إعداد قبل العملية

عينة المعالجة : ضمان عينة جافة وخالية من المواد المتطايرة ( تجنب تلوث عدسة برميل ) ، موصل عينة يمكن استخدامها مباشرة . حجم العينة يجب أن تكون مطابقة مع عينة الجدول لتجنب خارج نطاق التحميل .

أداة التفتيش : مراقبةميدان الانبعاثات المجهر الإلكترونيإمدادات الطاقة ، نظام فراغ طبيعي ، لا بقايا عينة أو أشتات في عدسة برميل ، نظام التبريد ( مثل النيتروجين السائل ) مستوى السائل لتلبية الاحتياجات .

مواصفات السلامة : ارتداء القفازات الواقية ( تجنب البصمات تلوث العينات / الصكوك ) ، ممنوع منعا باتا في فراغ لا تصل إلى مستوى فتح بندقية الإلكترون ، بعيدا عن فوهة ( منع الإشعاع ) .

العمليات الأساسية

1 . عينة تحميل

فتح باب غرفة العينة ، إصلاح العينة المعالجة على عينة الجدول ( تأكد من تثبيت بحزم وتجنب الحركة ) ؛

إغلاق باب غرفة العينة ، بدء تشغيل نظام فراغ ، في انتظار درجة فراغ لتلبية متطلبات الصك ( عادة ما تظهر " فراغ جاهز " مؤشر الضوء ) .

2 . إطلاق بندقية الإلكترون مع إعداد المعلمة

بعد فراغ تصل إلى مستوى ، فتح بندقية الإلكترون ، واختيار تسريع الجهد ( حسب نوع العينة ، عادة 1-30kv ، موصل عينة يمكن أن تكون عالية الجهد ، وانخفاض الجهد غير موصل عينة ) ؛

تعيين الانبعاثات الحالية ( اتبع النطاق الموصى به لتجنب الإفراط في تلف العينة أو الصك ) .

3 . مراقبة وتحديد العينات

ضبط محور XYZ عينة الجدول والعثور على المنطقة المستهدفة من خلال المجهر الضوئي أو انخفاض قوة الإلكترون صورة .

التبديل إلى مناسبة التكبير ( من انخفاض إلى ارتفاع التكيف التدريجي ، وانخفاض لتحديد المواقع ، وارتفاع التفاصيل ) .

4 . ضبط الصورة وجمع

ضبط السطوع والتباين لجعل الصورة واضحة ( تجنب الإفراط في السطوع أو الظلام ) ؛

اختيار صورة القرار ( حسب الطلب ، وارتفاع القرار تحليل التفاصيل ، وانخفاض القرار معاينة سريعة ) ؛

انقر على " جمع " زر حفظ الصورة ( يمكنك اختيار جي بي جي ، المشاجرة ، وغيرها من الأشكال ) .

5 - عملية الاغلاق

أولا ، إيقاف تشغيل بندقية الإلكترون ، والحد من تسارع الجهد إلى 0 .

في انتظار نظام فراغ لتخفيف الضغط ( لا يمكن فتح الباب بالقوة ) ، بعد الانتهاء من تخفيف الضغط ، وأخذ العينات .

إيقاف تشغيل جهاز السلطة ، ونظام التبريد ، وتنظيف عينة الجدول منطقة التشغيل .

ثالثاً - الاعتبارات الرئيسية

عندما لا تصل إلى مستوى فراغ ، بندقية الإلكترون أو فتح باب غرفة العينة ممنوع منعا باتا .

يجب أن تكون العينة جافة وغير قابلة للتآكل ، وتجنب التلوث داخل نظام فراغ أو عدسة برميل .

عند ضبط التكبير و عينة الجدول ، ينبغي أن يكون العمل بطيئا لمنع عينة من الاصطدام مع عدسة برميل .

رووميدان الانبعاثات المجهر الإلكترونيإذا كان لديك أي معلومات أخرى عن هذا الموضوع الرجاء إضافته مجانا .