الاحتياجات الأساسية من فراغ صمام في صناعة أشباه الموصلات

عملية تصنيع أشباه الموصلات超高真空（UHV) نظافة عالية ، لا تلوث الجسيماتصمام فراغ يستخدم نظام فراغ . “التبديل و منظم" و، لتلبية الاحتياجات الأساسية الثلاثة :سيكلوفوسفاميدختم جيدة الأداء ( معدل التسرب )≤10⁻ ² باس・م³/ثانيةتجنب الهواء وبخار الماء وغيرها من الشوائب الغازية .الثانيمتوافق مع المواد ( لا تلوث المعادن ، وانخفاض معدل النزيف ) ، مناسبة لأنّ رقاقة السيليكون ، مقاومة للضوء وغيرها من المواد الحساسة .ثالثاسرعة الاستجابة السريعة ( ميلي ثانية واحدة التبديل ) ، وحياة طويلة ( أكثر من مليون دورة ) ، مطابقة خط إنتاج أشباه الموصلات عالية الإنتاجية الطلب .

التطبيقات الرئيسية و أنواع الصمامات

1. رقاقة تصنيع التكنولوجيا الأساسية

( 1 )عملية الطباعة الحجريةفراغ الغرفة من photoetching آلة يجب الحفاظ عليها10⁻⁶~10⁻⁹ Paفراغ عالية جداالكهرومغناطيسية صمام زاوية القيادةأو .السوائل المغناطيسية ختم صمام بوابةفائدة نموذج يدرك فراغ العزلة بين الدائرة و photoetching مصدر الضوء و قناع الجدول ، وفي الوقت نفسه ، نماذج المنفعة يمكن أن تضمن أي الجسيمات تسقط عند فتح صمام .الفئة 1المستوى وبالإضافة إلى ذلك ، يجب أن يكون صمام تدفق دقيقة وظيفة التكيف ، مع فراغ نظام الضخ لتحقيق الاستقرار في غرفة الضغط ، وتجنب الطباعة الحجرية نمط التشويه .

( 2 )عملية الحفر الجافالبلازما النقش الدائرة يجب أن تسيطر عليها صمام فراغCF₄وO₂مدخل ومخرجهوائي صمام الحجاب الحاجزأو .صمام الكرة الكهربائيةهذا النوع من الصمامات يجب أن تكون مقاومة للتآكل البلازما ( باستخدام السيراميك أو سبائك Hastelloy ختم السطح ) ، والتبديل دون التلوث النفطي ، ومنع رد فعل الغاز والنفط وصمة عار على شكل شوائب تؤثر على دقة الحفر .

( 3 )ترسب الفيلم )PVD / CVDوالترسيب الفيزيائي للبخار )PVDغرفة الاخرق / ترسيب الأبخرة الكيميائية )CVDدائرة رد الفعلفراغ صمام إدراجأو .صمام فراشةغرفة العزل و فراغ ضخ التبديل تتحقق . الصمامات يجب أن يكون فراغ سريع التوافق ( تدفق معامل التوصيل )≥1000 لتر / ثانيةوفي الوقت نفسه ، ينبغي أن تكون المواد منخفضة النزيف ( على سبيل المثال316 ليترالفولاذ المقاوم للصدأ تلميع العلاج ) ، وتجنب الغازات المنبعثة من تلقاء نفسها تؤثر على نقاء الفيلم .

2. نظام نقل فراغ )VTSو

نقل رقائق أشباه الموصلات بين مختلف المعدات العملية يجب أن تمر من خلال نقل فراغ الغرفة )حمولة قفلتحقيق صمام فراغ هنا“عزل الغلاف الجوي فراغ" والدور الرئيسي :سيكلوفوسفاميداعتمادسريع صمام فراغ يربكتحقيقحمولة قفلفراغ الغرفة بسرعة ( من الضغط الجوي إلى10⁻³ Paمطلوب فقط30 ثانيةالثانيبين عملية نقل تجويف تجويففراغ صمام عزليجب أن يكون هناك تصميم من أجل تجنب تلوث سطح رقاقة .ثالثاجزء من خط الانتاجالمغنطيسى صمام ختممن خلال عدم الاتصال الختم ، والحد من ارتداء ، وإطالة عمر خدمة 200 أكثر من عشرة آلاف مرة .

3. معالجة غاز الذيل و نظام المساعدة

الغازات السامة والضارة الناتجة عن عمليات أشباه الموصلات ، مثلCl₂وHFيجب أن يكون الصمام فراغ في معدات معالجة الغاز الذيل ، مثل هذه الصمامات يجب أن يكونمقاومة للتآكل ختم هيكل( على سبيل المثال ، fluororubber الأختام ، مونيل سبيكة صمام الجسم ) ، لمنع تسرب غاز الذيل .

بين فراغ نظام الضخ ( الجزيئية مضخة ، مضخة نشر ) و غرفة العمليةأمام صماميجب أن يكون الضغط وظيفة الحماية ، وتجنب غرفة الضغط المفاجئ تلف جسم المضخة .

الاتجاه التقني فراغ صمام في صناعة أشباه الموصلات

1.نظافة عالية ومنخفضة التحبيبباستخدام الليزر لحام صمام الجسم ، لا تزييت ختم التكنولوجيا ، صمام التحكم في حجم الجسيمات الداخليةأقل مننجمو立方米（粒径≥0.1μm) ;

2.ذكي التحكم عن بعددمج أجهزة استشعار الضغط ، وأجهزة الاستشعار موقف لتحقيق في الوقت الحقيقي رصد حالة الصمام ، خطأ الإنذار المبكر ، مع خط الانتاج الآلي أشباه الموصلات إدارة ومراقبة الطلب ؛

3.التصغير والتكاملالتعبئة والتغليف المتقدمةميكرو LEDتطوير ضغط صمام فراغ ، والحد من احتلال الفضاء ؛

4.تناسب البيئة القاسيةوجه3 نانومتروبعد عملية متقدمة لتطوير مقاومة درجات الحرارة العالية )≥400℃انخفاض معدل التسرب )≤10⁻¹⁵ Pa・م³/ثانيةصمام فراغ عالية جدا ، ومناسبة للطبقة ترسب )ألد) وغيرها من التقنيات الدقيقة .

هانغتشو Yushi التكنولوجيا المحدودةالتركيز على توفير تدفق ، الضغط ، فراغ اختبار ومراقبة الخدمات التقنية ذات الصلة والحلول الصناعية والعلمية للعملاء .ALICAT、 فوغتلين ، سويسرا ، الولايات المتحدة الأمريكية ، أعضاء الكنيست ، إيبارا ، اليابان ، وغيرها من العلامات التجارية ، جنبا إلى جنب مع وكلاء المنتجات لتزويد العملاء مع تدفق عالية الجودة ومراقبة الضغط حلول تهدف إلى تحسين كفاءة البحث والتطوير والإنتاج ، وتحسين عملية تصنيع العملاء ، وتعزيز البحوث والابتكار العملاء التقدم .