في عملية تصنيع أشباه الموصلات ، رقاقة سطح نظافة أجزاء مباشرة يحدد العائد والأداء من رقاقة . التنظيف الرطب التقليدية من السهل أن تبقى الكواشف الكيميائية ، من الصعب التعامل مع ميكرون الصف هيكل غرامة ، ولكن البلازما آلة التنظيف الجاف ، غير التالفة ، عالية الدقة تجهيز الخصائص ، أصبحت جزءا هاما من تصنيع أشباه الموصلات معدات المعالجة السطحية ، وتستخدم على نطاق واسع في photoetching قبل المعالجة ، قبل الربط التنشيط ، والتعبئة والتغليف ، إزالة الصمغ وغيرها من العمليات الرئيسية .

مبدأ العمل الأساسية البلازما الأنظف

جوهر البلازما آلة التنظيف هو أن تعمل الغاز هو متحمس من خلال الترددات اللاسلكية مصدر الطاقة ، والتي يمكن أن تكون مؤينة على شكل البلازما تتكون من الإلكترونات ، الأيونات ، الجذور الحرة ، الخ . هذه الجزيئات النشطة عالية النشاط الكيميائي والطاقة الحركية المادية ، ويمكن تنظيف السطح بطريقتين :

1 . النقش المادية : عالية الطاقة الأيونات في البلازما في إطار العمل من الحقل الكهربائي عالية السرعة القصف على السطح المراد تنظيفها ، تعلق الجسيمات الملوثة ، بقايا الغراء العضوية وغيرها من المادية قشر ، لتحقيق " الجافة التفجير " مثل تأثير التنظيف ، النقش التوحيد يمكن السيطرة عليها في النانو ، لا ضرر من المواد الأساسية .

2 - التفاعلات الكيميائية : الأكسجين والهيدروجين والأرجون وغيرها من الغازات المستخدمة وفقا لمتطلبات التنظيف ، والتي يمكن أن تؤدي إلى التفاعلات الكيميائية . على سبيل المثال ، الأكسجين البلازما يمكن أن أكسدة الملوثات العضوية في المشارك و h 2o واستخراج الهيدروجين البلازما يمكن إزالة طبقة أكسيد على سطح المعدن ، خليط الغاز يمكن أن تنظر في كل من التنظيف و تعديل السطح .

تطبيق نموذجي المشهد في تصنيع أشباه الموصلات

1 . رقاقة المعالجة قبل الطباعة الحجرية

قبل طلاء مقاومة للضوء ، إذا كان هناك أثر النفط وصمة عار ، بخار الماء أو طبقة أكسيد على سطح رقاقة ، مقاومة للضوء طلاء غير موحدة ، نمط نقل التشويه . البلازما الأنظف يمكن الانتهاء من مسعور وماء تعديل سطح رقاقة في 30-60 ثانية ، وفي الوقت نفسه ، يمكن إزالة الملوثات نانومتر ، مما يزيد من قوة لاصقة من مقاومة للضوء رقاقة الركيزة أكثر من 30 ٪ ، والحد بشكل كبير من معدل عيب في عملية الطباعة الحجرية .

2 . سطح رقاقة الربط والتعبئة والتغليف التنشيط

في رقاقة الترابط ( على سبيل المثال ، سي سي الترابط heterojunction الترابط ) ، وعدم كفاية النشاط السطحي يمكن أن يؤدي إلى عدم كفاية قوة الترابط ، واجهة تجويف وهلم جرا . عدد كبير من المجموعات النشطة مثل الهيدروكسيل ، الكربوكسيل ، وما إلى ذلك يمكن أن تضاف إلى سطح رقاقة من الأرجون والأكسجين مختلطة البلازما العلاج . وبالإضافة إلى ذلك ، في عملية إزالة الصمغ رقاقة التغليف ، تنظيف البلازما يمكن أن تحل محل التقليدية الرطب إزالة الصمغ ، وتجنب بقايا المواد الكيميائية من تجويف التغليف ، وتحسين التعبئة والتغليف العائد .

3 . دقة تنظيف مكونات أشباه الموصلات

إذا كانت أجزاء دقيقة من معدات تصنيع أشباه الموصلات ( على سبيل المثال ، مصاصة من المطاط الخالط ، فوهة آلة النامية ) تعلق على بقايا المطاط ، الجسيمات ، عملية الاستقرار سوف تتأثر مباشرة . البلازما آلة التنظيف يمكن تنظيف أجزاء مع بنية معقدة دون تفكيك ، وبالتالي ضمان دقة التنظيف وتقصير فترة صيانة المعدات .

المؤشرات الفنية الرئيسية في اختيار المعدات

1 . البلازما التوحيد : رقاقة كبيرة الحجم ( على سبيل المثال ، 12 بوصة ) ، تحتاج إلى التأكد من أن كثافة البلازما داخل تجويف الانحراف أقل من أو يساوي 5 ٪ ، وإلا سوف يؤدي إلى تأثير التنظيف غير موحدة ، تؤثر على رقاقة الاتساق .

2 . الترددات اللاسلكية السلطة والتردد : الترددات اللاسلكية منخفضة التردد ( 27 ميغاهيرتز ) هو مناسبة لأنّ النقش المادية ، الترددات اللاسلكية عالية التردد ( 13.56mhz ) هو أكثر ملاءمة لتنظيف التفاعلات الكيميائية ، وبعض المعدات مجهزة تردد مزدوج الترددات اللاسلكية ، ويمكن تحقيق دقة الحفر وتعديل التنظيم .

3 - نظام التحكم في درجة فراغ التجويف والغاز : استقرار درجة فراغ في 10-100pa يمكن ضمان استقرار البلازما ، عالية الدقة وحدة تحكم تدفق الشامل ( MFC ) يمكن تحقيق دقة ضبط نسبة الغاز متعددة ، وتلبية الاحتياجات التكنولوجية المتنوعة .

4 . لا ضرر في القدرة على التعامل مع : مرنة الركيزة أو الأجهزة الحساسة التي من السهل أن تتلف ، وانخفاض الطاقة البلازما واسطة يجب أن تكون مجهزة ، القصف الأيوني الطاقة أقل من 10 فولت لتجنب الضرر شعرية من المواد الركيزة .

رابعاً - الاتجاهات التكنولوجية

مع تطور تكنولوجيا أشباه الموصلات إلى 3 نانومتر أو أقل ، البلازما الأنظف هو النامية نحو مزيد من التوحيد ، وانخفاض الضرر ، وأكثر ذكاء السيطرة . من ناحية ، توزيع الترددات الراديوية الكهربائي ( DRF ) هو المعتمد في تجويف الهيكل ، جنبا إلى جنب مع البلازما تكنولوجيا المحاكاة ، حتى تنظيف رقاقة أكثر من 200 ملم في جميع أنحاء العالم يمكن أن تتحقق . من ناحية أخرى ، فإن عملية منظمة العفو الدولية حلقة مغلقة نظام متكامل ، والتي يمكن تلقائيا ضبط الطاقة والغاز نسبة وفقا في الوقت الحقيقي رصد البلازما المعلمات . وفي الوقت نفسه ، التصميم الأخضر هو الاتجاه الجديد ، وانخفاض استهلاك الطاقة الترددات اللاسلكية إمدادات الطاقة القابلة لإعادة التدوير نظام الغاز يمكن أن تقلل من استهلاك الطاقة الشاملة وحماية البيئة تكلفة المعدات .

كما سطح تنظيف وتعديل الخبراء في تصنيع أشباه الموصلات ، البلازما آلة التنظيف هو دائما على نفس التردد مع رقاقة عملية الترقية . في المستقبل ، مع تعميم تكنولوجيا التعبئة والتغليف ، والتكامل غير متجانسة ، البلازما معدات التنظيف سوف تلعب دورا لا غنى عنه في عملية أكثر السيناريوهات ، إرساء أساس متين لتطوير صناعة أشباه الموصلات عالية الجودة .