طريقة لتحسين الاتساق في طلاء أشباه الموصلات : البعد الكامل الأمثل من العملية إلى الجهاز

أشباه الموصلات طلاء مقاوم هو خطوة رئيسية في عملية الطباعة الحجرية ، النقش ، وهلم جرا ، سمك الفيلم التوحيد يؤثر بشكل مباشر على رقاقة نمط نقل الدقة ، والاتساق في الخصائص الكهربائية و العائد . من أجل تحسين الاتساق ، ينبغي أن تركز على أربعة أبعاد رئيسية ، وهي المواد المناسبة ، معايرة المعدات ، ومراقبة عملية مراقبة البيئة .

دقة مطابقة خصائص المواد وتجهيزها

- تحسين وضع معايير مقاومة للضوء : ضبط اللزوجة ، التوتر السطحي ، والمحتوى الصلب وفقا لطريقة طلاء مقاومة للضوء ( طلاء الروتاري ، شق طلاء ، طلاء الرش ) ، على سبيل المثال ، عملية طلاء الروتاري يحتاج إلى تقليل تأثير القص تمييع مقاومة عالية اللزوجة ، شق طلاء مقاومة يحتاج إلى ضمان استقرار معدل انتشار مقاومة السائل عند الاتصال رقاقة .

- تعزيز المعالجة السطحية للرقائق : إزالة بقايا المواد العضوية عن طريق تنظيف البلازما ، وزيادة التصاق مقاومة للضوء والرقائق من خلال تطبيق hmds ( hexamethyldisilamine الكان ) ، وفي الوقت نفسه السيطرة على زاوية قطرات الماء على سطح الرقاقة في 10-20 درجة ، وتجنب " يتقلص " أو " ثقب الإبرة " عند تطبيق الغراء .

- التحكم في درجة حرارة السائل و degasification : سخن مقاومة للضوء إلى 23 ± 1 درجة مئوية ( درجة حرارة التشغيل القياسية ) ، والحد من التقلبات في اللزوجة . قبل تطبيق الغراء ، فراغ degasification تتم لمدة 30 دقيقة ، microbubbles في الغراء السائل يتم إزالتها ، و سمك المحلية التغيير المفاجئ هو منعه .

معايرة وتحديث المعدات الأساسية المعلمة

- تحسين معدات الطلاء الدوارة : التحكم بدقة في منحنى السرعة ( التسارع ، سرعة موحدة ، وتباطؤ القسم ) ، سرعة موحدة خطأ في القسم ≤ ± 5 دورة في الدقيقة ، وفي الوقت نفسه معايرة قوة الامتزاز فراغ تشاك التوحيد ، وتجنب حافة رقاقة بسبب " سماكة " ؛ تحسين تصميم حافة طارد خاتم ( ابر ) قمع تشكيل حافة السرير عن طريق ضبط موقف فوهة تدفق طارد .

- التكليف بمعدات طلاء الشقوق : معايرة التوازي ( الانحراف أقل من 2 ميكرون ) بين الرأس والرقائق ، وتحسين التزامن بين سرعة طلاء الغراء الغراء السائل الناتج ، واعتماد " ديناميكية تدفق التعويض " الخوارزمية ، وضبط حجم البصق المحلية وفقا لتوزيع ارتفاع سطح الرقاقة ( التغذية المرتدة في الوقت الحقيقي من خلال قياس المسافة بالليزر ) ؛ تنظيف فوهة الرذاذ بانتظام لتجنب " الشريط " غير موحدة بسبب بقايا الغراء .

- ترقية المعدات المساعدة : إدخال وحدة تنظيف السطح الخلفي للرقائق لإزالة الميل الناجم عن التلوث من السطح الخلفي للرقائق؛ في الوقت الحقيقي وحدة الكشف عن سماكة الفيلم ( مثل التداخل الضوئي ) إضافة إلى تحقيق التغذية المرتدة الفورية سمك البيانات بعد الإلتصاق ، ودينامية تصحيح البارامترات التكنولوجية .

غرامة السيطرة على العملية التكنولوجية

- تحسين البارامترات التكنولوجية على مراحل : في عملية الطلاء الدوارة ، سرعة منخفضة قبل الطلاء ( 500-1000 دورة في الدقيقة ) يضمن تغطية موحدة من المطاط السائل ، وارتفاع سرعة قذف المطاط ( 3000-6000 دورة في الدقيقة ) يتحكم في سماكة الفيلم ، ثم يتباطأ القسم لتجنب ارتداد المطاط السائل ؛ فتحة طلاء الغراء يجب أن تتطابق مع سرعة المسح الضوئي الغراء رئيس رقاقة سرعة التحرك ، وتجنب " بداية نهاية سميكة جدا " و " نهاية الغراء نقص .

- التنظيم التفاضلي بين الحافة والمركز : في ضوء الانحراف في سمك بين المركز والحافة من رقاقة ، استراتيجية " تباطؤ في المنطقة الوسطى " و " طلاء الحافة أكثر من مرة " اعتمدت ، أو سمك الفيلم كان متوازن من خلال تأثير الانتشار الحراري من خلال تعديل توزيع درجة الحرارة من مصاصة ( ± 0.5 ℃ ) .

- تحسين عملية المعالجة التعاونية : بعد طلاء الغراء ، لينة درجة حرارة التجفيف تعتمد خطوة ارتفاع درجة الحرارة ( على سبيل المثال ، 60 درجة مئوية إلى 90 درجة مئوية ) ، وتجنب الانكماش غير المتكافئ من سطح الغراء السائل الناجم عن التطاير السريع ، لينة تجفيف الوقت الخطأ هو التحكم في ± 10 ثوان ، وضمان أن المذيبات حتى الهروب .

رابعا ، البيئة و ظروف مساعدة رقابة صارمة

- مراقبة البيئة في غرفة نظيفة : الحفاظ على نظافة الصف 1 في منطقة الطلاء ، درجة الحرارة 23 ± 0.5 ℃ ، الرطوبة 45 ± 5 ٪ ، وتجنب العيوب الناجمة عن جزيئات الغبار المحلية الطلاء ، والحد من تأثير درجة الحرارة والرطوبة تقلب على اللزوجة من الغراء .

- رقاقة التحميل والنقل الأمثل : استخدام فراغ شفط القلم أو ذراع ميكانيكية لنقل تماس ، وتجنب خدش سطح رقاقة ؛ تأكد من أن يتم وضع رقاقة في مركز مصاصة مع الانحراف أقل من أو يساوي 0.2mm لمنع سمك الانحراف الناجم عن تفاوت قوة الطرد المركزي .

- رصد استقرار العملية : إنشاء نظام مراقبة العملية الإحصائية ( SPC ) لتتبع بيانات سمك الفيلم في الوقت الحقيقي ( الانحراف 3 σ ≤ ± 2 ٪ ) ، ومعايرة أجهزة الاستشعار العادية ( مثل أجهزة استشعار السرعة ، وأجهزة الاستشعار تدفق ) ، وأخذ العينات في كل دفعة من مناطق مختلفة من رقاقة ( المركز ، الحافة ، رباعي ) سمك الفيلم ، في الوقت المناسب للكشف عن الشذوذ .

من خلال الاستفادة المثلى من الأبعاد التعاونية ، من الواضح أن تحسين التوحيد من أشباه الموصلات طلاء سمك الفيلم يمكن أن يتحقق ، الذي يرسي الأساس عالية الدقة نمط نقل بعد عملية التصنيع ، وفي الوقت نفسه ، وفقدان العائد في عملية تصنيع رقاقة هو انخفاض . في الممارسة العملية ، وفقا لمتطلبات محددة من رقاقة الحجم ، سمك الطلاء ، نوع مقاومة للضوء ، وما إلى ذلك ، يجب أن تختار خطة التحسين و التكرار المستمر .