قوانغتشو shanzhun التكنولوجيا المحدودةvp-r سلسلةمقارنة مع المعايير الدولية مصنعين ، تكملة التكنولوجيا المحلية قصيرة لوحة ( درجة حرارة منخفضة فراغ الكوارتز تجويف البلازما تنظيف الجهاز ) ، vp-r سلسلة تردد 13.56mhz ، يمكن أن تلعب دورا في تنظيف المواد ، النقش ، التنشيط ، تعديل ، كامل السلطة تشغيل 30 دقيقة ، درجة حرارة الغرفة ليست أعلى من 32 درجة مئوية ، لا ضرر من العينة ، تنطبق على رقائق ميكروفلويديكPDMS الترابط ، ايتو الزجاج موصل ، الجرافيت ، والألياف ، رقاقة السيليكون أحادية ، PET、 السيليكا وغيرها من المواد تقريبا جميع تعامل مع بلاسما .