مع دقة عالية ، مجموعة واسعة من قياس خصائص مستقلة عن تكوين الغاز ، فيلم فراغ قياس السعة كما هو معروف " قياس الضغط المطلق " ، وتحتل مكانة رئيسية في تصنيع أشباه الموصلات ، فراغ طلاء ، والبحوث التجريبية وغيرها من المجالات . ويمكن تفكيك مبادئها الأساسية إلى ثلاث روابط رئيسية :

الضغط مدفوعة تشوه الميكانيكية

الجزء الأساسي من فيلم مكثف فراغ غيج هو رقيقة جدا فيلم معدنية ( عادة ما تكون مصنوعة من سبائك النيكل ، الكروم ، الحديد ، النيكل ، الحديد ، السيراميك أو المواد ، وسمك هو فقط بضع عشرات من ميكرون ) . عندما تغير الضغط في تجويف الحجاب الحاجز ، تشوه مرن يحدث في إطار العمل من فرق الضغط . على العكس من ذلك ، هو الاكتئاب نحو الجانب المرجعي . هذا النوع من التشوه مباشرة يعكس قيمة الضغط المطلق ، لا علاقة له مع نوع الغاز ، فقط يعتمد على فرق الضغط .

دقة قياس السعة الاختلاف

لوحة موازية مكثف يتكون من غشاء ثابت الكهربائي . عندما تشوه الغشاء ، القطب تباعد التغييرات الصغيرة ( على سبيل المثال ، 0.1 ميكرون ) ، مما يؤدي إلى تذبذب كبير في السعة الكهربائية ( حوالي 0.3pf ) . من أجل تحسين دقة القياس ، فراغ قياس الحديثة تعتمد على فرق السعة المزدوجة هيكل : أقطاب متناظر مرتبة على جانبي الحجاب الحاجز على شكل اثنين من المستقلين المكثفات . عند الحجاب الحاجز هو إزاحة ، واحدة من القدرات الكهربائية هو زيادة ، والآخر هو انخفاض السعة فرق يتم تحويلها إلى إشارة الجهد من خلال جسر الدائرة ، وبالتالي فعالية القضاء على التدخل البيئي .

تحويل الإشارات ومعايرة الانتاج

الدائرة الخلفية تحويل السعة الاختلاف في مستوى إشارة كهربائية ( مثل الجهد أو التيار الكهربائي ) و يحسب قيمة الضغط الحقيقي من خلال صيغة محددة مسبقا . على سبيل المثال ، من خلال قياس العلاقة بين تعويض الجهد و فرق الجهد ( ع = كو ، ك هو قياس ثابت ) ، فراغ قياس نوع معين يمكن تحقيق تغطية واسعة من 10 ⁻ 3 ⁵ السلطة الفلسطينية إلى 10 ⁵ السلطة الفلسطينية . من أجل القضاء على تأثير درجة الحرارة الانجراف ، بعض المعدات استخدام البولي سيليكون التحكم في درجة الحرارة الركيزة للحفاظ على بيئة عمل ثابتة ( مثل 28 ℃ ) لضمان الاستقرار على المدى الطويل .

الخطي والتكرار من فيلم فراغ قياس السعة هي أفضل من 0.1 في المائة ، لا إشارة الضغط المطلوب ، حتى لو كان يتعرض فجأة في الغلاف الجوي ، فإنه لا يمكن أن يكون معطوبا ، وبالتالي فإن نموذج المنفعة يصبح أداة مثالية لقياس الضغط المطلق . . . . . . .