سطح المكتب نظام ترسب طبقة الذرية ( ALD ) هو نوع من nanofilm ترسب المعدات التي تستند على سطح النفس يحد من ردود الفعل .
السمات الهيكلية ( ميزة سطح المكتب )
التصغير : تصميم المدمجة ( عادة على سطح المكتب أو عمودي مجلس الوزراء الصغيرة ) ، تحتل مساحة صغيرة في المختبر ، لا تحتاج إلى غرفة نظيفة منفصلة أو كبيرة من المرافق المساندة .
رد فعل الغرفة الصغيرة الحجم ( عادة بضعة ملليلتر إلى عشرات ملليلتر ) ، وانخفاض استهلاك السلائف ، ومناسبة ثمينة / نادرة السلائف البحوث التجريبية .
سهولة التشغيل : مجهزة البصرية واجهة تعمل باللمس ، ودعم تحرير رسومية ترسب البرنامج ( مجموعة السلائف نبض الوقت ، تطهير الوقت ، درجة الحرارة ، ودورة مرات وغيرها من المعالم ) .
تحميل عينة بسيطة ، وذلك باستخدام عينة صغيرة الجدول ( مناسبة لأنّ رقاقة ، الركيزة ، ومسحوق ، مايكرو نانو الأجهزة وغيرها من أشكال العينة ) ، بعض النماذج لدعم التلقائي أخذ العينات .
درجة حرارة الغرفة إلى 400 درجة مئوية ، بعض النماذج يمكن أن تصل إلى 500 درجة مئوية ) ، والتي يمكن أن تلبي متطلبات مختلف السلائف ، ومناسبة لارتفاع درجة الحرارة مقاومة ركائز ( مثل البوليمرات والمواد المرنة ) .
ضغط العمل هو الضغط الجوي أو فراغ منخفضة ( 10 ⁻ ¹ ~ 10 ⁻ 3 مبار ) ، لا تحتاج إلى فراغ عالية وحدة ، والحد من تكاليف المعدات والصيانة صعوبة .
دقة التحكم في القدرة : مجهزة عالية الدقة وحدة تحكم تدفق الشامل ( MFC ) ، دقة التحكم في تدفق السلائف نبض غاز خامل تطهير .
درجة الحرارة التوحيد من عينة الجدول هو جيد ( ± 1 ~ ± 3 ℃ ) ، سمك التوحيد من الفيلم على سطح الركيزة هو ضمان ( التجانس < ± 2 في المائة ) .
سيناريوهات التطبيق
أشباه الموصلات والالكترونيات الدقيقة : إيداع عالية ك بوابة عازلة رقيقة ( مثل آل̀ò ، HFÒ ) ، قطب المعادن رقيقة ( مثل القصدير ، ث ) ، من أجل تطوير الترانزستور مصغرة ، وأجهزة الاستشعار .
مواد الطاقة الجديدة : إيداع فيلم واقية ( على سبيل المثال ، ليبون ) على سطح القطب من بطارية ليثيوم أيون ، وإيداع طلاء مضاد للانعكاس ( على سبيل المثال sio ₂ ، تيو ₂ ) على سطح الخلايا الضوئية ، وتحسين كفاءة واستقرار الجهاز .
طلاء الفنية : إعداد المضادة للتآكل الطلاء ، طلاء مقاومة للاهتراء ، مسعور / سوبر ماء الطلاء المستخدمة في تعديل السطح من الآلات الدقيقة .
تعديل المواد النانوية : طلاء السطح من النانوية ، أنابيب الكربون النانوية ، وزارة المالية ، وتنظيم البصرية والكهربائية خصائص الحفاز .