1 . فراغ تسرب
الظاهرة : درجة فراغ لا يمكن أن تصل إلى مجموعة قيمة أو تنخفض باستمرار .
السبب
الختم الدائري هو الشيخوخة ، متصدع أو غير مثبتة بشكل صحيح .
خط اتصالات فضفاضة أو الشقوق الصغيرة .
هناك ثقب أو لحام عيب في فراغ الغرفة الجدار .
تقرر :
افحص الختم الدائري بانتظام واستبدالها كل 6-12 أشهر .
استخدام الهليوم مطياف الكتلة للكشف عن تسرب لتحديد موقع التسرب ، تحتاج إلى إعادة الكشف عن تسرب بعد الإصلاح .
اختبار الضغط على فراغ الغرفة .
2 . فيلم تقشير
الظاهرة : بعد طلاء الفيلم هو فصل من الركيزة أو تقشير .
السبب
تلوث سطح الركيزة ( الاوساخ دهني ، بخار الماء والغبار ) .
الخبز لا يكفي قبل الطلاء .
الفيلم هو الإجهاد المفرط .
تقرر :
تعزيز قاعدة التنظيف .
تثبيت مصدر أيون لتنظيف قبل القصف .
عملية التحسين المعلمات .
3 . مضخة فراغ لا يمكن أن تبدأ
الظاهرة : بعد الضغط على زر ابدأ ، جسم المضخة لا يستجيب .
السبب
فشل السلطة ( الجهد الاستقرار ، دائرة كهربائية قصيرة ) .
المحرك معطوب أو محموما حماية الزناد .
التلوث النفطي أو عدم كفاية مستوى الزيت في المضخة .
تقرر :
التحقق من خط السلطة والجهد الاستقرار .
استبدال المحرك أو إعادة تشغيل بعد انتظار جسم المضخة لتبرد .
استبدال فراغ النفط بانتظام والحفاظ على مستوى الزيت فوق علامة التبويب .
4 - انخفاض مفاجئ في درجة فراغ
الظاهرة : درجة فراغ انخفض فجأة في العملية ، لا يمكن الحفاظ على المتطلبات التقنية .
السبب
مضخة الفشل .
التلوث الداخلي في فراغ الغرفة .
عدم كفاية تدفق مياه التبريد يؤدي إلى ارتفاع درجة حرارة جسم المضخة .
تقرر :
تنظيف مضخة نشر واستبدال النفط الخاص كل عام .
定期清理真空室。
التحقق من دائرة تبريد المياه لضمان تدفق أكثر من 5 لتر / دقيقة .
5 - تفاوت المواد المودعة
الظاهرة : سماكة الفيلم أو تكوين موزعة بشكل مختلف على الركيزة .
السبب
ترسب المصدر يعوض أو بوتقة سرعة دوران غير مستقرة .
الركيزة ليست ثابتة أو محمية .
المجال المغناطيسي / الحقل الكهربائي التدخل يؤدي إلى انحراف شعاع .
تقرر :
ضبط موقع مصدر الترسيب لضمان التوافق مع مركز الركيزة .
تأمين قاعدة مع لاعبا اساسيا لتجنب انسداد .
تحقق من الملف اللولبي المعلمات وتحسين مسار الشعاع .
6 - عدم التحكم في سماكة الفيلم
الظاهرة : الانحراف بين سماكة الفيلم الفعلي وتحديد قيمة أكثر من ± 5 ٪ .
السبب
معايرة جهاز التحكم ( فيلم سمك ) فشل .
المسبار هو إزاحة أو ملوثة .
المعلمات العملية تتقلب ( مثل معدل التبخر غير مستقرة ) .
تقرر :
معايرة الكريستال تحكم مع معيار فيلم سمك كل ربع سنة .
تنظيف سطح التحقيق وضبط 5-10cm بعيدا عن الركيزة .
استقرار امدادات التيار الكهربائي ، وتجنب المعلمة طفرة في عملية التبخر .
7 - تلوث الغاز يؤدي إلى تدهور نوعية الغشاء
الظاهرة : ثقب ، بقعة اللون أو التصاق طبقة الفيلم هو انخفاض .
السبب
فراغ الغرفة ليست كاملة أسفل العادم ( بخار الماء المتبقي ، والأكسجين ) .
تسرب الهواء في عملية الطلاء .
فيلم المواد تمتص الرطوبة أو تحتوي على شوائب .
تقرر :
قبل الطلاء ، فراغ ضخ ≤ 5 × 10 ⁴ السلطة الفلسطينية ، والخبز وإزالة الغاز .
التحقق من جميع وصلات الختم واستبدال الشيخوخة الأختام .
الفيلم يجب أن يكون ذاب في فراغ الغرفة قبل استخدامها .
8 - فشل نظام التدفئة
الظاهرة : درجة حرارة الركيزة لا يمكن أن تصل إلى مجموعة قيمة أو تذبذب كبير جدا .
السبب
عنصر التدفئة هو كسر أو سوء الاتصال .
PID المعلمات من التحكم في درجة الحرارة غير صحيحة .
الحرارية موقف يعوض أو التالفة .
تقرر :
افحص سلك التدفئة الصدد واستبدال كسر عنصر .
ضبط درجة الحرارة المراقب المالي المعلمات .
ضبط الحرارية إلى مركز الركيزة ومعايرة كل سنة .
9 - فشل نظام التحكم الإلكتروني
الظاهرة : لوحة التشغيل لا يستجيب أو المعلمة يظهر استثناء .
السبب
لوحة التحكم هو الرطب أو المترسبة .
اتصال الاستشعار فضفاضة أو التالفة .
برنامج تحطم .
تقرر :
تنظيف مجلس الوزراء التحكم بانتظام مع الهواء المضغوط الجاف .
التحقق من أجهزة الاستشعار خط واستبدال العناصر المعيبة .
إعادة تشغيل النظام أو إعادة تثبيت برامج التحكم .
10 . خيوط / شعاع نظام غير طبيعي
الظاهرة : لا شعاع الانتاج أو تقلبات كبيرة في شعاع .
السبب
خيوط حرق أو الشيخوخة .
شعاع المحدد لا صفر أو الجهد الفشل .
عالية الجهد الكهربائي غطاء حماية قصيرة الدوائر .
تقرر :
استبدال خيوط جديدة والتأكد من أن الموقف هو في المركز أثناء التثبيت .
شعاع المحدد هو العودة إلى الصفر بعد premelting قبل البدء .
تحقق من عزل غطاء حماية وتنظيف دائرة كهربائية قصيرة نقطة .