في تصنيع أشباه الموصلات ، تعمل بالهواء المضغوط صمام الحجاب الحاجز هو عنصر التحكم الأساسية في عملية رئيسية بسبب ارتفاع الختم ، ومقاومة التآكل ، والاستجابة السريعة . بعد الجمع بين تطبيق نموذجي السيناريوهات ، وتحليل مزاياها التقنية والعملية القيمة .

1 . عملية نقل الغاز والتحكم في الضغط

في أشباه الموصلات النقش ، ترسب الفيلم ، وما إلى ذلك ، عالية النقاء الغاز مثل النيتروجين والأكسجين والهيدروجين يجب أن تنقل بدقة . هوائي صمام الحجاب الحاجز يستخدم السليكوون أو منهاج العمل وغيرها من المواد عالية النقاء صمام الجسم ، جنبا إلى جنب مع نانو تكنولوجيا المعالجة السطحية ( خشونة السطح أقل من أو يساوي ra0.2 على سبيل المثال ، من خلال دمج الضغط وتدفق الاستشعار المعقدة ، رئيس رقاقة مصنع يدرك 0.1 ٪ دقة تنظيم تدفق الغاز ، مع نظام التحكم حلقة مغلقة ، يرفع قيمة فوسفوكيناز الكرياتين السيطرة على الغاز إلى أكثر من 2.0 ، ويحسن عملية التوحيد إلى 40 في المائة .

2 . عزل تسرب حماية نظام فراغ

في فراغ العلاج ( مثل المدة للطبقة ترسب ) ، تعمل بالهواء المضغوط صمام الحجاب الحاجز يجب أن تحمل بيئة فراغ ( ≤ 10 ⁻ تور ) والحفاظ على المدى الطويل ضيق . الصناعة تعتمد على طبقة مزدوجة الحجاب الحاجز تصميم زائدة ، عندما كسر الحجاب الحاجز الرئيسي ، قطع الحجاب الحاجز يمكن أن تشكل ختم الحاجز الثاني في 50 مللي ثانية ، مع الضغط السلبي نظام الكشف عن تسرب لتحقيق خطأ العزلة . قياس البيانات من 7nm عملية المعدات تبين أن هذا التصميم يمكن أن تجعل متوسط الأجل من خلال كسر 800 دورة في تطبيق صمام فراغ مزلاج ، والحد بشكل كبير من خطر التوقف غير المخطط لها .

3 - نقل الكواشف الكيميائية وحماية التآكل

تصنيع أشباه الموصلات ينطوي على نقل وسائل الاعلام للتآكل مثل حمض قوي ، قاعدة قوية ، الخ . هيكل الحجاب الحاجز هوائي صمام الحجاب الحاجز يفصل السائل من محرك الأقراص ، وبالتالي تجنب خطر التلوث الناجم عن تسرب التعبئة التقليدية صمام . على سبيل المثال ، في مقاومة للضوء المطور نظام التسليم ، واستخدام منهاج العمل صمام الحجاب الحاجز يمكن أن يتسامح مع حمض الهيدروفلوريك وغيرها من وسائل الإعلام للتآكل قوية ، في حين أن الطباعة ثلاثية الأبعاد طوبولوجيا الأمثل هيكل الجسم ، مع الحفاظ على قدرة تحمل الضغط ، في حين أن زيادة سرعة الاستجابة بنسبة 15 ٪ ، لتلبية متطلبات عالية السرعة خط الانتاج .

4 - ضمان نظافة رقاقة نظام النقل

رقاقة في عملية نقل بين وحدات ، من الضروري التحكم في ضغط الغاز من خلال هوائي صمام الحجاب الحاجز ، لضمان نقل الاستقرار . ذكي هوائي صمام الحجاب الحاجز هو المعتمد في رقاقة مصنع ، الذي يدمج مع الصيانة التنبؤية وحدة آلة التعلم الخوارزمية ، يمكن أن تجعل من 200 دورة الإنذار المبكر غشاء التعب الدولة وتقصير الوقت الضائع غير المخطط لها من المعدات بنسبة 83 في المائة . وبالإضافة إلى ذلك ، صمام متصل مع مس النظام من خلال بروتوكول OPCUA لتحقيق في الوقت الحقيقي ورسم الخرائط من المعلمات العمل على النموذج الرقمي التوأم ، ودعم عملية ذكية وضع الصيانة من الربط بين الواقع الافتراضي .