[ الصناعة الكيميائية أداة شبكة دينامية ] ليزر قياس التداخل يشير إلى استخدام الليزر كمصدر الضوء ، الليزر الطول الموجي أو تردد الليزر كمعيار ، باستخدام مبدأ التداخل الضوئي لقياس دقة الأسلوب ، مع عدم الاتصال قياس حساسية عالية ، وارتفاع درجة من المزايا . تداخل الليزر يستخدم عادة لقياس التشرد ، طول ، زاوية ، سطح الركيزة ، والتغيرات في مؤشر الانكسار من وسائل الإعلام ، وما إلى ذلك التداخل مايكلسون ، ماخ زيندر التداخل ، تداخل فيزو ، تيمان غرين التداخل هي واحدة من الوسائل الفعالة لتحقيق دقة فائقة القياس والتحكم في مقياس النانو الصغيرة القياس . في الآونة الأخيرة ، بدعم من مشاريع وطنية كبرى في مجال العلم والتكنولوجيا ، مثل " تصنيع معدات الدوائر المتكاملة على نطاق واسع ومجموعة كاملة من العمليات " ، لى يان ، أستاذ في جامعة تسينغهوا ، مدير اللجنة الأكاديمية قسم الآلات الدقيقة ، أكملت فريق البحث " عالية السرعة متعددة محور الليزر عالية الدقة قياس التداخل التكنولوجيا والأدوات " المشروع الذي كسر من خلال سلسلة من الاختناقات التقنية الرئيسية ، وشكلت طريقة قياس جديدة ، ونظام الصك . وفقا لمدير لي ، المشروع من التداخل مكونات إشارة الكشف عن الإستخلاص متعددة درجة حرية الكشف عن تصميم سلسلة كاملة من البحوث والتنمية الذاتية عالية السرعة ، متعددة محور مجموعة كبيرة ، وارتفاع القرار تداخل الليزر نظام القياس . في الوقت الحاضر ، تردد مزدوج تداخل الليزر المستخدمة في نظام photoetching آلة وضعت من قبل فريق المشروع قد تم تطبيقها على أكثر من 50 مجموعات من photoetching آلة في عملية البحث والتطوير . نتائج البحث يمكن أن تلبي متطلبات قياس الدقة الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة الحجرية الطباعة وبالإضافة إلى ذلك ، subnano القرار التتبع هترودايني التداخل وضعت في هذا المشروع يمكن أن تستخدم أيضا في البحث والتطوير من الليزر متعددة الأبعاد نظام القياس . إن subnano-resolution تتبع هترودايني التداخل يمكن أن تجد خطأ غير الخطية من الليزر متعددة الأبعاد نظام القياس ، وتصحيح الخطأ مع الدوائر الخاصة ، وتحسين أداء وحدة الليزر متعددة الأبعاد نظام القياس . طريقة جديدة لتعقب التداخل المقترحة من قبل فريق التطوير قد ساهم في إعادة تعريف ثابت أفوجادرو مور وحدة . ومن الجدير بالذكر أيضا أنه في الماضي ، والصين لم يتقن البحث والتطوير من التكنولوجيا الأساسية من تداخل الليزر أداة ، ولكن نجاح المشروع في ضربة واحدة لكسر القيود الخارجية واحتكار بلدنا تداخل الليزر أداة ، أثرى بلدنا تداخل الليزر النظرية والتكنولوجيا ، وهذا يعني أن بلدنا معدات وأدوات البحث والتطوير في المستقبل سوف يكون أداء مستقر و لا تخضع الخارجية قياس وتتبع القدرة . وباختصار ، فإن نتائج هذه الدراسة لها فوائد تقنية واقتصادية واجتماعية هامة . الليزر قياس التداخل هو وسيلة هامة لضمان تتبع نانومتر القياس ، هو أيضا مفتاح قياس واختبار التكنولوجيا لدفع بلدنا إلى الأمام إلى قوة قوية في القياس والتصنيع . ونحن نعتقد أنه مع فريق البحث والتطوير مواصلة البحث المتعمق ، ليزر قياس التداخل في الصين سوف تستمر في التقدم ، من أجل تحقيق المزيد من الفوائد في الصين .