في عملية تصنيع أشباه الموصلات ، نظام فراغ هي واحدة من التكنولوجيات الرئيسية مثل رقاقة النقش ، ترسب الفيلم ، زرع الأيونات ، وهلم جرا . “حجر الزاوية" . . .استقرار الضغط يؤثر بشكل مباشر على دقة linewidth ، فيلم التوحيد و العائد من رقاقة . نظام فراغ ، فراغ قياس“الضغط الاستشعار الأساسية" واختيار نوع الانحراف قد يؤدي إلى فقدان السيطرة على العملية ، التخلي عن المنتج أو حتى تلف المعدات .

فراغ بيئة صناعة أشباه الموصلات “واسعة تمتد الضغط ، وارتفاع متطلبات النظافة ، متوسطة التعقيد" ومن الصعب أن تناسب التقليدية فراغ متر . تركز هذه الورقةمجموعة الضغط ، الدقة ، ومكافحة التلوث ثلاثة مؤشرات رئيسية ، جنبا إلى جنب مع عملية أشباه الموصلات المشهد التفكيك واختيار المنطق ، لمساعدة المهندسين على تجنب سوء الاختيار ، وتحقيق دقة مطابقة .

مجموعة الضغط : مطابقة العملية برمتها ، رفض “عدم كفاية التغطية" وأو .“الإفراط في التكرار" و

فراغ متطلبات عملية أشباه الموصلات تمتد إلى حد كبير . “فراغ الخام" و( أ )10⁵~10² Pa) إلى عملية النقشس高真空" و( أ )10⁻¹~10⁻⁵ Pa) ثم إلى ترسب الفيلمس超高真空" و( أ )10⁻⁶~10⁻¹⁰ Paمتطلبات عملية مختلفة على الضغط الفاصل الزمني مختلفة تماما . جوهر اختيار“دقة عملية التغطية المطلوبة" وبدلا من السعي الأعمى“مجموعة كاملة" ومنتدى

1. مطابقة الضغط الفاصل حسب المشهد التكنولوجي

2. اختيار تجنب حفرة : تجنب“مجموعة خلع" و

سوء الفهم 1مع “مجموعة واسعة من فراغ" وتغطي العملية برمتها. . . ـعلى سبيل المثال ، باستخدام الترا عالية فراغ متر لرصد الخشنة فراغ الفاصل الزمني ، ليس فقط دقة القياس قد انخفض بشكل كبير± 50%وعلاوة على ذلك ، فإن سرعة الاستجابة يصبح بطيئا بسبب مجموعة التكرار ، مما يؤدي إلى عدم القدرة على التقاط تقلبات الضغط في الوقت المناسب .

سوء الفهم 2: فراغ واحد متر تغطي عملية متعددة المراحل . . . ـخطوط إنتاج أشباه الموصلات غالبا ما تحتاج إلى التبديل بين مختلف العمليات .“مركب فراغ متر" والسعة نوعسالتأين نوع تركيبة ) ، أو في مختلف مراحل عملية منفصلة مع مجموعة مناسبة من فراغ ، لضمان دقة رصد كامل عملية الضغط .

الدقة : أكثر من مجرد النظر “قيمة المعلمة" والتسامح مع الخطأ في العملية

متطلبات الضغط الدقة في عملية أشباه الموصلات “قسوة" وعلى سبيل المثال3 نانومترعملية النقش ، تقلبات الضغط أكثر من± 0.1 باسيمكن أن يؤدي إلى انحراف linewidth مباشرة تؤثر على أداء رقاقة . فراغ متر“دقة ." وليس أعلى ، أفضل ، المفتاح هو“مطابقة مع عملية التسامح" وفي نفس الوقت“تكرار" وو“الاستقرار على المدى الطويل" ومنتدى

1. تقييم دقة الأبعاد الأساسية

( 1 )الدقة المطلقةالانحراف بين قياس الضغط الحقيقي ( على سبيل المثال ± 0.5٪ FS) مناسبة للضغطارتفاع الطلب على العمليات ( مثل الضغط معايرة ترسب الفيلم )منتدى

( 2 )الدقة النسبيةالانحراف في قياس التغير في الضغط ( على سبيل المثال ± 0.1%فائدة نموذج مناسبة لأنّ العملية التي تحتاج إلى رصد تقلبات الضغط ( مثل الضغط الديناميكي السيطرة على النقش البلازما ) .

( 3 )الاستقرار على المدى الطويل: أجهزة أشباه الموصلات المطلوبة عادةسساعة تشغيل مستمر ، صفر الانجراف من فراغ متر يجب أن تسيطر عليها ضمن نطاق المسموح به من العملية .± 0.05٪ FSخلاف ذلك ، فإنه سوف يؤدي إلى الانجراف من المعلمات العملية ، وزيادة تواتر المعايرة ووقف التكاليف .

2. اختيار نوع وفقا لمتطلبات عملية الدقة

( 1 )متطلبات عالية الدقةألدزرع الأيونات (اختيارمطلقدقة .≤ ± 0.2٪ FSالانجراف على المدى الطويل≤ ± 0.03٪ FSفراغ متر ، ويفضل أن يكون ذلك مع وظيفة المعايرة التلقائية ، والحد من تكاليف الصيانة .

( 2 )متطلبات الدقة التقليدية ( مثل رقاقة النقل والتنظيف )اختيارمطلقدقة .≤ ± 1٪ FSالتركيز على الجنس نسبة السعر و سرعة الاستجابة .

3. عرضة للإهمال“العوامل التي تؤثر على دقة" و

( 1 )الاضطرابات البيئيةتذبذب درجة الحرارة والإشعاع الكهرومغناطيسي في ورشة عمل أشباه الموصلات يمكن أن تؤثر على دقة قياس الفراغ .إم سيالمنتجات المعتمدة ( مثل الامتثال )المعيار IEC 61326معيار

( 2 )طريقة التركيبتركيب الكلمات و طول خط فراغ قياس يمكن أن يؤدي إلى فقدان الضغط . “القياس عن بعد" وأو .“معايرة متعددة" وويقابل تركيب الدقة الانحراف .

مقاومة التلوث : أشباه الموصلات نظام فراغ “شريان الحياة" وتجنب“التلوث هو الخردة" و

في عملية أشباه الموصلات ، قد يكون هناك مقاومة للضوء المتبقية ، بخار معدنيCl₂وF₂هذه المواد يمكن أن تعلق على سطح أجهزة الاستشعار من فراغ متر ، مما يؤدي إلى الانجراف في القراءة ، وبطء الاستجابة وحتى تلف أجهزة الاستشعار .. . . ـمرة واحدة في نظام فراغ معدات أشباه الموصلات الملوثة ، تنظيف تكلفة عالية جدا ، قد يؤدي أيضا إلى التخلص من كامل رقاقة . ولذلك ، ومكافحة التلوث هو اختيار نوع من أشباه الموصلات فراغ متر .“مفتاح المؤشر المتنحية" ومنتدى

1. معايير التقييم الأساسية لمكافحة التلوث

( 1 )استشعار المواديفضل اختيار السيراميك ، الياقوت ، وغيرها من المواد المقاومة للتآكل ، وارتفاع درجة الحرارة الاستشعار ، وتجنب استخدام أجهزة الاستشعار المعدنية ( عرضة للتآكل الغاز ) .

( 2 )تصميم هيكلاختيار “مختومة تماما الاستشعار" ?انفصال قابل للغسل التحقيق" وفراغ قياس , يتيح تنظيف دوريّة ; تصميم مفتوح لتجنب اختيار أجهزة الاستشعار التي تتعرض إلى بيئة فراغ .

( 3 )التكثيف المقاومةبعض العمليات يمكن أن تنتج بخار الماء ( على سبيل المثال ، بعد تنظيف رقاقة التجفيف ) ، فراغ متر يجب أن يكون التكثيف وظيفة لمنع التكثيف من أجهزة الاستشعار يؤدي إلى دائرة كهربائية قصيرة أو قراءة التشويه .

2. اختيار نوع من الملوثات

3. القيمة المضافة لمكافحة التلوث : خفض تكاليف الصيانة

تكلفة اغلاق المعدات في أشباه الموصلات خط الانتاج عالية جدا ( فقدان أكثر من 50 ٪ في الساعة في بعض المصانع رقاقة ) 10 فراغ متر مع مقاومة قوية للتلوث يمكن أن يطيل كثيرا من فترة الصيانة. . . ـعلى سبيل المثال ، يمكن قياس الفراغ العادي3 تحتاج إلى تنظيف مرة واحدة في الشهر ، ومكافحة التلوث نموذج يمكن تمديدها إلى12 تحسين كفاءة الإنتاج بشكل غير مباشر .

رابعاً - موجز الخيارات :3 خطوة لتحقيق دقة مطابقة

1.تحديد حدود العمليةأولا تمشيط الهدف الداخلي “مجموعة الضغط ، ومتطلبات الدقة ، نوع من الملوثات" وشكل قائمة الاختيار ( على سبيل المثال ، البلازما النقش ، مجموعة الضغط ، الخ . )10⁻ ² ~ 10¹ باسدقة± 0.1%القراءة ، تحتاج إلى مقاومةCl₂التآكل

2.مطابقة المؤشرات الأساسيةالصحافة “مجموعة الضغط تغطي عمليةقالتسامح من دقة مطابقة الخطأقمكافحة التلوث ومكافحة التلوث" ويفضل اختيار نوع خاص من أشباه الموصلاتسيمي F40/F47المنتجات القياسية (

3.التحقق من الاحتياجات الإضافيةالتحقق من واجهة التوافق من فراغ متر ( على سبيل المثالCFشفةكفشفة ) ، إشارة الخرج4-20mAوRS485دعمشركة PLCتجنب صعوبة التثبيت بسبب عدم تطابق واجهة .

خاتمة

اختيار نوع من أشباه الموصلات فراغ قياس “دقة مطابقة متطلبات العملية و أداء المنتج" . . .مجموعة الضغط“يمكن استخدام" ودقة تحديد“استخدام دقيق" و، يحدد مقاومة التلوث“تستخدم لفترة طويلة" وفي3 نانومترفي الوقت الحاضر ، واختيار الخطأ من فراغ قياس يمكن تكبيرها من قبل العملية ، مما يؤثر بشكل مباشر على رقاقة العائد .

من المستحسن أن المهندسين التواصل مع الموردين قبل الاختيار ، جنبا إلى جنب مع المعلمات العملية الخاصة بهم ( على سبيل المثال ، الضغط الفاصل ، مكونات الملوثات ، ومتطلبات الدقة ) ، وإجراء اختبار عينة صغيرة إذا لزم الأمر ، لضمان “صدفة المعلمة" وأكثر قدرة“المشهد المناسب" وفقط عن طريق اختيار زوج من فراغ ، فراغ نظام أشباه الموصلات يمكن أن تعمل بثبات .“تصور الدفاع" ومنتدى

هانغتشو Yushi التكنولوجيا المحدودةالتركيز على توفير تدفق ، الضغط ، فراغ اختبار ومراقبة الخدمات التقنية ذات الصلة والحلول الصناعية والعلمية للعملاء .ALICAT、 فوغتلين ، سويسرا ، الولايات المتحدة الأمريكية ، أعضاء الكنيست ، إيبارا ، اليابان ، وغيرها من العلامات التجارية ، جنبا إلى جنب مع وكلاء المنتجات لتزويد العملاء مع تدفق عالية الجودة ومراقبة الضغط حلول تهدف إلى تحسين كفاءة البحث والتطوير والإنتاج ، وتحسين عملية تصنيع العملاء ، وتعزيز البحوث والابتكار العملاء التقدم .