طلاء الفراغPVDالمادية بخار ترسبCVDترسيب الأبخرة الكيميائيةألدللطبقة ترسب ( AESD ) هي واحدة من المجالات الرئيسية التي تجمع بين فراغ التكنولوجيا مع علم المواد .فراغ صمام نظام فراغ “تدفق وعزل السيطرة الأساسية" وتأثير مباشر على استقرار درجة فراغ ، نقاء الفيلم ، وكفاءة الإنتاج ، وخدمة الحياة من المعدات . من العملية برمتها من عملية الطلاء ، تطبيق المشهد ، اختيار نوع الطلب و تكوين نموذجي من فراغ صمام يتم تفكيكها بالتفصيل .

المتطلبات التقنية الأساسية من فراغ صمام في صناعة طلاء الفراغ

فراغ طلاء 高真空（10⁻³~10⁻⁵ Paوو超高真空（10⁻⁶~10⁻⁹ Paو البيئة ، و نقاء الغاز ، وتلوث الجسيمات ، درجة الحرارة التوافق متطلبات صارمة ، حتى صمام لتلبية :

1.ختم ممتازة الأداءمعدل التسرب≤10⁻ ² باس・م³/ثانية( الترا عالية فراغ المشهد المطلوب )≤10⁻¹⁵ Pa・م³/ثانيةتجنب الهواء وبخار الماء الغزو يؤدي إلى أكسدة الفيلم ، إدراج .

2.انخفاض الانكماش و نظافة عاليةالمواد : انخفاض ضغط البخار ( على سبيل المثال316 ليترالفولاذ المقاوم للصدأ المصقول وسبائك التيتانيوم ) ، والأختام مصنوعة من المطاط الفلور )فيتونمطاط مشبع بالفلور )كالريزأو الأختام المعدنية التي تقلل من انبعاث الغازات الذاتية )H₂OوCO₂إنتاج الجسيماتأقل مننجم/ متر مكعبحجم الجسيمات≥0.1μm) ;

3.دقة تنظيم تدفقبعض المشاهد تحتاج إلى التحكم في التدفق الخطي ( على سبيل المثال ، رد فعل تدفق الغاز ، فراغ التدرج التكيف ) ، معامل التوصيل الهيدروليكي )جيمنظام الضخ ( عادة )C = 100 ~ 1000 لتر / ثانية) ;

4.درجة الحرارة ومقاومة التآكلبيئة حرارية مناسبة لعملية الطلاء )≤400℃قسمألدعملية تصل إلى800℃يمكن أن يتسامح مع الاخرق الأيونات ، رد فعل الغازات ( على سبيل المثالCF₄وO₂وNH₃تآكل ;

5.موثوقية عالية وحياة طويلة: تلبية متطلبات التشغيل المستمر من خط الانتاج ، مفتاح الحياةأكثر من 10 ⁶الثانوية ( فراغ صمام عزل ) ، تنظيم الحياةأكثر من 10 ⁴الثانوية ( صمام التحكم في التدفق ) .

تطبيق المشهد واختيار كامل تدفق صمام فراغ طلاء

1. نظام فراغ ضخ غرفة عزل الرابط

( 1 )الدور الأساسيتحقيق التحول من الضغط الجوي إلى فراغ الغرفة المستهدفة ، والعزلة بين الغرفة و نظام الضخ .

( 2 )نوع صمام نموذجي :

لفراغ صمام بوابة: يستعمل لأنّ يكسى غرفة مع مضخة جزيئيّةوالعزلة الرئيسية بين مضخات الانتشار ، ويتميز تدفق كبير التوصيل )C≥500 لتر / ثانية) وختم موثوق بها ، النموذج الموصى به :فايفر دوو 65 م( فراغ عالية جدا نوع المعدن الختم ، معدل التسرب )≤10⁻ ³ باس・م³/ثانيةوCKD KV[ سري ] ( هوائيّة يقود , مناسبة لأنّ عزل سريعة ) ;

لصمام فراشة: مناسبة لضخ الخاموقبل ضخ الرابط ( من الضغط الجوي إلى10⁻³ Pa) ، والتعاقد من الهيكل وسرعة التبديل )أقل منزيوت التشحيم مجانا تصميم ( على سبيل المثالبوش DVMسلسلة ) ، وتجنب التلوث النفطي في الغرفة ؛

لفراغ عالية جدا يربك صمامتستخدمألدعالية الدقةPVDفراغ عالية جدا المشهد ، واستخدام السوائل المغناطيسية الختم أو المعدن الخوار الختم ، لضمان عدم تسرب ، تطبيق نموذجي : غرفة مضخة أيون ربط الأنابيب .

2. عملية مراقبة الغاز

( 1 )الدور الأساسيمراقبة دقيقة لغاز التفاعل )CVDالغاز الاخرق )PVDنسبة تدفق الغاز الناقل يؤثر بشكل مباشر على تكوين الفيلم سمك التوحيد .

( 2 )نوع صمام نموذجي :

لتحكم تدفق الكتلة )MFC) مطابقة صمامسMFCالمدمج في صمام الإبرة أو الكرة صمام ، تحتاج إلى دقة عالية تدفق القدرة التنظيمية ( التكرار )≤ ± 0.5٪ FS) ، ومقاومة التآكل قوية ، ومناسبة للغاز :آروN₂وO₂وCF₄وSiH4الخ ، العلامة التجارية الموصى بها :MKS 1179 أسلسلةهوريبا ستيك سيك-Z500سلسلة ;

لهوائي صمام الحجاب الحاجزرد فعل الغاز التبديل الرئيسية ، واستخدام مقاومة للتآكل الختم ( مثل سبائك Hastelloy مقعد ) ، لتجنب تآكل الغاز مما أدى إلى فشل الختم ، ومناسبة لCVDعملية تآكل الغاز حلقة ;

لزاوية صمام مقعد: مناسبة لأنّ سريعة على وإيقاف الغاز الاخرق ، زمن الاستجابة≤50msلضمان استقرار ضغط الغاز في عملية الطلاء .

3. ربط غرفة الطلاء ونظام نقل

( 1 )الدور الأساسي: تحقيق رقاقةوالشغل في تجويف نقل فراغ )حمولة قفلعزل و انتقال قناة التبديل بين طلاء تجويف ، لا تلوث الجسيمات المطلوبة .

( 2 )نوع صمام نموذجي :

لفراغ صمام عزلاعتماد هيكل الختم بالحركة ، لا تنتج جزيئات الاحتكاك ، النموذج الموصى به :SMC XLGسلسلة ( غرفة نظيفة )الفئة 1الصف ، ومناسبة لأشباه الموصلات طلاء المعداتنور كال AVسلسلة ( معدنية مختومة ، فراغ عالية جدا متوافقة ) ؛

لسريع صمام فراغ يربكتستخدمحمولة قفلغرفة الغلاف الجويوفراغ التبديل ، ضخ الوقتأقل من 30من الضغط الجوي إلى10⁻³ Paمع استشعار الضغط لتحقيق التحكم الآلي ، وتحسين كفاءة الإنتاج .

4. معالجة غاز الذيل و نظام المساعدة

( 1 )الدور الأساسيالسامة والضارة ذيل الغاز ( على سبيل المثالCl₂وHFالبخار المعدني ) بأمان تصديرها إلى معدات المعالجة ، وتجنب تسرب التلوث .

( 2 )نوع صمام نموذجي :

لمقاومة للتآكل صمام فراغالهيئة صمام مصنوعة من سبائك Hastelloy ، مونيل ، وختم أجزاء مصنوعة من المطاط perfluoroelastomer . . . . . . .سوجيلوك SS-6P4سلسلة ( صمام الإبرة ، تناسب الغاز المسببة للتآكل )السيرة الذاتية السريعةسلسلة ( الكرة صمام ، درجة الحرارة المقاومة )≤200℃) ;

لصمام الأمانوصمام تخفيف الضغط: الضغط الزائد حماية الدائرة ، وتحديد دقة الضغط 5%لتجنب الأضرار الناجمة عن التغيرات المفاجئة في الضغط ، فمن المستحسن استخدام هيكل الربيع ( على سبيل المثالفايفر PR 400. لا

صمام مختلفة التكوين في مختلف عمليات الطلاء

رابعا ، تطبيق الصناعة الاتجاه واختيار نوع الاقتراح

1.الترا عالية التجويف الاتجاه الحقيقيوألدعالية الدقةPVDالترا عالية فراغ صمام ( معدل التسرب )≤10⁻¹⁵ Pa・م³/ثانيةتطبيق نسبة الارتفاع ، يفضل استخدام المعدن ختم ( مثل النحاس ، النيكل وسادة وسادة ) بدلا من المطاط الختم .

2.ذكي التكاملالصمامات يجب أن تكون متكاملة مع موقف الاستشعار ، وحدة التغذية المرتدة الضغط ، ودعمشركة PLCربط السيطرة ، وتحقيق درجة فراغ-تدفق-حلقة مغلقة صمام التكيف مع خط الانتاج الآلي ؛

3.الطلب حسب الطلب: ارتفاع في درجة الحرارة طلاء ( على سبيل المثال >400℃صمام مقاومة درجات الحرارة العالية ( على سبيل المثال )إنكونيلصمام الجسم ، المعدن المموج الأنابيب الختم ) ، وتجنب الشيخوخة الختم ؛

4.مراقبة التكاليفطلاء المعدات المدنية يمكن أن تختار من ارتفاع سعر المطاط ختم صمام ( على سبيل المثال ، الفلور المطاط ) ، أشباه الموصلات طلاء المعدات يجب أن تعطي الأولوية لضمان نظافة ومقاومة التآكل ، واختيار المعدن أو ختم صمام ختم perfluororubber . . . . . . .

إذا كانت عملية الطلاء محددة ، مثل نموذجPVDالمعداتألدأو متوسطة ( على سبيل المثال ، بعض الغازات المسببة للتآكل ) يوصي صمام نموذج العلامة التجارية التكوين ، يمكن أن تكمل الطلب ، وسوف توفر أكثر دقة الحل التقني !

هانغتشو Yushi التكنولوجيا المحدودةالتركيز على توفير تدفق ، الضغط ، فراغ اختبار ومراقبة الخدمات التقنية ذات الصلة والحلول الصناعية والعلمية للعملاء .ALICAT、 فوغتلين ، سويسرا ، الولايات المتحدة الأمريكية ، أعضاء الكنيست ، إيبارا ، اليابان ، وغيرها من العلامات التجارية ، جنبا إلى جنب مع وكلاء المنتجات لتزويد العملاء مع تدفق عالية الجودة ومراقبة الضغط حلول تهدف إلى تحسين كفاءة البحث والتطوير والإنتاج ، وتحسين عملية تصنيع العملاء ، وتعزيز البحوث والابتكار العملاء التقدم .