الحفاظ على منصة مقاومة للزلازل من مجهر القوة الذرية ( فؤاد ) هو المفتاح لضمان ارتفاع القرار التصوير والبيانات الاستقرار . التالية من السيطرة على البيئة ، والحماية المادية ، والصيانة الدورية والإدارة المهنية من أربعة أبعاد منهجية وضع الصيانة :

بناء وصيانة نظام مراقبة البيئة

- دقة التحكم في درجة الحرارة والرطوبة : صدمة منصة يجب أن توضع في درجة حرارة ثابتة والرطوبة البيئة ، أوصت مجموعة درجة الحرارة 18-25 ℃ ، الرطوبة النسبية في 30 ٪ - 60 ٪ . ويقترح أن نظام تكييف الهواء المستقلة ينبغي أن تكون مجهزة في الوقت الحقيقي رصد درجة الحرارة والرطوبة تقلب . في المناطق ذات الرطوبة العالية ، سيليكون مزيل الرطوبة مربع يمكن ترتيبها حول منصة ، والتي يمكن استبدالها مرة واحدة في الشهر للحفاظ على انخفاض نقطة الندى البيئة .

- عزل الاهتزازات والضوضاء : يمكن منع الاهتزازات ذات التردد المنخفض ( أقل من 10 هرتز ) بشكل فعال عن طريق وضع المنصة على منصة عائمة أو قاعدة من الجرانيت باستخدام تصميم عزل الاهتزازات ذات الطابقين . وفي الوقت نفسه ، يجب أن تكون بعيدة عن مختبر كبير من المعدات الميكانيكية و الطرق الرئيسية للنقل ، إذا لزم الأمر ، إضافة نشط امتصاص الصدمات .

- إدارة النظافة : استخدام قماش خالية من الغبار كل أسبوع تراجع في الإيثانول المطلق لمسح سطح منصة ، وإزالة التلوث الجسيمات . الغبار العمليات بالقرب من منصة محظورة . الهواء الجسيمات المضادة يجب معايرة كل ثلاثة أشهر لضمان مستوى ايزو الصف 5 نظيفة .

الحماية المادية و مواصفات التشغيل

- مراقبة الموازنة : يجب أن تكون نوعية العينة موزعة بالتساوي في المنطقة الوسطى من المنصة وألا تتجاوز حمولة نقطة واحدة الحد الأعلى للتصميم . عند استبدال العينة ، واستخدام أداة خاصة للتعامل مع برفق ، وتجنب تأثير الحمل يسبب صدى .

- تعزيز التدريع الكهرومغناطيسي : إجراء نوع منصة مقاومة للصدمات يتطلب نقطة واحدة على الأرض ، الأرض المقاومة أقل من أو يساوي 4 Ω . كابل الطاقة في سلسلة من نوع ط ش فلتر ، قمع الضوضاء عالية التردد اقتران .

- معالجة حالات الطوارئ في حالة غير طبيعية : إذا كان هناك اضطراب تموج الدورية في الصورة ، والتحقق من مستوى منصة على الفور . الانحراف من فقاعة مستوى أقل من 0.01 درجة عن طريق تعديل قابل للتعديل أسفل الساق ، وتقصير مدة الإقامة بكسل أقل من 5 ميكروثانية .

عمق نظام الصيانة الدورية

- إصلاح الأجزاء الميكانيكية : التحقق من ختم المثبط كل نصف سنة ، والعثور على تسرب النفط واستبدالها على الفور . عند الصيانة السنوية ، منصة الغلاف يجب تفكيكها ، والغبار المتراكم من الخيوط زوج يمكن تنظيفها مع قضيب من السيراميك ، وربط قطعة يمكن تثبيتها مع عزم الدوران وجع حسب عزم الدوران المحدد .

- معايرة أجهزة الاستشعار : أجهزة الاستشعار التشريد الليزر معايرة من قبل الشركة المصنعة في كل عام لضمان دقة ض التشرد ± 0.1nm . كهرضغطية السيراميك المحرك يحتاج إلى تعويض التباطؤ ، غير الخطية خطأ التحكم في 0.05 في المائة .

- المعيار الحاسم للفشل : يبدأ إجراء الصيانة الوقائية عندما تنخفض نسبة الإشارة إلى الضوضاء إلى أقل من 20 ديسيبل أو عندما تتجاوز ذروة التحول 5 في المائة . عندما يتعلق الأمر إلى معدل التسرب من فراغ الغرفة > 1 × 10 ⁻ با · م 3 / ث ، فإنه يحتاج إلى العودة إلى المصنع .

استراتيجية إدارة دورة الحياة

- بناء المحفوظات الرقمية : إنشاء نظام ثلاثي الأبعاد للترميز ( مادة / نصف قطر انحناء / نوع التطبيق ) يمنح رمز هوية لكل دفعة من المنصات ، ويسجل تاريخ التركيب ، وتاريخ الصيانة ، ومنحنى تخفيف الأداء .

- العمل الجماعي المهني : استبدال المكونات الرئيسية يجب أن يقوم بها مهندس المصنع الأصلي ، لا تفكيك المكونات الأساسية . واقترح أن يتم التوقيع على اتفاق الصيانة السنوية ، وتتمتع خدمات الاستجابة ذات الأولوية .

الحفاظ على منصة مجهر القوة الذرية ( فؤاد ) هو نظام متعدد التخصصات الهندسية التي تحتاج إلى دمج المعرفة في مجال الميكانيكا الدقيقة ، الهندسة البصرية ، وعلوم المواد ، وهلم جرا . فقط من خلال بناء نظام إدارة كاملة بما في ذلك تصميم في وقت مبكر ، في منتصف فترة التشغيل والصيانة في وقت لاحق من التقييم ، يمكن تمديد خدمة الحياة من المعدات إلى أقصى حد ، وضمان موثوقية البيانات من مقياس النانو المراقبة .