مع مبدأ الحرارية MFM ، على سبيل المثال ، العنصر الأساسي هو تدفئة سلك استشعار درجة الحرارة . عندما تدفق الغاز من خلال تسخين الأسلاك ، جزء من الحرارة يمكن أن تؤخذ بعيدا ، مما أدى إلى انخفاض درجة حرارة التدفئة الأسلاك . وحسب قانون نقل الحرارة ، الحرارة التي يحملها الغاز يتناسب طرديا مع معدل التدفق الجماهيري . جهاز استشعار درجة الحرارة في الوقت الحقيقي رصد التغيرات في درجة الحرارة من الأسلاك التدفئة ونقل الإشارات إلى المدمج في الدائرة . من خلال حساب معدل التغير في درجة الحرارة ، جنبا إلى جنب مع السعة الحرارية النوعية ( CP ) من الغاز الضغط المستمر ، الدائرة مباشرة يحصل على معدل تدفق الغاز الشامل ، لا تحتاج إلى مزيد من قياس درجة الحرارة أو الضغط من المعلمات . على سبيل المثال ، في تصنيع أشباه الموصلات ، MFM يمكن التحكم بدقة سيلان تدفق الغاز ، حتى لو كانت درجة الحرارة المحيطة تقلب ± 10 درجة مئوية ، قياس الخطأ لا يزال التحكم في ± 0.5 في المائة .

جزء من MFM يستخدم درجة حرارة ثابتة الفرق أو قوة ثابتة لتحسين الأداء . من خلال الحفاظ على الفرق في درجة الحرارة ثابتة بين الأسلاك التدفئة والغاز ، درجة حرارة ثابتة الفرق نوع يمكن ضبط قوة التدفئة في الوقت الحقيقي لتعويض تدفق التغيير . ثابت الطاقة نوع ثابت التدفئة السلطة ، من خلال قياس الفرق في درجة الحرارة عكس تدفق . كلا النوعين من التقنيات المدمج في معالجة الإشارات الرقمية الخوارزمية ، والتي يمكن تلقائيا تصحيح الفرق في الموصلية الحرارية الغاز وضمان دقة القياس من الغازات المختلفة ( مثل النيتروجين والأرجون ) .

MFM لديه ميزة كبيرة في المشهد الصناعي بسبب عدم وجود درجة الحرارة والضغط التعويض . على سبيل المثال ، في فراغ طلاء المعدات ، ضغط الغاز قد تتقلب بشكل كبير من فراغ إلى 10 ميغاباسكال ، مقياس الجريان الحجمي التقليدية تحتاج إلى معايرة في كثير من الأحيان ، في حين أن وزارة الخارجية يمكن أن تنتج مباشرة تدفق الشامل ( على سبيل المثال ، SCCM / SLM ) في مستوى الدولة دون الضغط عملة . وبالإضافة إلى ذلك ، فإن مجموعة واسعة من نسبة ( 50 : 1 ) و استجابة سريعة ( أقل من 100 مللي ) الخصائص ، مما يجعلها مثالية احتراق الغاز خلط التحكم وغيرها من العمليات الحيوية .