مع تطور عملية متقدمة العقدة ، 193nm المنتدى الإكزيمر ليزر الحجرية أصبحت أكثر وأكثر أهمية في تصنيع أشباه الموصلات . الجزء الداخلي من الجهاز يحتوي على عدد كبير من العناصر البصرية عالية الدقة ، مثل عدسة الإسقاط ، قناع ، المقطب ، depolarizer ، العاكس ، وما إلى ذلك الأداء البصري من هذه العناصر مباشرة يحدد القرار ، التوحيد و العائد من رقاقة نمط .

وفيما يلي المكونات البصرية المشتركة في آلة الطباعة الحجرية و متطلبات الاختبار :

في الوقت الحاضر ، مع تطور العمليات المتقدمة ، واختبار الأداء من المكونات البصرية قد تغيرت من " الخيار " إلى " مفتاح ربط " .اجيلنت cary4000 / 5000 / 6000i / 7000 سلسلة الإجار ، مع دقة عالية ، وكفاءة عالية ، وظيفة كاملة من الخصائص ، ودعم تطوير مقاومة للضوء ، اختيار المكونات البصرية ، وتقييم المواد الشيخوخة ، طلاء الاتساق التحقق ، وما إلى ذلك في عملية القياس والتحليل تلعب دورا هاما في مساعدة المهندسين لتحديد المواقع بسرعة ، وتحسين العملية ، وتحسين العائد ، وتعزيز عملية الطباعة الحجرية إلى مستوى أعلى .مع التطوير المستمر في تكنولوجيا تصنيع أشباه الموصلات ، وقياس وتحليل المكونات البصرية سوف تصبح أكثر دقة ، اجيلنت كاري سلسلة سوف تستمر في تقديم الدعم التقني القوي لهذه العملية .