التصوير المجهري ellipsometry هو أداة تستخدم أساسا لقياس سماكة الفيلم ، معامل الانكسار ، معامل الامتصاص ، والحصول على صورة ثلاثية الأبعاد توزيع العينة السطحية .
على أساس مبدأ ellipsometry ، ellipsometry التصوير المجهري يمكن الحصول على صورة ثلاثية الأبعاد وتوزيع المعلمات البصرية مثل سماكة الفيلم ، معامل الانكسار ، وهلم جرا ، من خلال تحليل حالة الاستقطاب بعد الحادث الضوء المستقطب ينعكس أو تنتقل عن طريق العينة .
وتشمل العملية :
مصدر الضوء والاستقطاب السيطرة : الضوء المنبعث من مصدر الضوء هو تحويلها إلى الضوء المستقطب الخطي من خلال المستقطب ، ثم يتم تعديلها إلى حالة معينة من الاستقطاب من خلال المعوض ( على سبيل المثال ، بيضاوي الشكل الضوء المستقطب ) .
عينة من التفاعل : الضوء المستقطب الحادث على سطح العينة ، مع عينة من التفكير أو الإرسال ، استقطاب الدولة بسبب خصائص العينة ( مثل سماكة الفيلم ، معامل الانكسار ) التغييرات .
الكشف والتحليل : المستقطب يقيس استقطاب الضوء المنعكس أو المنقولة ( عادة وصفها ellipsometry وفي الوقت نفسه ، اتفاقية مكافحة التصحر نظام التصوير يكتسب ellipsometry المعلمات من مواقع مختلفة على سطح العينة ، وبالتالي تشكيل صورة ثلاثية الأبعاد و توزيع سمك .
الاحتياطات التشغيلية
عينة إعداد :
سطح العينة يجب أن تكون مسطحة ونظيفة لتجنب الغبار أو الخدوش التي تؤثر على انعكاس الضوء المستقطب .
من أجل تحسين دقة القياس ، من الضروري إنشاء نموذج فيزيائي معقول . . . . . . .
مراقبة البيئة : العوامل البيئية ( مثل درجة الحرارة ، والاهتزاز ، ضوء شارد ) قد تؤثر على قياس الاستقرار ، يجب أن تعمل على درجة حرارة ثابتة ، صدمة برهان البصرية منصة .
معالجة البيانات
البيانات التجريبية والنظرية نموذج تم تركيبها باستخدام المدمج في الخوارزمية .
من أجل الحصول على نتائج أكثر دقة ، العديد من التقنيات التحليلية اللازمة .