بما أنّ يتقدّم نانو يطبع تجهيز ,evg7300 الأشعة فوق البنفسجية آلة الطباعة الحجرية نانو مع 300 ملليمتر رقاقة القدرة على المعالجة ، 300 نانومتر محاذاة الدقة وتصميم وحدات ، أصبحت أشباه الموصلات ، والمكونات البصرية ، والطب الحيوي في مجال التصنيع الرئيسية أداة .في هذه الورقة ، من أربعة جوانب ، بما في ذلك هيكل المعدات ، وتدفق العملية ، مفتاح التحكم في المعلمات و النقاط الرئيسية في الصيانة ، ويحلل الأساليب الأساسية من كفاءة عالية في استخدام المعدات .

　　هيكل الجهاز : دقة التعاون في تصميم وحدات

EVG7300 يعتمد هيكل وحدات ، وتشمل الوحدات الأساسية :

　　1 . محاذاة النظام :الأشعة تحت الحمراء التداخل و المجهر الضوئي متكاملة لتحقيق دقة محاذاة الميكانيكية ± 3 ميكرون و ± 300 نانومتر البصرية محاذاة الدقة ، ودعم 150-300 ملم رقاقة المحاذاة التلقائية .

　　2 . بصمة وحدة :مجهزة هوائي / هيدروليكي الضغط المزدوج نظام مراقبة ، يمكن ضبط سرعة الطباعة الدوارة ، ومناسبة لمختلف الاحتياجات من المواد .

　　3 . الأشعة فوق البنفسجية علاج النظام :باستخدام 365 نانومتر الطول الموجي للأشعة فوق البنفسجية مصدر الضوء ، دقة التحكم في الجرعة تصل إلى 1 ملي فحم الكوك / سم مربع ، لضمان أن photopolymer موحدة علاج .

　　4 . وحدة المعالجة :وظائف متكاملة الأكسجين البلازما التنظيف ، ومكافحة فقدان وكيل تدور طلاء الخبز والجفاف ، وتحسين الطاقة السطحية من الركيزة .

　　عملية تدفق : أربع خطوات لتحقيق مستوى النانومتر النسخ المتماثل

　　1 . الركيزة المعالجة :في فئة 1000 غرفة نظيفة ، سطح رقاقة يتم تنظيفها بواسطة الأكسجين البلازما ، البولى ميثيل ميثا أكريلات المضادة خسارة وكيل تدور بعد إزالة المواد العضوية ، فقاعات الهواء يتم إزالتها عن طريق تطهير النيتروجين .

　　2 . قالب تركيب :اختيار قالب الكوارتز ، فراغ الامتزاز ثابتة على الضغط على القرص ، محاذاة مارك من خلال المجهر ، ضبط س / ص المحور النزوح .

　　3 . بصمة إعداد المعلمة :الأشعة فوق البنفسجية علاج يمكن أن تبدأ من خلال تحديد درجة الحرارة ، الضغط ، والحفاظ على الوقت وفقا لخصائص المواد .

　　4 . demoulding و بعد العلاج :بعد التبريد إلى درجة حرارة أقل من درجة حرارة التحول الزجاجي ، قالب تقشير ببطء في زاوية 5 درجة ، و بقايا مقاومة للتآكل يتم إزالتها باستخدام رد الفعل ايون الحفر ( ري ) للحصول على دقة عالية النانو .

　　ضبط البارامترات الرئيسية : التوازن بين الدقة والكفاءة

　　1 . التحكم في الضغط :لينة صندقة يجب أن يكون الضغط المنخفض ( 0.5 بار ) لمنع تشوه ، من الصعب صندقة ( مثل السيليكون ) يجب أن يكون الضغط العالي ( 5 بار ) لضمان التعبئة .

　　2 . إدارة درجة الحرارة :بالحرارة المواد يجب أن تكون ساخنة فوق درجة حرارة التحول الزجاجي ، الأشعة فوق البنفسجية علاج المواد يجب الحفاظ على درجة حرارة الغرفة لتجنب التمدد الحراري خطأ .

　　3 . الجرعة المثلى :حساس البوليمر يحتاج 10-50 ملي / سم مربع جرعة ، جرعة كافية يؤدي إلى علاج غير مكتملة ، والإفراط في بدء تدهور المواد .

　　رابعا : صيانة نقاط خفية لضمان إطالة عمر المعدات

　　1 . التنظيف اليومي :استخدام قطعة قماش خالية من الغبار لمسح لوحة الضغط و قالب الجدول ، وتجنب تآكل السطح من بقايا المانع .

　　2 . الصيانة الشهرية :تحقق من مصدر ضوء الأشعة فوق البنفسجية كثافة ( الاضمحلال يحتاج إلى استبدال أنبوب ) ، وأجهزة استشعار الضغط الدقة ، ومضخة فراغ الختم .

　　3 - الصيانة الفصلية :استبدال مرشحات النانو ( دقة الترشيح 0.01 ميكرون ) ، تشحيم القضبان ( باستخدام الغذاء الصف الشحوم ) ، ومنع ارتداء الميكانيكية .

دقة evg7300 يتطلب من المشغلين التقيد الصارم بمعايير المعلمة ، على سبيل المثال ، عند بصمة ع / الواقع الافتراضي المكونات البصرية ، سمك طبقة المتبقية يجب أن تسيطر على ≤ 20 نانومتر لضمان حيود الكفاءة . من خلال تصميم وحدات التحكم الذكي ، هذا الجهاز يمكن تحقيق التحول السلس من البحث والتطوير على مستوى رقاقة واحدة بصمة على الإنتاج الضخم من لفة إلى لفة الإنتاج ، وتوفير حل فعال نانومتر التصنيع .