في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، دقة الطلاء على سطح رقاقة السيليكون هو خطوة رئيسية في عملية الطباعة الحجرية والحفر . على الرغم من أن التقليدية تدور الطلاء المستخدمة على نطاق واسع ، هناك خطورة النفايات المادية ( نسبة استخدام أقل من 40 في المائة ) ، من السهل كسر رقاقة السيليكون ، وعدم المساواة في تغطية هيكل ثلاثي الأبعاد من الألم . بالموجات فوق الصوتية رقاقة السيليكون الرش التكنولوجيا ظهرت في اللحظة التاريخية ، بسبب عدم الاتصال ، عالية موحدة ، وانخفاض خسارة مميزة ، أصبحت تدريجيا عملية طلاء البرنامج .

واحدكسر تقنية الرش بالموجات فوق الصوتية

1 . عدم الاتصال طلاء

تجنب خطر سحق رقاقة السيليكون مع الاسفنج الأسطوانة في المتداول عملية الطلاء ، والحد بشكل كبير من نسبة الحطام .

2 . عالية التوحيد والدقة

طلاء سمك مجموعة واسعة ( 20 نانومتر - 100 ميكرون ) ، التوحيد > 95 ٪ ، خطوة تغطية ممتازة ، ومناسبة ل TSV ( سيليكون من خلال ثقب ) وغيرها من الهياكل ثلاثية الأبعاد .

3 - توفير المواد والتكاليف

معدل التحويل من الحل تصل إلى 95 ٪ ( التقليدية اثنين من السائل الرش فقط 20-40 ٪ ) ، مما يقلل من تكلفة المواد مثل مقاومة للضوء .

4 - حماية البيئة والتكيف

لا تلوث المذيبات المتطايرة ، ودعم المياه القائمة على الحل . فائدة نموذج يمكن رش المواد الفنية المختلفة مثل مقاومة للضوء ، المضادة للانعكاس طبقة ، طبقة عازلة ، الخ .

تطبيقات أخرى في مجال أشباه الموصلات

1 . تصنيع رقاقة عملية الطباعة الحجرية

TSV سيليكون من خلال ثقب : رذاذ بالموجات فوق الصوتية يمكن أن تغطي بدقة من خلال ثقب الجدار الداخلي مع عمق نسبة العرض 10 : 1 ، مقاومة للضوء ثقب أسفل نسبة التغطية أكثر من 92 في المائة .

2 . مقاومة للضوء ترسب موحدة على مستوى النانومتر

مقاومة للضوء هو كسر في 1-50 ميكرون قطرات من الانحلال بالموجات فوق الصوتية ، طلاء التوحيد هو أكثر من 95 في المائة ، وبالتالي تجنب ظاهرة سماكة حافة القهوة الدائري .

3 . fanout حزمة

المواد العازلة ( مثل BCB الغراء ) يتم رش على سطح رقاقة إعادة التركيب ، والتي يمكن أن تملأ الفجوة ميكرون خط وتحسين العزل والقوة الميكانيكية RDL ( إعادة توزيع طبقة ) .

4 . كربيد السيليكون رقاقة

من أجل تحسين دقة الطباعة الحجرية كذا جهاز السلطة وحل مشكلة انعكاس الضوء تدخل من ارتفاع مؤشر الانكسار المواد ، طلاء مضاد للانعكاس ( قوس ) رش بالتساوي .

5 . الاستشعار الكهربائي طلاء

الفضة النانوية + ثاني أكسيد التيتانيوم الألياف النانوية مركب طبقة المودعة ، حساسية الكشف بنسبة 40 ٪ ، والحد من الكشف عن انخفاض 1 م .

ثالثاخاتمة : القيمة الصناعية من الإحلال إلى التعمير

بالموجات فوق الصوتية رشجهازكسر عنق الزجاجة من خلال عملية الابتكار المادي ، وخفض تكلفة تصنيع أشباه الموصلات رقاقة 97 ٪ ، وفقدان المواد إلى أقل من 5 ٪ . جنبا إلى جنب مع اختراق التوافق متعدد المواد ، هذه التكنولوجيا هو الانتقال من رقاقة السيليكون على نطاق أوسع في ساحة المعركة - الخلايا الضوئية ، والأجهزة الطبية ، والالكترونيات مرنة . . . مع " أرق وأكثر اقتصادا وأقوى " علامة على دقة التصنيع الثورة قد وصلت .