كيفية اختيار صمام فراغ فراغ طلاء التكنولوجيا مطابقة

من نحن

هانغتشو Yushi التكنولوجيا المحدودة

البريد الإلكتروني
yuseetek@163.com
الهاتف
19857113161
العنوان
غرفة 206 ، بناء 13 ، مع جمعية الذهب ، no.221 Jiantang الطريق ، مقاطعة شانغ تشنغ ، وهانغتشو

التاريخ:2025-12-20اقرأ:0

فراغ طلاء ( على سبيل المثال ، المغنطرون الاخرق ، التبخرPECVDالاحتياجات الأساسية هيالحفاظ على فراغ عالية ، وانخفاض التلوث ، عملية مستقرة الإيقاعفراغ صمام ختم المواد ، القطر ، فتح وإغلاق السرعة يجب أن تكون عملية ربط ( فراغ ، والطلاء ، الشغل ) عمق المباراة ، هي التالية مباراة محددة المنطق :

ختم المواد : مناسبة لأنّ فراغ درجة متوسطة ، والقضاء على التلوث

ختم المواد مباشرة يحدد معدل تسرب صمام ، ومقاومة درجات الحرارة والملوثات الإصدار ، يجب أن تكون جنبا إلى جنب مع عملية طلاء فراغ مستوى ونوع وسائل الإعلام الاختيار :

1. مباراة ختم المواد حسب درجة فراغ

مستوى فراغ	ختم المواد الموصى بها	ميزة أساسية	مناسبة لعملية طلاء المشهد
فراغ منخفض )10⁻¹~10⁻³ Paو	مطاط النتريل )NBRالفلور المطاط )FKMو	منخفضة التكلفة ، ومرونة جيدة ، ومقاومة للتآكل الغاز العام	الشغل قبل تجهيز تجويف تجويف طلاء مساعدة ( أقل متطلبات النقاء فراغ )
فراغ متوسط عالي )10⁻⁴~10⁻⁷ Paو	سيليكون المطاط )VMQEPDM ( EPDM )EPDMو	انخفاض معدل الانكماش ، مع الحفاظ على فراغ معتدل	التبخر التقليدية طلاء ، طلاء المغنطرون الاخرق تجويف
超高真空（10⁻⁸~10⁻ ² باسو	الفلور المطاط )FKMمطاط مشبع بالفلور )FFKMختم المعدن ( النحاس )والألومنيوم (	انخفاض معدل التفريغ ، وارتفاع درجة الحرارة المقاومة ، لا تلوث المواد العضوية	أشباه الموصلات طلاء ، طلاء البصرية عالية الدقة ( مثل عدسة طلاء )

2. المتطلبات الخاصة لعملية متوسطة

سإذا كان الغاز المسببة للتآكل ( مثل الكلور ، فلوريد ) المستخدمة في عملية الطلاء : يفضلمطاط مشبع بالفلور )FFKMو أو .Hastelloy ختملتجنب الشيخوخة المطاط ختم الفشل و تسرب الغاز ؛

سإذا كان نظام فراغ خالية من النفط ( مثل أشباه الموصلات طلاء ) : لا تستخدم ختم النفط ، تحتاج إلى اختيار “شهادة خالية من الزيت" والأختام المطاطية أو المعدنيةMKSاستخدام مضخة فراغ الجافة ، وتجنب تلوث بخار النفط الطلاء ؛

سارتفاع في درجة الحرارة عملية الطلاء ( مثل ارتفاع في درجة الحرارة التبخر الطلاء ، درجة الحرارة )300℃) : اختيارمعدن ختم ( النحاس والألومنيوم طوقا طوقا ) أو ارتفاع في درجة الحرارة مقاومة المطاط الفلور ، ومنع المواد الختم من التحلل في درجة حرارة عالية من الملوثات .

3. التوافق مع نظام الكشف عن تسرب

معدل التسرب من مواد الختم يجب أن تتطابق مع دقة الكشف عن تسرب نظام فراغ .≤10⁻¹⁰ Pa・م³/ثانيةصمامMKSفراغ صمامFFKMختم عنصر ) ، شكل حلقة مغلقة مع الهليوم مطياف الكتلة للكشف عن تسرب لضمان استقرار فراغ طلاء الدائرة .

المسار : مطابقة متطلبات تدفق عملية الإيقاع ، والتوازن بين الكفاءة والحفاظ على فراغ

القطر الداخلي ( صمام القطر الداخلي ) يحدد سرعة تفريغ الغاز و القدرة على تمرير من الشغل .

1. الصيغة الأساسية اختيار المسار ( نسخة مبسطة )

مساردال( أ )ممو≈ √ (V × S÷t)، من بينها :

سالخامسحجم تجويف الطلاء )ل) ;

سSسرعة مضخة فراغ )ل / سمثلMKS إيدجسلسلة مطابقة مضخة فراغ ) ؛

ستوقت فراغ الهدف )س. لا

2. المسار مطابقة مختلف طلاء المشهد

طلاء المشهد	طلاء حجم الغرفة	أوصت مجموعة المسار	اختيار المنطق
مصغرة طلاء الدقة ( مثل رقاقة ، وأجهزة الاستشعار )	≤50 لتر	DN15 ~ DN40（1 / 2 ~ 1.5 'و	حجم صغير من تجويف يحتاج إلى ضخ فراغ بسرعة ، صغيرة قطرها صمام يمكن أن تقلل من تسرب فراغ نقطة ، وضمان درجة عالية من فراغ
متوسطة الحجم طلاء ( مثل الهاتف المحمول الزجاج ، عدسة بصرية )	50 ~ 200 لتر	DN40 ~ DN80（1-5-3 'و	التوازن بين سرعة الضخ و الحفاظ على فراغ ، تناسب حجم الشغل
على نطاق واسع طلاء ( مثل الزجاج الضوئية ، لوحة طلاء )	س200 لتر	DN80 ~ DN200（3 - 8و	قطر كبير يسرع سرعة الضخ ، ويلبي متطلبات كبيرة الحجم الشغلMKSتحكم تدفق كبير لتنظيم تدفق وسائل الاعلام
الشغل مدخل ومخرج صمام	-	مسارأكثرالشغل زوي حجم كبير+ 50 مم	تجنب الركود في الشغل ، والحد من تسرب فراغ أثناء التبديل

3. نقاط الاهتمام الرئيسية

سمن السهل أن يؤدي إلى زيادة خطر تسرب فراغ ، فراغ مضخة مع ارتفاع سرعة الضخ . صغيرة جدا من خلال القطر يمكن أن تطيل فترة فراغ ، والحد من وتيرة خط الانتاج .

سمتعدد القنوات نظام طلاء ( على سبيل المثال ، المغنطرون الاخرق متعددة الأهداف ) : اختيار المسار الرئيسي استخراجDN80 ~ DN125اختيار مسار فرع صغير )DN15 ~ DN40فراغ السيطرة على المنطقة .

ثالثا ، فتح وإغلاق السرعة : عملية مناسبة لتجنب تقلبات فراغ طلاء العيوب

فتح وإغلاق صمام السرعة ( من كامل إلى كامل فتح الوقت ) يحتاج إلى تعديل وفقا للاحتياجات الأساسية من العملية ، لتجنب سرعة عالية جداوبطء شديد يؤدي إلى تقلبات الفراغ أو مشاكل نوعية الطلاء :

1. سرعة مطابقة مختلف الروابط التكنولوجية

عملية ربط	الاحتياجات الأساسية	أوصت سرعة فتح وإغلاق	صمام نوع التوصية
مرحلة الضخقالتبديل فراغ عالية (	إنشاء فراغ بسرعة ، والحد من بقايا الهواء	فتح بسرعة )0.1 ~ 0.5 ثانيةو	فراغ صمام الملف اللولبيMKSصمام توقف الملف اللولبي (
عملية الطلاء ( عازل التبديل ، تبديل الهدف )	استقرار درجة فراغ ، وتجنب تأثير الضغط	فتح وإغلاق ببطء )1 ~ 3 ثانيةو	هوائي صمام فراغستنظيم تدفق صمام الجمعية
مرحلة دخول وخروج من الشغلوالضغط المركب (	تجنب تأثير تدفق الهواء تلف الشغلوطلاء طبقة	فتح ببطء )3 ~ 5 ثانيةو	يدويوالكهربائية صمام فراغ ، مع وظيفة التكيف خنق
التوقف في حالات الطوارئوحماية خطأ	قطع متوسطة بسرعة ، وضمان سلامة	فائق السرعة إيقاف )≤0.1 ثانيةو	الملف اللولبي فراغ يربك صمام ، مع وظيفة إعادة تعيين الربيع

2. التعاون بين السرعة وختم المواد

سبسرعة فتح وإغلاق صمام : يفضل ارتداء مقاومة ، مقاومة تأثير مواد الختم ( مثل fluororubber ، ختم المعدن ) ، لتجنب كثرة التبديل يؤدي إلى تآكل الختم ، تمديد خدمة الحياة ؛

سبطء فتح وإغلاق صمام : يمكن اختيار أفضل مرونة المطاط سيليكون الختم ، صمام مغلقة للحد من تأثير القوة ، وتحسين موثوقية الختم .

3. مباراة مع خط الانتاج يدق

سخط الإنتاج الضخم ( مثل طلاء الزجاج للهاتف المحمول ) : حدد بسرعة فتح وإغلاق صمام )0.1 ~ 0.3 ثانيةارتصافMKSسرعة بدء وإيقاف وظيفة الترددات اللاسلكية امدادات الطاقة ، وتقصير وقت تجهيز دفعة واحدة .

سعالية الدقة طلاء مخصص ( مثل العدسات البصرية ) : بطء فتح وإغلاق صمام )2 ~ 3 ثانيةتجنب العيوب مثل تفاوت سمك الطلاء ، فرق اللون ، وهلم جرا .

أربعة ، واختيار مطابقة شاملة الحالات

أخذ "100 لترالمغنطرون الاخرق طلاء تجويف ( فراغ عالية )10⁻⁷ Pa، الإنتاج الضخم من الزجاج الهاتف المحمول (" وعلى سبيل المثال :

1. ختم المواد : اختيارFFKMperfluororubber ( انخفاض معدل التفريغ ، ومقاومة التآكل البلازما ) ، مع فراغ عالية جدا .

2. حجم تجويف طلاء100 لترسرعة مضخة فراغ50 لتر / ثانيةالهدف وقت فراغ60 ثانيةحساب المسار≈√ (100 × 50 ÷ 60) ≈9 ممالاختيار الفعليDN40（1-5 `المسار ، محفوظة التكرار ؛

3. فتح وإغلاق السرعة : فراغ المرحلة0.2 ثانيةسريع فتح صمام الملف اللولبي ، طلاء وسائل الإعلام التبديل1.5 ثانيةبطء فتح صمام هوائي ، الشغل3 ثانيةبطء فتح صمام الكهربائية ، وتحقيق التوازن بين الكفاءة والاستقرار .

هانغتشو Yushi التكنولوجيا المحدودةالتركيز على توفير تدفق ، الضغط ، فراغ اختبار ومراقبة الخدمات التقنية ذات الصلة والحلول الصناعية والعلمية للعملاء .ALICAT、 فوغتلين ، سويسرا ، الولايات المتحدة الأمريكية ، أعضاء الكنيست ، إيبارا ، اليابان ، وغيرها من العلامات التجارية ، جنبا إلى جنب مع وكلاء المنتجات لتزويد العملاء مع تدفق عالية الجودة ومراقبة الضغط حلول تهدف إلى تحسين كفاءة البحث والتطوير والإنتاج ، وتحسين عملية تصنيع العملاء ، وتعزيز البحوث والابتكار العملاء التقدم .

المقالة الأخيرة:دليل تركيب فراغ قياس حفرة

المقالة التالية:تركيب مواصفات vogtlin مقياس الجريان الشامل