استيراد المجهر الصناعي هو نوع من أداة دقيقة لمراقبة وتحليل الأجسام الصغيرة أو الهياكل ، مبدأ عملها على أساس البصرية أو البصرية الالكترونية من حيث المبدأ ، غير مرئية أو من الصعب أن نلاحظ مباشرة من العالم الصغير تكبير وتقديم صورة واضحة .

( أ ) استيراد المجاهر البصرية الصناعية

1 . نظام الإضاءة : الإضاءة كولر عادة ما تستخدم . الضوء المنبعث من مصدر الضوء بشكل موحد ينير كائن لوحظ من خلال المكثف . وظيفة المكثف هو ضبط زاوية وكثافة الضوء لجعل الضوء المشع على الجسم في زاوية مناسبة ، وضمان أن كل جزء من الجسم يمكن الحصول على إضاءة كافية وموحدة .

2 - الهدف من التصوير : الهدف هو واحد من الأجزاء الرئيسية من المجهر الضوئي . وهي قريبة من الكائن الذي لوحظ ، مع أقصر البعد البؤري وارتفاع التكبير . عدسة الهدف يضخّم الجسم لأول مرة على شكل مقلوب الصورة الحقيقية . الصورة الحقيقية هي في التركيز داخل العدسة . جودة وأداء العدسة الشيئية لها تأثير كبير على وضوح القرار من التصوير . على سبيل المثال ، عالية الدقة عدسة الهدف يمكن أن تميز الأشياء الصغيرة من التفاصيل .

3 - ملاحظة : العدسة العدسة هو وظيفة من عدسة الهدف من الصورة إلى مزيد من التكبير . داخل العدسة هناك واحد أو أكثر من مجموعات من العدسات التي تضخيم الصورة الحقيقية التي شكلتها العدسة الشيئية و يصحح الانحرافات التي قد تحدث أثناء التصوير من العدسة الشيئية .

` 2 ` المجاهر الصناعية المستوردة إلكترونياً

المجهر الإلكتروني النافذ ( تيم )

- انبعاث شعاع الالكترون : انبعاث شعاع الالكترون عالي السرعة من بندقية الإلكترون . هناك نوعان من بندقية الإلكترون ، الكاثود الحراري الانبعاثات الميدانية الانبعاثات . الساخنة الكاثود الانبعاثات نوع تنبعث الإلكترونات عن طريق تسخين أسلاك التنغستن وغيرها من المواد ، في حين أن مجال الانبعاثات نوع يستخدم حقل كهربائي قوي لاستخراج الإلكترونات من سطح حاد باعث . هذه الإلكترونات عالية الطاقة .

- عينة التفاعل : شعاع الالكترون عالية السرعة يمر عبر عينة رقيقة جدا ( عادة ما يكون سمك العينة على مستوى النانومتر ) . الإلكترونات تتصادم مع الذرات في العينة أثناء العبور من خلال العينة . بسبب اختلاف الكثافة الذرية و العدد الذري في أجزاء مختلفة من العينة ، ونثر درجة الإلكترونات مختلفة . هذا التشتت يمكن أن يؤدي إلى تغييرات في كثافة شعاع الالكترون المرحلة ، وبالتالي تحمل معلومات عن البنية الداخلية من العينة .

- نظام التصوير : تركز أشعة الالكترون التي تمر عبر العينة وتصور من خلال نظام العدسات الكهرومغناطيسية . الكهرومغناطيسية عدسة ينكسر شعاع الالكترون باستخدام المجال المغناطيسي المتولد من التيار الكهربائي من خلال لفائف . عن طريق ضبط التيار الكهربائي من العدسة الكهرومغناطيسية ، البعد البؤري والتركيز تأثير العدسة يمكن تغييرها ، و الصورة التي تعكس الهيكل الداخلي من عينة يمكن تشكيلها على الشاشة الفلورية أو التصوير الفوتوغرافي السلبي .

مجهر مسح بالإلكترون ( SEM )

- المسح الضوئي بواسطة شعاع الالكترون : شعاع الالكترون المنبعث من بندقية الالكترون يتم مسحها ضوئيا بواسطة نقطة على سطح العينة بواسطة لفائف المسح الضوئي . شعاع الالكترون بقعة صغيرة جدا ، وعادة ما يمكن أن تركز على عدة أحجام النانو .

- جمع الإشارات : عندما يلمع شعاع الالكترون على سطح العينة ، فإنه يحفز العينة على توليد إشارات مختلفة ، مثل الالكترونات الثانوية ، والإلكترونات الخلفية ، الخ . الإلكترونات الثانوية هي انخفاض الطاقة الإلكترونات المنبعثة من الذرات على سطح العينة بعد متحمس من قبل شعاع الالكترون ، والتي يمكن أن تعكس أيضا تضاريس سطح العينة . ارتداد مبعثر الإلكترون هو الإلكترون عاد بعد الحادث الإلكترون ذرة العينة تنتج استطارة مرنة . هذه الإشارات التي تم جمعها من قبل المقابلة الكاشف .

- عرض التصوير : يتم تضخيم الإشارات التي يجمعها الكاشف ومعالجتها لتشكيل صورة على الشاشة في ترتيب المسح الضوئي بواسطة شعاع الالكترون . عن طريق ضبط المعلمات من شعاع الالكترون وتلقي طريقة للكشف عن الصور مع تباين مختلفة والمعلومات التي يمكن الحصول عليها .