فاي مجهر مسح بالإلكترون ( SEM ) يستخدم على نطاق واسع في مجال علوم المواد ، علوم الحياة ، وتكنولوجيا النانو ، أشباه الموصلات ، الخ . في الخدمة الطويلة في الحياة ، والصيانة الصحيحة لا يمكن ضمان الاستقرار والدقة ، ولكن أيضا تمديد خدمة الحياة . التالية هيفي المسح المجهر الالكترونينصائح الصيانة المشتركة :

إعداد قبل بدء تشغيل الجهاز

1 ، المتطلبات البيئية : قبل الافتتاح ، يجب أولا التأكد من أن المعدات في درجة الحرارة والرطوبة في البيئة مع المعايير . ارتفاع أو انخفاض درجة الحرارة والرطوبة يمكن أن تؤثر على أداء المعدات ، وحتى يمكن أن يؤدي إلى تلف بندقية الإلكترون .

2 ، فراغ نظام التفتيش : نظام فراغ هو المفتاح لضمان استقرار شعاع الالكترون . قبل البدء في تشغيل مضخة فراغ يجب التحقق من حالة التشغيل لضمان درجة فراغ عادي . تحقق ما إذا كان العمل فراغ بندقية الإلكترون مستقرة ، إذا كان فراغ غير كافية أو تسرب ، قد تؤثر على جودة الصورة . تنظيف واختبار نظام فراغ بانتظام لضمان ضيق .

3 ، وإمدادات الطاقة الصدد : قبل البدء ، وضمان امدادات الطاقة الصدد مستقرة ، والجهد يتوافق مع متطلبات المعدات . تجنب تقلبات كبيرة في الجهد ، والتي يمكن أن تلحق الضرر بندقية الإلكترون وغيرها من أجزاء دقيقة من المجهر الإلكتروني .

الصيانة اليومية في تشغيل المعدات

1 ، وتجنب تشغيل عالية الطاقة لفترة طويلة : في استخدام FEI المسح المجهر الالكتروني ، ينبغي تجنب تشغيل لفترة طويلة في ظل حالة من الطاقة العالية أو عالية الحالية ، ولا سيما في استخدام عالية الدقة واسطة . فترة طويلة من تشغيل عالية الطاقة يمكن أن يؤدي إلى ارتفاع درجة حرارة بندقية الإلكترون وغيرها من المكونات الإلكترونية ، مما يؤثر على الأداء و الحياة . طريقة عمل مناسبة ينبغي تعديلها وفقا لمتطلبات التجربة .

2 ، المعايرة الدورية والتكيف : الحاجة إلى المعايرة الدورية ، بما في ذلك تصحيح القرار ، والتركيز على تعديل وضع المسح الضوئي . قبل كل استخدام ، تأكد من أن شعاع الالكترون هو التركيز بوضوح و طريقة المسح الضوئي للكشف عن مجموعة معقولة .

3 ، تنظيف وإدارة غرفة العينة : عينة غرفة باعتبارها جوهر ، يجب أن تبقى نظيفة . على وجه الخصوص ، عند تركيب العينة ، ينبغي استخدام ملقط نظيفة وعينة المشبك ، لتجنب البقع أو الغبار على سطح العينة . أثناء العملية ، ينبغي تجنب التلوث في الأماكن المغلقة ، مثل الغبار ، والنفط ، الخ . غرفة العينة يمكن تنظيفها بانتظام باستخدام أجهزة تنقية الهواء أو الأشعة فوق البنفسجية مصباح .

4 ، بندقية الإلكترون الصيانة : بندقية الإلكترون هي واحدة من المكونات الأساسية ، لضمان التشغيل المستقر على جودة الصورة أمر بالغ الأهمية . وينبغي التحقق بانتظام من حالة عمل البنادق الإلكترونية ، ولا سيما بعد استخدامها لفترات طويلة ، حيث قد يلزم استبدالها أو تصحيحها . تنظيف مكونات بندقية الإلكترون بانتظام لتجنب تراكم الغبار والشوائب التي تسبب عدم استقرار شعاع الالكترون .

ثالثاً - صيانة المعدات بعد إغلاقها

1 ، انقطاع التيار الكهربائي وإغلاق الخطوات : في نهاية استخدام ، اتبع الخطوات الصحيحة لإغلاق . أولا ، تسارع الجهد وكثافة شعاع الالكترون انخفضت تدريجيا ، وبالتالي تجنب تأثير مفاجئ انقطاع التيار الكهربائي على المعدات . إيقاف جميع الأنظمة الإلكترونية ، ثم إيقاف تشغيل مضخة فراغ ، وأخيرا إيقاف تشغيل الطاقة . هذا يمكن أن تمنع بشكل فعال تلف مكونات الجهاز .

2 ، نظام فراغ التفتيش الدوري : في المدى الطويل لا تستخدم ، ينبغي أن يكون نظام فراغ التفتيش الدوري ، والحفاظ على درجة معينة من فراغ . تسرب نظام فراغ يجب إصلاحه في الوقت المناسب لتجنب التأثير على الاستخدام اللاحق .

3 ، وفحص وصيانة نظام التبريد : عادة مجهزة نظام التبريد ، لضمان استقرار درجة الحرارة من المعدات في العمل . التحقق من حالة تشغيل نظام التبريد بانتظام لضمان مستوى التبريد والمراوح تعمل بشكل صحيح ، وتجنب الأضرار الناجمة عن ارتفاع درجة الحرارة المعدات .

صيانة وصيانة FEI SEM يتطلب بعض المعرفة المهنية من المستخدمين ، ويجب أن تتبع إجراءات التشغيل الصارمة . من خلال إدارة البيئة ، معايرة المعدات ، وصيانة بندقية الإلكترون ، فراغ نظام الصيانة ، وما إلى ذلك ، يمكن تمديد خدمة الحياة على نحو فعال ، وضمان أداء مستقر ، وضمان دقة النتائج التجريبية .