الترددات اللاسلكية امدادات الطاقة ( RF ) هو مصدر الطاقة الرئيسي في أشباه الموصلات النقش ، الترسيب الفيزيائي للبخار ، البلازما التنظيف ، وما إلى ذلك استقرار إمدادات الطاقة يحدد العائد مباشرة . ومع ذلك ، فإن معدل الفشل الناجم عن ارتفاع وتيرة التبديل ، تحميل عالية الطاقة و ظروف العمل المعقدة لا تزال مرتفعة ، والقدرة على الصيانة المهنية أصبحت العقبة الرئيسية لضمان استمرارية التصنيع .

خطأ نموذجي وضع تحليل السبب الجذري

1 . انتاج الطاقة استثناء

- تذبذب انتاج الطاقة > 3 ٪ ± : في الغالب بسبب تشويه يغبت / موسفت محرك إشارة ( نبض غضب ≥ 50ns ) أو بوابة المقاومة الشيخوخة ( قيمة المقاومة الإزاحة > 10 ٪ )

- لا انتاج الطاقة : العاصمة حافلة السعة طبل حزمة ( ESR قيمة أكثر من 2 مرات القياسية ) ، وارتفاع وتيرة المحولات بين طبقات انهيار ( تحمل الجهد < 3KV )

حالة : انتاج الطاقة من آلة الحفر هو صفر بسبب الشيخوخة من الشبكة البصرية مقرنة .

2 - الإبلاغ المتكرر عن خطأ قوس

- تصريف غير طبيعي في تجويف العملية ( تذبذب الضغط الجوي أكثر من 5 ٪ أو سقوط الجسيمات المستهدفة )

- فشل دائرة الكشف الذاتي عن مصدر الطاقة :

- قوس الطاقة للكشف عن حرق المقاومة ( > 10 أوميغا أي شذوذ )

- للمقارنة TLV3501 مدخلات الإزاحة > 10mV

البيانات : قوس وقت الاستجابة أقل من 2

3 . مطابقة مربع ضبط فشلت .

-- فراغ مكثف عالقة حتى الموت ( منقول تحمل شريحة قصيرة من النفط أو حرق عقدة )

ل شبكة محاثة رطبة ( ف قيمة من 200 إلى أقل من 50 )

- مرحلة الكشف عن الخطأ ( المرحلة الكاشف AD8302 الناتج ينحرف عن 1.8V مسند )

وحدات صيانة النظام التقني

( 1 ) عمق إصلاح وحدات الطاقة

( 2 ) دقة التصحيح من لوحة التحكم

-- محرك إشارة المعايرة :

قياس الطول الموجي الشبكة مع فرق الجهد العالي التحقيق ، تتطلب ما يلي :

- ارتفاع / انخفاض الوقت < 100ns

- overpush الجهد < 20 ٪ من بوابة القطب تحمل الجهد

- تحسين دائرة الكشف عن القوس :

-- بالتوازي مع 100pf عالية التردد تصفية مكثف في نهاية الكشف

- للمقارنة الجهد المرجعي الانجراف المطلوبة < 5mV +

( 3 ) تقنية تجديد المباراة

- صيانة المكثفات فراغ :

بالموجات فوق الصوتية تنظيف قطعة ثابتة بعد التفكيك ، وتطبيق perfluoropolyether فراغ الشحوم

- تجديد لفائف الحث :

تراجع الطين السيراميك بعد إزالة الطلاء وإعادة اللف ، رفع الضغط إلى 10KV

- ضبط تلقائي خوارزمية إعادة تعيين :

كتابة البرامج الثابتة من خلال واجهة RS485 فرشاة ، ضبط السرعة إلى 300ms / مرة

خدمات الصيانة البيئية المتطورة

1 - نظام الصيانة التنبؤية

- في الوقت الحقيقي رصد الترددات اللاسلكية معامل الانعكاس ( > 0.3 أي الإنذار المبكر )

- تحليل معدل التغير في درجة الحرارة تقاطع يغبت ( المنحدر > 2 ℃ / دقيقة تتطلب التدخل )

2 - بدائل التوطين

-- وحدة يغبت انفينيون لتحل محل أعضاء الكنيست الأصلي ( خفض التكلفة بنسبة 60 ٪ )

- CNTIC 55 جهاز غان رفع تردد التبديل إلى 5MHz

3 - الخدمات الخاصة بالصناعة

-- مصنع أشباه الموصلات : الصيانة الشهرية من المباراة ( بما في ذلك محلل شبكة المعايرة )

-- الضوئية خط الطلاء : قوس العد خارج الحد التلقائي إيقاف التحديثية

حالة الصيانة : 8 بوصة رقاقة مصنع النقش آلة إمدادات الطاقة بسبب التآكل الكهربائي من مياه التبريد أدى إلى انفجار آلة ، برنامج الصيانة :

استبدال حرق 1200v / 800a يغبت وحدة

ترقية مياه التبريد لوحة سبائك التيتانيوم ( كهربائيا مقاومة للتآكل )

كتابة حزب اليسار الديمقراطى خوارزمية التحكم لتعزيز حماية الزائد

بعد 14 شهرا من عملية مستمرة دون استثناء بعد حل المشكلة