كنوع من معدات التحكم في التدفق ، الضغط الشامل تحكم تدفق ( PWM ) أصبحت أداة هامة في عملية تصنيع أشباه الموصلات مع مزايا تقنية فريدة من نوعها وعالية الدقة القدرة على التحكم .
تصنيع أشباه الموصلات ينطوي على العديد من الخطوات العملية المعقدة ، مثل الطباعة الحجرية ، النقش ، رقيقة ترسب وهلم جرا ، والتي لديها متطلبات صارمة جدا على التحكم في تدفق الغاز السائل . دقة تدفق الصغيرة يؤثر بشكل مباشر على أداء رقاقة ، معدل العائد وكفاءة الإنتاج . على سبيل المثال ، في عملية ترسيب الأبخرة الكيميائية ( CVD ) ، رد فعل تدفق الغاز يحتاج إلى مراقبة دقيقة لضمان اتساق سماكة الفيلم التوحيد ؛ في عملية النقش ، مايكرو تقلب تدفق الغاز قد يؤدي إلى تفاوت النقش ، مما يؤثر على هيكل وأداء رقاقة . ولذلك ، تحقيق دقة التحكم في التدفق الصغير هو التحدي الرئيسي في صناعة أشباه الموصلات .
الضغط نوع كتلة تحكم تدفق يدرك دقة التحكم في التدفق من خلال قياس دقيق والسيطرة على ضغط السائل . مبدأ العمل على أساس مبدأ أساسي من مبادئ ميكانيكا الموائع ، وهذا هو ، من خلال السيطرة على ضغط السائل فرق لتنظيم تدفق . هذا النوع من وحدة تحكم يمكن رصد التغيرات في ضغط السائل في الوقت الحقيقي ، وضبط الضغط تلقائيا من خلال المدمج في خوارزمية آلية التغذية المرتدة ، وبالتالي ضمان استقرار ودقة معدل التدفق . بالمقارنة مع التقليدية معدات التحكم في التدفق ، الضغط الشامل تحكم تدفق لديها أعلى دقة وأسرع سرعة الاستجابة ، ويمكن أن تلبي على نحو فعال في عملية تصنيع أشباه الموصلات المعقدة الاحتياجات .
في تصنيع أشباه الموصلات ، كتلة تحكم تدفق يستخدم على نطاق واسع . على سبيل المثال ، في عملية الطباعة الحجرية ، تدفق مقاومة للضوء يجب أن تسيطر عليها بدقة لضمان مقاومة للضوء يمكن تطبيقها بشكل موحد على سطح رقاقة السيليكون . كتلة تحكم تدفق يمكن التحكم بدقة في نقل تدفق مقاومة للضوء ، وتجنب تفاوت طلاء بسبب تذبذب تدفق ، وبالتالي تحسين جودة الطباعة الحجرية و العائد من رقاقة . في عملية الحفر ، ومراقبة تدفق الغاز رد الفعل هو أيضا مهم جدا . من خلال استخدام الضغط نوع كتلة تحكم تدفق ، تدفق الغاز الحفر يمكن التحكم بدقة ، وبالتالي ضمان التوحيد والاتساق في عملية الحفر ، وتجنب النقش عيب بسبب عدم استقرار تدفق .
وبالإضافة إلى ذلك ، وحدة تحكم تدفق الشامل أيضا التكرار جيدة والاستقرار . في عملية تصنيع أشباه الموصلات ، والمعدات التي تحتاج إلى تشغيل ثابت لفترة طويلة ، والتكرار والاستقرار تدفق معدات التحكم يؤثر بشكل مباشر على استمرارية الإنتاج وجودة المنتج الاتساق . من خلال تكنولوجيا الاستشعار ودقيقة خوارزمية التحكم ، وحدة تحكم تدفق الشامل يمكن أن تضمن الاستقرار والتكرار من التحكم في التدفق في عملية طويلة ، وبالتالي توفير ضمان موثوق بها لتصنيع أشباه الموصلات .
في التطبيق العملي ، كتلة تحكم تدفق أيضا مرونة عالية وقابلية . تكنولوجيا تصنيع أشباه الموصلات هي معقدة ومتغيرة ، ومتطلبات التحكم في التدفق تختلف باختلاف الخطوات العملية . كتلة تحكم تدفق يمكن بمرونة تكوين وتعديل وفقا لمختلف الاحتياجات التكنولوجية ، وتلبية مختلف متطلبات التحكم في التدفق . وفي الوقت نفسه ، مع تطور تكنولوجيا تصنيع أشباه الموصلات ، ومتطلبات التحكم في التدفق الدقة هي أيضا في ازدياد . كتلة تحكم تدفق يمكن تحسين دقة التحكم والأداء من خلال تطوير البرمجيات والأجهزة الأمثل لتلبية متطلبات تطوير تكنولوجيا تصنيع أشباه الموصلات في المستقبل .
وباختصار ، الضغط الشامل تحكم تدفق تلعب دورا هاما في تصنيع أشباه الموصلات . من خلال قياس دقيق والسيطرة على ضغط السائل ، ومراقبة دقيقة وإدارة تدفق الصغيرة تتحقق .