SEM هو أداة قوية في التحليل المجهري ، وتستخدم على نطاق واسع في مجال علوم المواد ، ولها قيمة كبيرة في توصيف وتحليل المواد النانوية . مع دقة عالية ، وحساسية عالية ، متعددة الوظائف ، أصبح أداة رئيسية في البحث والتطوير من المواد متناهية الصغر . صورة يتم إنشاؤها بواسطة شعاع الالكترون المسح على سطح العينة باستخدام الإشارات الإلكترونية ( على سبيل المثال ، الإلكترونات الثانوية ، تعكس الإلكترونات ، والأشعة السينية ، وما إلى ذلك ) التي تنعكس أو المنبعثة من سطح العينة .

　　SEM ( SEM )تطبيقات في تحليل المواد النانوية تتجلى أساسا في المجالات التالية :

( 1 ) تحليل مورفولوجيا الجسيمات النانوية

المواد النانوية عادة ما تكون فريدة من نوعها في شكل وحجم الخصائص التي تحدد الخصائص الفيزيائية والكيميائية والبيولوجية . يمكن أن توفر صورة عالية الدقة من جسيمات متناهية الصغر ، يمكن أن تكشف بدقة عن شكل وحجم وهيكل سطح الجسيمات . في دراسة المواد متناهية الصغر ، مورفولوجيا التحليل مهم جدا لفهم خصائص المواد متناهية الصغر . على سبيل المثال ، مورفولوجيا المعادن النانوية ، أنابيب الكربون النانوية ، نقاط الكم وغيرها من المواد ذات البنية النانومترية لها تأثير مباشر على نشاط الحفاز ، الخصائص البصرية والتوصيل .

الكريستال هيكل المرحلة تحليل المواد متناهية الصغر

الخلفية الالكترونية للكشف عن ( مرض جنون البقر ) يمكن تحليل هيكل الكريستال من العينة . من خلال مراقبة تأثير التشتت من مختلف الأسطح البلورية أو حدود الحبوب ، يمكن للباحثين الحصول على معلومات عن البنية البلورية ، مرحلة التحول ، كريستال عيب من المواد متناهية الصغر . على سبيل المثال ، في دراسة مواد أشباه الموصلات والسيراميك وسبائك ذات البنية النانومترية ، يمكن أن تساعد الباحثين على تحليل توزيع حجم الحبوب ، شعرية العيوب التي لها تأثير كبير على الخواص الميكانيكية والالكترونية والحرارية من المواد .

( 3 ) تحليل مكونات المواد النانوية

إن semmerfield المجهر الإلكتروني ( SEM ) عادة ما تكون مجهزة مع نظام تحليل طيف الطاقة ( EDS ) التي يمكن أن تؤدي بسرعة تحليل عنصري في SEM . من خلال تحليل طيف الأشعة السينية ، يمكن للباحثين إجراء تحليل كمي للعناصر المكونة من المواد النانوية . EDS يمكن أن توفر خريطة توزيع العناصر على السطح أو داخل المواد النانوية ، والتي يمكن أن تساعد في تحديد موقع وتركيز العناصر المختلفة في المواد . تحليل عنصري هو التكنولوجيا الرئيسية في دراسة المواد المركبة ، سبائك النانوية وظيفية النانوية .

( 4 ) تحليل مورفولوجيا سطح نانو المواد و تأثير العلاج

خصائص السطح من المواد متناهية الصغر تحدد قدرتها على التفاعل مع غيرها من المواد ، سطح تعديل التكنولوجيا المستخدمة على نطاق واسع في تحسين وظيفة من المواد متناهية الصغر . من خلال صورة عالية الدقة ، يمكن أن تظهر بوضوح المجهرية من سطح نانو المواد ، مثل خشونة السطح ، المسامية ، طلاء الجزيئية ، وهلم جرا . سطح تعديل المواد النانوية يمكن أن تساعد الباحثين على مراقبة التغيرات في سطح تعديل وتقييم تأثير .

( 5 ) تحليل العيوب والإجهاد في المواد النانوية

خصائص المواد النانوية غالبا ما ترتبط ارتباطا وثيقا العيوب الهيكلية الداخلية والخارجية الإجهاد . باستخدام هذا الأسلوب ، يمكن للباحثين التعرف على العيوب البلورية في المواد متناهية الصغر ، ومواصلة تحليل تأثيرها على خصائص المواد . وبالإضافة إلى ذلك ، يمكن أن تكون جنبا إلى جنب مع غيرها من التقنيات لتحليل الإجهاد ، فهم سلوك المواد النانوية تحت ظروف الإجهاد المختلفة ، ولا سيما في قوة وصلابة من المواد ذات البنية النانومترية ، أداة هامة .

كما قوية أداة تحليلية ، SEM يلعب دورا هاما في البحث والتطوير من المواد النانوية . بغض النظر عن التحليل الصرفي ، الكريستال هيكل نانو الجسيمات ، أو في المعالجة السطحية ، عيب التحليل ، تحليل عنصر ، وما إلى ذلك ، يمكن أن توفر دقة عالية ، متعددة الوظائف وسائل توصيف لمساعدة العلماء على فهم أفضل المجهرية وخصائص نانو المواد .