وفيما يلي النقاط الرئيسية والخطوات الرئيسية في تجميع نانو المسح مجهر التحقيق :

بناء الإطار الأساسي

1 . تركيب نظام عزل الاهتزاز : استخدام الهواء الربيع الجدول أو الإسفنج المطاط وسادة قاعدة ، معايرة مع مستوى الخطأ ≤ 0.1 درجة ، لضمان أن الضوضاء المحيطة أقل من 1 ميكرون . إذا نشط نظام عزل الاهتزاز هو المقدمة ، ربط هوائي / هيدروليكي خط وفقا للتعليمات .

2 - تركيب الدرع : الدرع المعدني تضاف على عزل الاهتزاز منصة ، درع الجسم معزول عن القاعدة و تنفيس الهواء محفوظة لمنع الانجراف درجة الحرارة ؛ بعض النماذج تحتاج إلى تثبيت أحدث العزلة الاهتزاز المكونات بشكل متزامن .

عينة الجدول ونظام تحديد المواقع

1 . تركيب الميكانيكية : عينة الجدول يعتمد على ثلاثة أبعاد نانو لتحديد المواقع الجدول ، عندما تحتاج إلى ضمان تركيب محور الحركة و التحقيق مسح الاتجاه بدقة متعامدة . اختبار التسطيح من مسح الجدول مع تداخل الليزر أو المجهر الضوئي .

2 . عينة التثبيت : من خلال الوجهين لاصق ، فراغ الامتزاز أو المغناطيسي قاعدة تثبيت العينة ، لضمان أن السطح و مسح الجدول الموازي . موصل عينة يجب أن يكون الاتصال الكهربائية مع احباط النحاس أو الفضة الغراء لتجنب تراكم الشحنة الكهربائية .

يدقق في نظام ناتئ

1 . يدقق في إطار الجمعية : التحقيق في إطار قابل للتعديل زاوية الملعب قاعدة ناتئ تحامل الأخدود جنبا إلى جنب مع استخدام فراغ الامتزاز أو كهرباء تحامل على إصلاح التحقيق لمنع التشوه الميكانيكي . محور طويل من تعديل ناتئ بالتوازي مع المحور السيني من عينة الجدول .

2 . تباعد الإعداد : أولا ، الفجوة بين ناتئ و عينة يتم تعديلها إلى 10-50 μ م مع المجهر الضوئي ، ثم التبديل إلى وضع التداخل ، انحراف ناتئ هو رصدها باستخدام الليزر يعكس إشارة ، الفجوة هو تقلص إلى subnanometer تدريجيا .

اختبار البصرية نظام التصحيح

1 . محاذاة الليزر : ليزر اشباه الموصلات إلى جانب الطيف من خلال الألياف ، شعاع الليزر شعاع عمودي على السطح الخلفي من ناتئ ، قطرها حوالي 50 ميكرون . أربعة رباعي photodetector يجب أن تكون متحدة المحور مع الضوء المنعكس من ناتئ ، عدسة البعد البؤري يمكن تعديلها لجعل بقعة ضوء التركيز على مركز الكاشف .

2 . حساسية الأمثل : تعديل طلاء الذهب في منطقة انعكاس ناتئ لتحسين الانعكاس ( > 70 ٪ ) ، وضبط كسب كاشف لضمان التشرد الصغيرة ناتئ ( < 1 نانومتر ) يمكن أن تولد الجهد إشارة .

نظام التحكم الإلكتروني

1 . إشارة اتصال : QPD إشارة الخرج متصلا مكبر للصوت الضوضاء المنخفضة الحالية ( كسب 10-10-v / أ ) ، تصفية قطع التردد 10 كيلو هرتز للحد من الضوضاء عالية التردد ؛ z-axis كهرضغطية السيراميك إشارة القيادة يتم إنشاؤها بواسطة PID تحكم ، وردود الفعل من عرض النطاق الترددي يجب تعديلها حسب تردد الرنين ( 10-500 كيلو هرتز ) .

2 - الحصول على البيانات : بطاقة الحصول على البيانات ( ≥ 16 بت القرار ) يجب أن تكون متزامنة مع مسح إشارة الزناد ، معدل أخذ العينات على الأقل 5 مرات تردد الرنين . معايرة نقطة الصفر الانجراف ، مجموعة مسح المنطقة ( على سبيل المثال ، 50 × 50 μ m ² ) و الوقت يسكن بكسل ( 1-100 السيدة / بكسل ) .

معايرة والتحقق

بعد الانتهاء من الجمعية ، يجب إجراء اختبار الضوضاء ، والتحقق من وضع التصوير ( الاتصال / التنصت على الوضع ) و غير الخطية تصحيح ( مثل الجرافين القياسية ) لضمان أداء الجهاز .

وباختصار ، نانو مجهر مسح بالإلكترون ( SPM ) العامة تحتاج إلى مزيج من الدقة الميكانيكية التكيف ، المحاذاة البصرية ، والتحكم الإلكتروني ، وحماية البيئة ، وغيرها من التكنولوجيات ، كل خطوة يجب أن تتبع بدقة المعايير لضمان دقة عالية الأداء من الصك .