اسم الصك

الاسم الصيني :ميدان الانبعاثات المجهر الإلكتروني

اسم اللغة الإنجليزية :ميكروسكوب إلكتروني مسح الانبعاثات الميدانية

النوع الثاني :زيس جيميني 500

الصانع الثالث :شركة زايس الألمانيةزيس

مقدمة موجزة من الصكس

زيس جيميني 500مجهر مسح بالإلكترون ( SEM )FE-SEMعالية الدقة ، على النقيض من ذلك ، وارتفاع نسبة الإشارة إلى الضوضاء يمكن أن يؤديها باستخدام الإلكترونات الثانوية و backscattered الإلكترونات .في العدسةعلى النقيض من الجهد المنخفض التصوير يمكن أن يؤديها على مجموعة متنوعة من العينات . بروكإكسالأشعة السينية المشتتة للطاقة مطياف يمكن استخدامها على نطاق واسع في تحليل مورفولوجيا وتكوين microzone . . . . . . .

الخصائص الرئيسية والمؤشرات التقنية من الصك :

1القرار :ص0.6 نانومتر@ 15 كيلو فولتإلكترون ثانوي1.1nm@1kV( إلكترون ثانوي ، دون أي وضع خاص ) ؛ ص1.2nm@ 500Vن

2. التكبير20-2 , 000 , 000

,وفقا للتغيرات في تسريع الجهد و المسافة العملية ، التلقائي معايرة التكبير ، وانخفاض وارتفاع التكبير دون أي تغيير في الوضع .

3. بندقية الإلكترون : شوتكيمجال الانبعاثات الحراريةبندقية الإلكترون ؛

4. مدى الجهد التسارع أو الهبوط :0.02kVو30 كيلو فولتخطوة10 فولت, قابل للتعديل باستمرار ;

5. التحقيق الحالي : الحد الأقصى الحالي ≤100nAن

6. عدسة برميل مع تصميم كهرباءالمواد المغناطيسيةالتصوير عالية الدقة ؛

7. يمكن أن تستوعب أكبر حجم العينة200 ممأقصى ارتفاع العينة60 ممن

8. 5 - محور مركز ممتاز موتور يحركها عينة الجدول ، تتحرك مجموعة الحد الأقصىالمؤشراتX≥130mmوY≥130mmوZ≥50mm, اثنان - طريق إمالة , إمالة مدى- 3 ° - 70 °دورانس( التناوب المستمر ) ؛

9. عينة غرفة منفصلة مع الخلفية للكشف عن الإلكترون )إسب) ;

10. كاشف الكتروني ثانوي في غرفة العينة )SE) ;

11. فائقة الدقة التي شنت على المحور البصري في عدسة برميلفي العدسةكاشف الكتروني ثانوي )في عدسة SE) ;

12. مجهزة قفل الغاز )قفل الهواءوقت فراغ استبدال عينة أقصر .

13. مطياف الطاقة60 مم²منطقة نشطة

سادساً - المهام الرئيسية للجهاز واستخداماته :

1. علم المواد ( المواد المعدنية ، المواد اللافلزية ، نانو المواد ، المواد العضوية ) ، العلوم الكيميائية ، المعادن ، علم الأحياء ، الطب ، مواد أشباه الموصلات والأجهزة ، والتنقيب الجيولوجي ، والاستطلاع الجنائي ، والإنتاج الصناعي وغيرها من المجالات من المواد المجهرية المراقبة . ( عينة السائل يجب أن تكون جافة بما فيه الكفاية قبل الاختبار )

2. في الوقت الحقيقي microzone تحليل عنصر التحليل الكمي والنوعي ، متعدد عنصر سطح المسح السريع ، نقطة خط المسح قياس التوزيع .

صورة الصك

ثامناً - أمثلة تطبيقية

1. تحليل مورفولوجيا

من أجل إعداد الفضة النانوية ، من الضروري مراقبة المجهرية من الفضة النانوية ، مما يدل على أن الفضة النانوية لها آفاق جيدة في مجال الحفز . نحن اختبار العينة مع مختلف التكبير ، مسح مختلفة وطريقة قياس الطيف الطاقة ، والنتيجة هي كما يلي :

1.1 ملاحظة مختلفة التكبير

1.2 الملاحظة في مختلف طرق المسح الضوئي

2. EDSالتحليل النوعي للعناصر

2.1نقطة المسح الضوئي

2.2 خط المسح الضوئي

2.3 مسح سطح

كلية علوم وهندسة المواد ، تشيلو معهد التكنولوجياعالية الدقة المسح المجهر الالكترونيو