إن mpu-90i هو نوع جديد من المنتجات التي تتكون من التوربينات مضخة الجزيئية + مضخة فراغ قياس المرحلة السابقة ، والتي يمكن استخدامها في المسح المجهر الالكتروني النافذ ( SEM / تيم ) ، مطياف الكتلة ، وانخفاض درجة الحرارة فراغ التحقيق الجدول ، فراغ المغطي ، للطبقة الذرية / ليزر ترسب المعدات ( المدة / الملعوبة ) ، فرن التليين فراغ ، الهليوم مطياف الكتلة للكشف عن تسرب ، فراغ عالية جدا مختومة أنبوب الكوارتز وغيرها من المجالات .

1 . فراغ عالية جدا : الحد من درجة فراغ يمكن أن تصل إلى 10^-6Pa， فراغ شاشة تعمل باللمس العرض الرقمي

2 . عملية بسيطة : توفير الصينية والانجليزية واجهة التشغيل ، شاشة تعمل باللمس مفتاح واحد لبدء مضخة الجزيئية و المرحلة السابقة مضخة

3 - برنامج التحكم الذكي : استخدام " ايل برنامج التحكم الذكي " لمنع misoperation تلف المضخة الجزيئية ، ومراقبة البرامج ، عملية بسيطة وآمنة وموثوق بها

4 - الغرض المزدوج : المرحلة السابقة مضخة يمكن استخدامها بشكل مستقل لتلبية الخام فراغ استخدام المشهد ؛ ويمكن أيضا أن تكون مرتبطة مع المرحلة السابقة مضخة مضخة الجزيئية للحصول على بيئة فراغ عالية جدا . . . . . . .

5 . بسيطة التركيب : مضخة الجزيئية وحدة قبل مغادرة المصنع قد أكملت مضخة الجزيئية ، قبل تركيب الشاشة التي تعمل باللمس ، والانتهاء من اختبار الهواء ضيق

6 . كامل نطاق قياس الفراغ : فراغ قياس مدى 1x10⁵-1x10^-6Pa, تركيب عمودي لضمان دقة القياس