تركز شعاع ايون المجهر ( IBM ) هو أداة تحليلية هامة في علم المواد ، والتي جنبا إلى جنب مع مجهر مسح بالإلكترون ( SEM ) و شعاع ايون التكنولوجيا ، وتستخدم على نطاق واسع في توصيف المواد ، وتصنيع الآلات الدقيقة ، ثلاثي الأبعاد تحليل هيكل . ومن المهم أن نفهم المجهرية والممتلكات من المواد .

　　ركزت شعاع ايون المجهرتطبيقات في علم المواد تتجلى أساسا في المجالات التالية :

سطح المواد المجهرية

واحدة من التطبيقات الشائعة هو توصيف المواد المجهرية . يمكن أن توفر صورة عالية الدقة ، ويمكن أن نلاحظ بوضوح النانو تضاريس السطح ، المجهرية و العيوب . على سبيل المثال ، في دراسة المواد المعدنية ، الحدود الحبوب ، مرحلة الحدود وتوزيع الحبوب يمكن ملاحظتها ، والتي هي ذات أهمية كبيرة في دراسة الخواص الميكانيكية والمقاومة للتآكل من المواد .

هيكل ثلاثي الأبعاد والتعمير التصوير المقطعي

ثلاثي الأبعاد هيكل المعلومات من العينات التي يمكن الحصول عليها عن طريق قطع طبقة بعد طبقة . كما أنها قادرة على أداء microcutting العينة ، إزالة المواد من طبقة إلى طبقة ، جنبا إلى جنب مع تكنولوجيا التصوير ثلاثي الأبعاد التعمير . هذه التكنولوجيا قد تم تطبيقها على نطاق واسع في دراسة المواد متناهية الصغر ، والمواد المركبة ، متعدد الطبقات هيكل . على سبيل المثال ، في دراسة المواد بطارية ليثيوم ، والتغيرات الهيكلية من المواد الكهربائي أثناء الشحن والتفريغ يمكن الكشف عنها .

micromachining وتصنيع النانو

ركزت شعاع ايون المجهر ليس فقط يمكن مراقبة سطح المواد ، ولكن أيضا لديه القدرة على micromachining . . . . . . . من خلال مراقبة دقيقة تركز شعاع ايون ، نانو الحجم قطع ، نحت وتجهيز المواد التي يمكن تنفيذها . في مجال الالكترونيات الدقيقة وتصنيع النانو ، اختراع يمكن استخدامها لصنع القنوات الصغيرة ، قناع أنماط ، المجهرية و الأجهزة الصغيرة . على سبيل المثال ، في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات ، هياكل صغيرة يمكن معالجتها ، تحليل الأعطال و إصلاح الدوائر يمكن أن يؤديها .

تحليل المواد عيب و موقع خطأ

يمكن الكشف عن العيوب الدقيقة في المواد ، مثل الشقوق ، المسام ، شوائب و هشاشة المعادن . من خلال التصوير عالية الدقة ، وتوزيع هذه العيوب وتأثيرها على خصائص المواد يمكن ملاحظتها على نطاق النانو . وبالإضافة إلى ذلك ، يمكن أن تكون جنبا إلى جنب مع غيرها من التقنيات التحليلية ( مثل EDX ) لتحليل العناصر التي يمكن أن تساعد في تحديد سبب الخطأ ، ولا سيما في مجال الفضاء ، وصناعة السيارات ، وما إلى ذلك ، هو أداة هامة في خطأ التشخيص .

توزيع العناصر و تحليل المكون

جنبا إلى جنب مع تحليل طيف الطاقة يمكن أن توفر التحليل النوعي والكمي من العناصر المادية . في علم المواد ، من المهم جدا أن نفهم عنصر التوزيع والتركيب الكيميائي من المواد لتحسين خصائص المواد . من خلال معالجة دقيقة ، يمكن تحليل عينات من المناطق المحلية ، وكشف عن توزيع عناصر مختلفة في المواد . على سبيل المثال ، في دراسة المواد المركبة أو سبائك ، microdistribution من مكونات مختلفة وتأثيرها على خصائص المواد يمكن الكشف عنها .

ركزت شعاع ايون المجهر يستخدم على نطاق واسع في علم المواد ، ولا سيما في مجال النانو ، المواد المركبة ، أشباه الموصلات ، وهلم جرا . ليس فقط يمكن أن توفر دقة عالية سطح التصوير ، ولكن أيضا لديها العديد من المهام ، مثل الآلات الدقيقة ، 3D التعمير ، تحليل العناصر ، وهلم جرا .