وفيما يلي وصف لطريقة معايرة درجة حرارة منخفضة المسح المجهري التحقيق :

معايرة البيئة والبنية التحتية

1 - التحقق من استقرار درجة الحرارة : المعدات اللازمة للعمل في بيئة درجة حرارة منخفضة ، أولا وقبل كل شيء ، لضمان دقة نظام التبريد التحكم في درجة الحرارة . وضع معيار استشعار درجة الحرارة بالقرب من الجدول عينة لرصد التقلبات في درجة الحرارة المحددة . في ظل ظروف مثالية ، وتقلب درجة الحرارة يجب أن تسيطر عليها في الحد الأدنى من المدى في عملية طويلة ، إذا كان تذبذب كبير جدا ، فإنه يحتاج إلى ضبط المعلمات من الثلاجة أو التحقق من ما إذا كان العزل الحراري معطوب .

2 . الاهتزاز العزلة التحقق : الاهتزاز الصغيرة سوف تتداخل مع دقة المسح الضوئي التحقيق . بعد أن يتم تشغيل منصة الاهتزاز ، الاهتزاز السعة من منصة يمكن الكشف عنها من قبل الأجهزة الحساسة مثل تداخل الليزر ، وما إلى ذلك الاهتزاز يمكن أن تنخفض إلى مستوى منخفض من خلال ضبط المعلمات من جهاز التخميد ، وبالتالي ضمان عملية المسح الضوئي على نحو سلس .

معايرة الأداء الرئيسية

1 . علم التشكل المورفولوجيا المعايرة : اختيار عينة القياسية المعروفة الدوري النانو ، مثل مقضب الحيود قالب . الحصول على الصور في مختلف نطاقات المسح الضوئي ، مقارنة مع قياس حجم القيمة الاسمية الفعلية المميزة ، وذلك لتصحيح دقة التحقيق التشرد يقودها piezoceramic أنبوب ، والقضاء على تشويه الناجمة عن الخطية خطأ .

2 . منحنى القوة المعايرة : استخدام مايكرو ناتئ مع معامل مرونة معروفة الميكانيكا المرجعية . المسافة بين التحقيق و العينة تتغير تدريجيا ، منحنى السعة ومرحلة شعاع ناتئ مع المسافة المسجلة ، القوة الحقيقية بعد العلاقة هو تركيبها ، ودينامية قياس الانحراف الناجم عن التغيرات في درجة الحرارة معامل مرونة شعاع ناتئ هو تصحيح .

3 - معايرة الحالية ( موصل عينة ) : ربط الدقة الحالية المصدر مع المضخم ، تطبيق سلسلة من التيارات المعروفة في التحقيق تلميح ، تسجيل ردود الفعل إشارة قوة متزامن ، رسم المنحنى القياسي ، من السهل أن تحدد بدقة بعد النفق الحالي وغيرها من المعالم الكهربائية .

معايرة نظام المساعدة البصرية

إذا كان موقع بمساعدة المجهر الضوئي ، معايرة العدسة الشيئية المطلوبة . عبر خط مواز الهدف مع دقة معايرة ثابتة على محطة متنقلة ، عدسة الهدف مع مختلف التكبير هو تحول إلى مراقبة النظام البصري هو تعديل حتى مركز المجال البصري هو تتزامن مع تنسيق الأصل ، وحجم خط لا تشوه ، وبالتالي ضمان أن منطقة المراقبة بالعين المجردة يمكن أن تتطابق مع عمل مسح التحقيق بدقة .

فحص دوري شامل

وبالإضافة إلى المعايرة الخاصة المذكورة أعلاه ، ينبغي إجراء تقييم الأداء العام بانتظام . واحد رقاقة السيليكون يستخدم عينة اختبار شامل لأداء عدة جولات من المسح الضوئي ، والتي تغطي مجموعة واسعة من المسح الضوئي إلى منطقة صغيرة غرامة التصوير ، والتحقق من التكرار والاتساق . وفي الوقت نفسه ، عبر مقارنة نتائج القياس من تحقيقات مختلفة في نفس المنطقة ، والتحقيق في الفروق الفردية .

انخفاض درجة الحرارة مجهر مسح بالإلكترون ( SPM ) المعايرة يجب أن تأخذ في الاعتبار الاستقرار البيئي ، التحقيق في الأداء الأساسية ، والتعاون من نظام المساعدة ، من خلال عملية المعايرة المهنية متعددة الأبعاد الدورية ، من أجل ضمان أن هذه الأداة الدقيقة يمكن أن توفر بيانات موثوق بها في ظل ظروف عمل معقدة .