تواجه الحد المادي ، photoetching المهندسين وضعت سلسلة من الحلول المتطورة -- القرار تعزيز التكنولوجيا ( RET ) . الفكرة الأساسية هي " إدارة " إنحرافي الميدان بنشاط من خلال تحسين الإضاءة نمط قناع نمط . الغمر الطباعة الحجرية أصبحت رائدة في زيادة نا المسارات . عن طريق ملء السائل مع ارتفاع مؤشر الانكسار بين الإسقاط عدسة الهدف و رقاقة ، سقف نه هو ما يعادل رفع من 1.0 إلى 1.44 . هذه التكنولوجيا إلى حد كبير يطيل دورة حياة 193nm المنتدى الطباعة الحجرية . خارج المحور الإضاءة ( OAI ) يمكن أن تجعل الضوء مائل في زاوية معينة من خلال تصميم الإضاءة الخاصة الحاجز ، وتغيير التوزيع المكاني حيود الضوء ، مما يجعل من أعلى تردد الحيود تدرج يمكن أن تدخل العدسة الشيئية .

خارج المحور الإضاءة يغير الصورة التقليدية من قناع ثنائي كما هو موضح في ( أ ) من خلال إمالة الإضاءة ، مما يؤدي إلى انحراف نمط الحيود كما هو موضح في ( ب ) .

مرحلة التحول قناع ( PSM ) على أساس السيطرة على السعة الضوئية ، وإدخال مرحلة السيطرة ، وذلك باستخدام مبدأ التدخل إلغاء الموجة الضوئية ، أكثر حدة كثافة التدرج تتشكل على حافة نمط .

مرحلة التحول قناع نوع : ( 1 ) ثنائي قناع ، ( 2 ) مرحلة التحول قناع ، ( 3 ) حفر الكوارتز قناع ( ليفنسون قناع ) ، ( 4 ) نصف تون قناع . ( أعلى ) قناع ( الأحمر ) على قناع ( الأزرق ) على رقاقة ( الأخضر ) على رقاقة ( أسفل ) مقاومة للضوء على رقاقة السيليكون

القرب البصري تأثير تصحيح ( بمسانده ) التكنولوجيا يعوض عن تشويه البصرية في عملية التصوير من خلال " مكافحة تشويه " تجهيز قناع نمط مقدما .

رسم تخطيطي بمسانده ( البصرية القرب التصحيح ) . الأزرق Γ الشكل هو الشكل الذي يرغب مصممو رقاقة الطباعة على رقاقة ، والأخضر هو نمط على القناع بعد التصحيح البصري القرب .

على الرغم من أن العناصر الأرضية النادرة التكنولوجيا إلى حد كبير تعزيز التقدم المحرز في تصنيع الدوائر المتكاملة على نطاق واسع ، فهي تعتمد اعتمادا كبيرا على قناع المادية . . . . . . . تصنيع قناع لوحة ليست فقط عالية التكلفة ، ولكن أيضا فترة طويلة من الإنتاج ، والتي أصبحت عقبة كبيرة أمام البحث والتطوير والإنتاج الضخم . تقنية الطباعة الحجرية maskless يخرج الى حيز الوجود ، بدلا من قناع المادية ، ويستخدم في الوقت الحقيقي للبرمجة الرقمية قناع لتوليد نمط التعرض مباشرة . maskless الطباعة الحجرية الرقمية على أساس micromirror الجهاز ( DMD ) أصبحت واحدة من التكنولوجيات الرئيسية .

نظرة عامة على DMD تكنولوجيا الصورة

DMD يتكون من عدة ملايين من المرايا الصغيرة ميكرون الحجم التي يمكن أن تتحول بشكل مستقل في سرعة عالية . عن طريق التحكم بدقة في زاوية انحراف كل مرآة ، أي نمط ثنائي الأبعاد توزيع كثافة الضوء يمكن بناؤها في الوقت الحقيقي ، و " الكتابة المباشرة " يمكن أن تتحقق . هذا التحول من " المادية " إلى " حقل الضوء الرقمي " يجلب مزايا ثورية : المرونة في التصميم ، كبيرة من حيث التكلفة ، وقوية وظيفة التوسع . DMD لا يمكن إلا أن ندرك على / قبالة تعديل ثنائي ، ولكن أيضا يمكن أن ندرك من خلال سرعة عالية نبض تعديل العرض متعدد المستويات رمادي السيطرة ، من السهل تحقيق رمادي الطباعة الحجرية .

Zeyou التكنولوجيا ZML سلسلة DMD قناع آلة الطباعة الحجرية

الشركة المصنعة للمعدات العلمية ، ممثلة في zeyo التكنولوجيا ، وقد تم توسيع نطاق هذه التكنولوجيا على نطاق واسع في المختبرات ومؤسسات البحث والتطوير من خلال سطح المكتب DMD maskless الطباعة الحجرية . ZML سلسلة قناع أقل photoetching آلة تعتمد على مصدر ضوء LED عالية الطاقة ، جنبا إلى جنب مع DMD التكنولوجيا لتحقيق submicron القرار ، وفي الوقت نفسه ، اتفاقية مكافحة التصحر الكاميرا و التركيز التلقائي نظام متكامل ، مما يقلل كثيرا من صعوبة التشغيل .

في التطبيق العملي ، وقد استخدم هذا النوع من المعدات في إعداد المواد الكهربائي ثنائي الأبعاد الأجهزة ، النماذج الأولية السريعة من رقائق ميكروفلويديك وغيرها من البحوث المتقدمة ، مما يدل على قدرتها على تصنيع النماذج الأولية السريعة و التكامل متعدد الوظائف .

من أجل تصنيع أشباه الموصلات التي تسعى linewidth والإنتاج الضخم ، قناع الطباعة الحجرية التقليدية ممثلة في الاتحاد الأوروبي لا تزال لا يمكن الاستغناء عنه في التيار الرئيسي . ومع ذلك ، في مجال البحث العلمي ، والتعليم ، والتغليف MEMS、 متطلبات البحث والتطوير والكفاءة ، ومراقبة التكاليف ، والمرونة في التصميم غالبا ما تتجاوز السعي إلى الحد من القرار .

من خلال تحويل عملية الطباعة الحجرية من " الأصول الثقيلة " إلى " خفيفة الوزن " العملية الرقمية ، maskless الطباعة الحجرية التكنولوجيا يوفر كفاءة عالية واقتصادية قوية أداة جديدة للمهندسين والباحثين . فإنه يجعل من nanomachining منصة أكثر الأفكار المبتكرة التي يمكن التحقق منها وتنفيذها بسرعة .

اختيار التكنولوجيا ليست بسيطة ، ولكن على أساس فهم عميق من الحدود المادية والهندسية خصائص الطلب على تطبيقات محددة لجعل معظم معقولة المفاضلة . بين القيود و الحرية ، ما نراه هو خط واضح من " متابعة الفيزياء " إلى " السيطرة على الفيزياء " .