باعتبارها أداة تحليلية متقدمة في مجال علم المواد ،زايس إيفو سلسلة مجهر مسح بالإلكترون ( SEM ) ، مع تصميم وحدات وذكي واجهة العملية ، يوفر للباحثين مع كامل عملية الحل من التصوير الأساسية إلى تحليل معقدة .هذه الورقة منهجية تمشيط عملية التشغيل و النقاط الرئيسية في التكنولوجيا .

　　التمهيد إعداد معدات الفحص الذاتي

قبل بدء تشغيل زايس SEM ، المعلمات البيئية يجب أن تكون مؤكدة : التحكم في درجة الحرارة 20-24 ℃ ، الرطوبة أقل من 65 ٪ ، يو بي إس امدادات الطاقة العادية . المشغلين ارتداء القفازات الاستاتيكيه لتجنب تلوث العينات أو تلف المكونات الإلكترونية . بعد التبديل على الهواء في الجزء الخلفي من الجهاز المضيف ، اضغط على زر ستاندوبي و على بدوره . عند هذه النقطة ، يجب أن نلاحظ حالة تشغيل مضخة فراغ ، مضخة ميكانيكية مضخة الجزيئية لضمان بدء التشغيل العادي ، قراءة فراغ متر تدريجيا إلى 1.3 × 10 ⁻ مبار أدناه .

　　تحميل عينة ووضع المعلمة

بعد فراغ غرفة العينة يتم تحريرها من خلال تضخيم صمام ، عينة الجدول الذي هو ثابت من قبل موصل لاصق يتم تحميلها في خمسة محاور تحميل الجدول باستخدام حلقي الملقط . من أجل القضاء على تأثير شحنة كهربائية ، رش الذهب أو الكربون الطلاء يجب أن تتم في وقت مبكر . تسريع الجهد ( EHT ) هو مجموعة في smartsem البرمجيات ، يوصى 10-30kv موصل عينات ، و 1-5kv الجهد المنخفض وضع جنبا إلى جنب مع شعاع الالكترون التباطؤ التكنولوجيا المستخدمة في غير موصل عينات . مجموعة العمل ( WD ) هو عادة تعيين إلى 8.5mm ، والتي تؤثر بشكل مباشر على دقة الصورة و قوة الإشارة .

　　طريقة التصوير واختيار الأمثل

EVO سلسلة مجهزة OptiBeam عدسة النظام الذي يدعم خمسة أنماط المراقبة للتبديل :

1 . عالية فراغ SE واسطة : الحصول على معلومات عن تضاريس السطح باستخدام كاشف الكتروني ثانوي ( SE2 ) .

2 . backscattered الكترون واسطة ( BSD ) : تستخدم عادة في تحليل المواد المركبة من أجل التمييز بين مكونات المواد من خلال العدد الذري المقابل .

3 . انخفاض فراغ نمط : لا تحتاج إلى رش الذهب لمراقبة المياه أو تلوث العينات ، فراغ يمكن الحفاظ على 20-260pa ;

4 - شعاع الالكترون التباطؤ واسطة : من خلال تطبيق الجهد التحيز للحد من فعالية هبوط الطاقة ، ومن الواضح أن تحسين جودة التصوير غير موصل عينة .

في هذه العملية ، يجب أن تكون جنبا إلى جنب مع الروك للسيطرة على حركة الناقل ، وذلك باستخدام الحد من نافذة التركيز تدريجيا ، وأخيرا الحصول على صورة subnano القرار في 100 ، 000 مرات التكبير .

　　تحليل الطيف الطاقة ( EDS ) عملية متكاملة

بعد الاتصال أكسفورد إنكا x-act مطياف ، إنشاء ملف المشروع في aztec البرمجيات ، حدد نقطة المسح الضوئي ، خط المسح الضوئي أو سطح المسح الضوئي واسطة . جمع عدد المرات المطلوبة عند المسح الضوئي ، ونظام تلقائيا يولد عنصر توزيع الرسم البياني و نسبة كتلة التقرير . البيانات التجريبية تبين أن معدل العد الناتج يمكن أن تبقى مستقرة فوق 1000cps في 8.5mm مسافة العمل ، وضمان دقة البيانات .

　　اغلاق وصيانة وإدارة البيانات

بعد الانتهاء من التحليل ، اضغط على shutdown غان لإغلاق خيوط ، بدوره إيقاف smartsem البرمجيات ، م الخادم المضيف امدادات الطاقة . عندما يبرد النظام لمدة 30 دقيقة ، قطع الهواء التبديل وتسجيل سجل تشغيل الجهاز . البيانات الأصلية يجب أن تكون مشروحة مع الظروف التجريبية ، عبر ربط البيانات يتحقق من خلال زين الأساسية البرمجيات .

زايس مجهر مسح بالإلكترون ( SEM ) يقلل من تعقيد العملية التقليدية المجهر الإلكتروني أكثر من 60 ٪ من خلال تصميم ذكي كاميرا الملاحة الآلي سير العمل . وحدات الهندسة المعمارية يدعم سيناريوهات متعددة التطبيقات من البحوث الأساسية إلى التفتيش على الجودة الصناعية ، ويوفر كفاءة عالية وموثوق بها حل مادة التمثيل .