ميلي ثانية واحدة القدرة على الاستجابة من كتلة تحكم تدفق ( MFC ) تنبع من درجة عالية من التكامل الأمثل حلقة مغلقة نظام مراقبة . الهدف الأساسي من هذا النظام هو جعل معدل تدفق الغاز الحقيقي تتبع مجموعة قيمة على الفور وبدقة .

حلقة مغلقة السيطرة على المنطق

القياس : MFC يستخدم مبدأ الحرارية ( التيار الرئيسي ) لقياس تدفق الكتلة مباشرة . أجهزة الاستشعار تحويل الحرارة الناجمة عن التغيرات في تدفق الغاز إلى إشارات كهربائية ، والتي يتم تضخيمها رقميا ، كما تدفق الفعلية الحالية قيمة النظام .

المقارنة : المعالجات الدقيقة الداخلية ( MCU ) يقارن بين تدفق الرقمية الفعلية مع مجموعة قيمة المدخلات الخارجية في الوقت الحقيقي ، يحسب لحظية خطأ .

التصحيح : مكو يرسل إشارة خطأ إلى خوارزمية التحكم الأساسية ( عادة الأمثل PID الخوارزمية أو البديل ) . الخوارزمية من خلال عملية عالية السرعة ، إخراج إشارة التحكم ، محرك صمام تناسبي ( مثل صمام كهرضغطية أو صمام الملف اللولبي ) العمل بدقة ضبط فتح صمام ، وبالتالي تغيير تدفق الغاز ، حتى أن التدفق الفعلي إلى مجموعة قيمة تقريبية .

هذا " قياس - مقارنة - تصحيح " دورة تتم بشكل مستمر في وتيرة تصل إلى كيلو هرتز ، وبالتالي تشكيل دينامية وحساسة ردود الفعل السلبية حلقة مغلقة .

التكنولوجيات الرئيسية لتحقيق استجابة ميلي ثانية واحدة

من أجل تحقيق استجابة ميلي ثانية واحدة ، MFC ينفذ عمق التحسين على المستويات الثلاثة التالية :

أجهزة الاستشعار والأجهزة الأمثل :

انخفاض السعة الحرارية الاستشعار تصميم : استخدام الشعرية أو مايكرو الميكانيكية ( ممس ) الاستشعار ، والحد بشكل كبير من نظام الحرارية الحرارية الجمود ، حتى أن تدفق التغييرات يمكن أن تكون لحظية الاستشعار .

عالية السرعة صمام التحكم : وخاصة صمام كهرضغطية ، كهرضغطية السيراميك باستخدام تأثير عكسي ، يمكن تحقيق مستوى ميكروثانية تشوه الميكانيكية ، والاستجابة السريعة .

خوارزمية التحكم الذكي

PID التحكم التكيفي و تغذية إلى الأمام : التقليدية PID المعلمات من الصعب الحفاظ على أفضل في جميع الظروف . المتقدمة MFC يستخدم خوارزمية التكيفية ، ويمكن ضبط تلقائيا PID المعلمات حسب حجم التدفق . وفي الوقت نفسه ، من خلال إدخال تغذية السيطرة ، صمام مدفوعة مسبقا في لحظة تغيير قيمة الإعداد ، مما يقلل كثيرا من الخطأ الأولي والتغلب على تأخير التغذية المرتدة من النظام .

نظام التكامل والمعايرة :

" استشعار تحكم صمام " التكامل : ثلاثة هي معبأة بإحكام في العزل الحراري ، وحدة صغيرة الحجم ، والحد بشكل كبير من تدفق الغاز في منطقة ميتة و تأخير لضمان الاكتناز من حلقة التحكم .

مجموعة كاملة من معايرة دقيقة : في إشارة إلى غاز معين ، مجموعة كاملة ، متعددة نقطة معايرة البيانات الخطية تتم عند مغادرة المصنع .

وباختصار ، ميلي ثانية واحدة استجابة MFC هو نتيجة التفاعل بين الأجهزة ( استشعار السرعة + صمام ) ، خوارزمية ذكية ( التكيف PID + تغذية ) ونظام التكامل . من خلال حلقة مغلقة من التردد ، فإنه يمكن بسرعة كبح جماح تدفق تقلب في مهدها ، وبالتالي تحقيق دقة وسرعة السيطرة على تدفق الغاز .