المجهر الالكتروني النافذ ( FEM ) يوفر للعملاء مع الثانوية الالكترونية طريقة التصوير ، مما يجعل من الممكن لمراقبة مظهر ثلاثي الأبعاد من العينات . فيرنر المجهر الإلكتروني قد اثنين من " عيون " مراقبة العينات -- الخلفية للكشف عن ( BSD ) والثانوية للكشف عن الإلكترون ( SED ) .

وضع إلكترون ثانوي

الداخلية من سطح المكتب مجهر مسح بالإلكترون ( SEM ) يمكن أن تكون مجهزة مع مسبار الكتروني ثانوي لجمع الإلكترونات الثانوية التي قصفت من العينة . هذه الإلكترونات الثانوية تأتي أساسا من 1 ~ 10nm من سطح العينة ، لأن الحادث عمق صغير ، الحادث الإلكترون في منطقة العمل و الحادث شعاع بقعة حجم الفرق الصغيرة ، حتى في ظل نفس الظروف ، القرار من الإلكترونات الثانوية أفضل من الخلفية الصورة . وعلاوة على ذلك ، لأن الإلكترونات الثانوية هي أكثر حساسية من زاوية الميل من العينة ، صورة الإلكترون الثانوي يمكن أن تظهر أفضل صورة مجسمة ، كما هو مبين في الشكل التالي .