12 بوصة رقاقة مجفف يستخدم على نطاق واسع في تطوير رقاقة خط الانتاج ، وظيفتها الأساسية هي إزالة الرطوبة المتبقية والشوائب على سطح رقاقة بعد التنظيف الرطب من خلال الوسائل المادية أو الحرارية ، وضمان نظافة السطح والتسطيح من رقاقة ، وبالتالي تحسين الإنتاجية والاعتمادية من أجهزة أشباه الموصلات . التحليل التالي من ثلاثة أبعاد :

مبدأ التقنية : آلية متعددة لتحقيق كفاءة عالية التجفيف

12 بوصة رقاقة مجفف يدمج عادة الطرد المركزي تجفيف الهواء الساخن الحمل الحراري ، النيتروجين تطهير الأشعة تحت الحمراء وغيرها من التكنولوجيات لتشكيل مركب نظام التجفيف :

1 . الطرد المركزي والتجفيف : قوة الطرد المركزي التي تنتجها عالية السرعة التناوب ، رقاقة سطح الماء بعيدا ، جنبا إلى جنب مع الهواء الساخن تداول مزيد من تبخر المياه المتبقية . هذه التكنولوجيا يمكن أن تقلل من وقت تجهيز رقاقة واحدة إلى أقل من 1 دقيقة ، ومناسبة لإنتاج على نطاق واسع .

2 . النيتروجين تطهير : استخدام عالية النقاء النيتروجين تطهير سطح رقاقة ، ومنع الأكسدة وتسريع تبخر المياه . بعض المعدات تعتمد على عدم الاتصال نوع التدفئة النيتروجين ، وتجنب الاتصال المباشر بين سخان غاز النيتروجين ، والحد من تلوث الجسيمات .

3 . الأشعة تحت الحمراء : الأشعة تحت الحمراء من خلال الطول الموجي 1-10 ميكرون من الأشعة تحت الحمراء التدفئة المباشرة على سطح رقاقة ، لتحقيق دقة التحكم في درجة الحرارة المحلية ، والتجفيف السريع السرعة ، ولا سيما في رقائق رقيقة ومرنة الأجهزة الإلكترونية .

الثانية ، 12 بوصة رقاقة مجفف يمر عبر العديد من العمليات الأساسية في تصنيع أشباه الموصلات :

1 . الجبهة تمرير عملية ( feol ) : بعد تنظيف رقاقة ، والتجفيف فورا ، وتجنب المياه أو فيلم بقايا يؤدي إلى العيوب . على سبيل المثال ، بعد الكيميائية تلميع الميكانيكية ( CMP ) ، مجفف يمكن بسرعة إزالة بقايا طحن السائل على سطح رقاقة ، ومنع تلوث الأيونات المعدنية .

2 - عملية المسار الأوسط ( MEOL ) : بعد الطباعة الحجرية ، النقش ، مجفف يستخدم لإزالة بقايا مقاومة للضوء أو النقش المنتجات على سطح رقاقة لضمان دقة العملية اللاحقة .

3 . عملية المسار الخلفي ( BOL ) : قبل التعبئة والتغليف والاختبار ، مجفف رقاقة التنظيف النهائي لمنع إدخال الشوائب في عملية التعبئة والتغليف ، وتحسين موثوقية الجهاز .

وبالإضافة إلى ذلك ، فإن المعدات المستخدمة على نطاق واسع في صناعة الكهروضوئية ( مثل عنصر طلاء البصرية التنظيف ) ، والطب البيولوجي ( مثل تنظيف المفاعل الحيوي ) والالكترونيات والسيارات وغيرها من المجالات ، لتلبية متطلبات عالية النقاء والموثوقية العالية .

ثالثا ، ميزة الأداء : ترقية التكنولوجيا لتعزيز كفاءة خط الانتاج

12 بوصة رقاقة مجفف يحسن إلى حد كبير كفاءة خط الانتاج والتكلفة من خلال الابتكار التكنولوجي :

1 . عالية التوافق : دعم 4-12 بوصة رقاقة معالجة الأبعاد ، ومناسبة لمختلف الاحتياجات العملية عقدة .

2 . عالية الدقة السيطرة : مجهزة منظمة العفو الدولية رؤية نظام التفتيش ، في الوقت الحقيقي رصد رقاقة تجفيف الدولة تلقائيا ضبط المعلمات ( مثل سرعة الدوران ، درجة الحرارة ) ، لضمان تجفيف التوحيد . بعض المعدات من خلال التكنولوجيا الرقمية التوأم لمحاكاة عملية التجفيف ، وتحسين مسار العملية ، والحد من تكاليف الاختبار والخطأ .

3 . انخفاض تكلفة الصيانة : تبسيط تصميم هيكل الميكانيكية ( مثل النفط مجانا مضخة تزييت ، بولي كلوريد الفينيل المضادة للتآكل تجويف ) ، والحد من معدل فشل المعدات والصيانة التردد .