مما أدى إلى المزيد من الطاقة العالية من الجزيئات النشطة . هذه الجزيئات ذات الطاقة العالية تتصادم مع سطح المواد التي سيتم تجهيزها ، الملوثات التي تعلق على السطح يمكن أن تؤثر على فصل من السطح ، وبالتالي تحقيق الغرض من تنظيف السطح . وفي الوقت نفسه ، الجسيمات النشطة في البلازما قد تتفاعل مع سطح المواد الكيميائية لإنتاج المواد المتطايرة ، تحويل الملوثات في شكل من السهل إزالة مزيد من تنقية السطح .